一種氧化鋅薄膜工藝的制作方法
【專利摘要】一種氧化鋅薄膜工藝，第一步，采用金剛石基片，將基片在丙酮、無水乙醇以及去離子水中依次超聲10min，在氮?dú)猸h(huán)境下烘干，置于濺射臺(tái)上；第二步，在濺射功率350W，基片溫度350℃的情況下，以體積比2:1的氬氣和氧氣混合氣體將氧化鋅靶濺射至金剛石基片上，沉積時(shí)間為30min；第三步，對(duì)沉積后的薄膜進(jìn)行快速退火處理，退火溫度750℃，保溫時(shí)間30min，本發(fā)明制備所得氧化鋅薄膜表面形態(tài)優(yōu)異，晶格強(qiáng)度好。
【專利說明】一種氧化鋅薄膜工藝
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及氧化鋅薄膜【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種氧化鋅薄膜工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]氧化鋅薄膜具有良好的壓電特性和光電特性，廣泛應(yīng)用于光電【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是MEMS傳感器技術(shù)中。氧化鋅薄膜的晶格取向性是其重要屬性之一，對(duì)其應(yīng)用的最終產(chǎn)品有著重要的影響，現(xiàn)有的氧化鋅薄膜工藝所得產(chǎn)品，薄膜表面光滑度不佳，不夠致密，甚至有裂紋出現(xiàn)，從而影響了在其上布設(shè)微電器件的質(zhì)量。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種氧化鋅薄膜工藝。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種氧化鋅薄膜工藝，包括如下步驟:
[0006]第一步，采用金剛石基片，將基片在丙酮、無水乙醇以及去離子水中依次超聲lOmin，在氮?dú)猸h(huán)境下烘干，置于濺射臺(tái)上；
[0007]第二步，在濺射功率350W，基片溫度350°C的情況下，以體積比2:1的氬氣和氧氣混合氣體將氧化鋅靶濺射至金剛石基片上，沉積時(shí)間為30min ；
[0008]第三步，對(duì)沉積后的薄膜進(jìn)行快速退火處理，退火溫度750°C，保溫時(shí)間30min。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明制備所得氧化鋅薄膜表面形態(tài)優(yōu)異，晶格強(qiáng)度好。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳盡的說明。
[0011]本發(fā)明為一種氧化鋅薄膜工藝，包括如下步驟:
[0012]第一步，采用金剛石基片，將基片在丙酮、無水乙醇以及去離子水中依次超聲lOmin，在氮?dú)猸h(huán)境下烘干，置于濺射臺(tái)上；
[0013]金剛石是一種具有獨(dú)特物理和化學(xué)屬性的優(yōu)良材料，楊氏模量達(dá)到1200GPa，擊穿電壓可達(dá)IO7V/cm,而且空穴遷移率聞，熱傳導(dǎo)效率聞，因此用于基片上可以提聞廣品的可靠性和使用周期。
[0014]第二步，在濺射功率350W，基片溫度350°C的情況下，以體積比2:1的氬氣和氧氣混合氣體將氧化鋅靶濺射至金剛石基片上，沉積時(shí)間為30min ；
[0015]實(shí)驗(yàn)證明，在氬氣和氧氣為2:1的情況下即可獲得薄膜的c軸取向強(qiáng)度，當(dāng)繼續(xù)提高體積比時(shí)，會(huì)影響到其表面狀態(tài)，氬氣和氧氣為2:1的情況下，薄膜的表面粗糙度達(dá)到
0.7以上。
[0016]第三步，對(duì)沉積后的薄膜進(jìn)行快速退火處理，退火溫度750°C，保溫時(shí)間30min。
[0017]實(shí)驗(yàn)證明，進(jìn)行退火處理的薄膜其晶格取向可提高3-4倍。
【權(quán)利要求】
1.一種氧化鋅薄膜工藝，其特征在于，包括如下步驟: 第一步，采用金剛石基片，將基片在丙酮、無水乙醇以及去離子水中依次超聲lOmin，在氮?dú)猸h(huán)境下烘干，置于濺射臺(tái)上； 第二步，在濺射功率350W，基片溫度350°C的情況下，以體積比2:1的氬氣和氧氣混合氣體將氧化鋅靶濺射至金剛石基片上，沉積時(shí)間為30min ； 第三步，對(duì)沉積后的薄膜進(jìn)行快速`退火處理，退火溫度750°C，保溫時(shí)間30min。
【文檔編號(hào)】C23C14/34GK103774091SQ201210396803
【公開日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2012年10月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月18日
【發(fā)明者】田邊 申請(qǐng)人:西安交大京盛科技發(fā)展有限公司