專利名稱：用于硅片制絨的化學處理槽裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及硅片的制絨裝置，更具體地，涉及用于硅片制絨的化學處理槽裝置。
背景技術(shù)：
隨著光伏發(fā)電技術(shù)逐漸成熟，太陽能電池的應用也在蓬勃發(fā)展。制絨是太陽能電池中影響太陽能效率的重要因素。太陽能電池片的制絨，是通過化學反應在硅片表面產(chǎn)生各向異性腐蝕，形成密集的顯微金字塔形角錐體結(jié)構(gòu)的絨面，使太陽能電池片最大限度地減少光反射率，提高光電轉(zhuǎn)換效率。因此，通過制絨可以有效地減少硅片對太陽光的反射作用，增加硅片對入射光的吸收，從而提高電池效率。在大工業(yè)生產(chǎn)中一般采用成本較低的氫氧化鈉或氫氧化鉀稀溶液(濃度為1% 2% )來制備絨面。另外，為了有效地控制反應速度和絨面的大小，會添加一定量的IPA作為緩釋劑和絡(luò)合劑。理想的絨面效果，應該是金字塔大小均勻，覆蓋整個表面。金子塔的高度在3 5 y m之間，相鄰金字塔之間沒有空隙，具有較低的表面反射率。目前通用的生產(chǎn)工藝是采用槽式制絨，在制絨過程中，將清洗后的硅片放入盛有腐蝕液的化學處理槽中，常用的化學處理槽是一般的六面體容器，如正方體或長方體等。當化學處理槽中的腐蝕液溢出時，這種結(jié)構(gòu)無法避免因腐蝕液溢出而造成的污染，同時造成腐蝕液的浪費，因此需要一種改進的能承載腐蝕液的溢出液體并減小腐蝕液浪費的用于硅片制絨的化學處理槽裝置。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種改進的用于硅片制絨的化學處理槽裝置。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其包括化學處理內(nèi)槽，所述內(nèi)槽底部設(shè)置有加熱器，所述內(nèi)槽連接一外槽。在本實用新型的一實施方式中，所述內(nèi)槽和所述外槽為一整體。在本實用新型的一實施方式中，所述內(nèi)槽和所述外槽通過管道連通。在本實用新型的一實施方式中，所述管道上設(shè)置有循環(huán)泵。在本實用新型的一實施方式中，所述管道上還設(shè)置有一過濾器。在本實用新型的一實施方式中，所述管道設(shè)置有液體擲出口，所述排出口位于所述內(nèi)槽中。在本實用新型的一實施方式中，所述液體排出口為兩個。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是通過在化學處理內(nèi)槽上連接一外槽，使得化學處理內(nèi)槽中的腐蝕液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，同時，通過循環(huán)管路使外槽中的溢出液體回到內(nèi)槽中，由此提高了腐蝕液的利用率，減小了腐蝕液的浪費。
圖I是常用的用于硅制絨的化學處理槽的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型一實施方式下用于硅片制絨的化學處理槽的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實用新型一實施方式下用于硅片制絨的化學處理槽裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步的詳細說明，但所述實施例并不旨在限制本實用新型的保護范圍。圖I所示為常用盛有腐蝕液的化學處理槽100的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示為本實用新型一實施方式下的化學處理槽的結(jié)構(gòu)示意圖，該化學處理槽100'包括內(nèi)槽101，與內(nèi)槽連接的外槽102，借以承載內(nèi)槽溢出的液體。在一實施方式中，該內(nèi)槽和該外槽為一整體。 可替換的，該內(nèi)槽與該外槽可以任何方式連接在一起，以確保連接處無液體滲漏現(xiàn)象。在一實施方式中，該化學處理槽為長方體結(jié)構(gòu)?？商鎿Q的，該化學處理槽可以為其他任何結(jié)構(gòu)的容器。如圖2所示，通過在化學處理內(nèi)槽101上連接一外槽102，使得化學處理內(nèi)槽101中的腐蝕液溢出到外槽102中，避免了由此造成的污染。圖3所示為本實用新型一實施方式下用于硅片制絨的化學處理槽裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。該化學處理槽裝置100"包括內(nèi)槽101 ;與內(nèi)槽連接的外槽102，借以承載內(nèi)槽101中溢出的液體；用以加熱腐蝕液的位于內(nèi)槽101底部的加熱器103 ;連通內(nèi)槽101和外槽102的管道104 ;設(shè)置在管道104上的循環(huán)泵105，通過循環(huán)泵105加壓使得在內(nèi)槽101與外槽102之間形成的循環(huán)管路；設(shè)置在管道104上的用以在循環(huán)管路中去除雜質(zhì)的過濾器106 ；以及位于內(nèi)槽101中的管道104上的兩個液體排出口 107。當腐蝕液從內(nèi)槽101中溢出到外槽102后，外槽102中的溢出液體在循環(huán)泵105的作用下沿圖3箭頭A所示方向流動，經(jīng)由過濾器106去除雜質(zhì)后流入內(nèi)槽101中并從液體排出口 107排出。如圖3所示，通過在化學處理內(nèi)槽101上連接一外槽102，使得化學處理內(nèi)槽101中的腐蝕液溢出到外槽102中，避免了由此造成的污染，同時，通過循環(huán)管路使外槽102中的溢出液體回到內(nèi)槽101中，由此提高了腐蝕液的利用率，減小了腐蝕液的浪費。以上所述的實施例只是本實用新型較優(yōu)選的具體實施方式
的一種，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)進行的通常變換和替換都應包含在本實用新型的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其包括化學處理內(nèi)槽，所述內(nèi)槽底部設(shè)置有加熱器，其特征在于，所述內(nèi)槽連接一外槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述內(nèi)槽和所述外槽為一整體。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述內(nèi)槽和所述外槽通過管道連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述管道上設(shè)置有循環(huán)泵。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述管道上還設(shè)置有ー過濾器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述管道設(shè)置有液體排出ロ，所述排出ロ位于所述內(nèi)槽中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其特征在于，所述液體排出口為兩個。
專利摘要本實用新型涉及一種用于硅片制絨的化學處理槽裝置，其包括化學處理內(nèi)槽，所述內(nèi)槽底部設(shè)置有加熱器，所述內(nèi)槽連接一外槽，使得化學處理內(nèi)槽中的腐蝕液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，所述內(nèi)槽和所述外槽通過循環(huán)泵加壓使得所述外槽中的液體回到所述內(nèi)槽中，由此提高了腐蝕液的利用率，減小了腐蝕液的浪費。
文檔編號C23F1/08GK202643918SQ20122017776
公開日2013年1月2日 申請日期2012年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月24日
發(fā)明者楊華, 余義, 宋光華, 李莊 申請人:上澎太陽能科技(嘉興)有限公司