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      熱蒸鍍用高效載體的制作方法

      文檔序號:3288616閱讀:183來源:國知局
      熱蒸鍍用高效載體的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明涉及一種熱蒸鍍用高效載體,其特征在于包括:外殼,其對將用于熱蒸鍍的蒸鍍物質(zhì)進行收容,并且可將熱傳遞至所述蒸鍍物質(zhì),所述熱由加熱器傳遞而來;以及網(wǎng)狀物(mesh),其設置于所述外殼內(nèi)部,從而防止所述蒸鍍物質(zhì)的流動。
      【專利說明】熱蒸鍍用高效載體

      【技術領域】
      [0001]本發(fā)明涉及熱蒸鍍用高效載體,更為詳細地涉及一種熱蒸鍍用載體,其包括外殼構造及網(wǎng)狀物(mesh)構造,其中所述外殼構造收容蒸鍍物質(zhì)并進行熱傳遞,其中所述網(wǎng)狀物構造設置于所述外殼內(nèi)部,從而防止蒸鍍物質(zhì)的流動。

      【背景技術】
      [0002]作為制造物體的表面的涂覆(coating)方法,具有派射(sputtering)、電子束蒸鍍(E-beam evaporat1n)、脈沖激光沉積(PLD ;Pulsed Laser Deposit1n)、熱蒸鍍(Thermal Evaporat1n)等,在以上涂覆方法中,熱蒸鍍法具有較多優(yōu)點從而被廣泛使用,所述優(yōu)點為工藝簡單,蒸鍍速度快且設備價格相對低廉。
      [0003]觀察所述熱蒸鍍法中所使用的熱蒸鍍裝置,現(xiàn)有的熱蒸鍍裝置的形態(tài)為,在中央設置有加熱器(heater)及載體,且周圍設置有器材(為了提高生產(chǎn)性可構成為能夠進行公轉(zhuǎn)或公自轉(zhuǎn)的形態(tài)),在所述形態(tài)中,通過加熱器對載體進行加熱,并對載體中所含有的蒸鍍物質(zhì)進行蒸發(fā),從而蒸鍍至器材的表面。此外,現(xiàn)有的熱蒸鍍裝置中使用多孔性物質(zhì)的載體,所述載體將陶瓷(ceramic)或者金屬粒子/纖維進行壓縮而成型,構成(圖2或圖3)為如下形態(tài):所述多孔性物質(zhì)的載體位于無方向性地設置的鶴絲(tungsten filament)(加熱器)或鑰舟(molybdenum boat)(加熱器)之上。
      [0004]但是,所述現(xiàn)有的熱蒸鍍裝置具有諸多缺點,首先,如上面所觀察到的,因為使用多孔性性物質(zhì)的載體來進行熱蒸鍍工藝,所以如圖1所示,缺點在于氣化的物質(zhì)中的一部分接觸到被加熱的加熱器。由此其中一部分物質(zhì)通過高溫被熱分解,從而缺點在于可能降低蒸鍍物質(zhì)的使用效果,并且產(chǎn)生異物,從而可能污染蒸鍍產(chǎn)品。
      [0005]此外,如上所觀察到的,現(xiàn)有的熱蒸鍍裝置,如圖2或圖3所示,設置為多孔性物質(zhì)的載體位于設置在中央的加熱器之上的形態(tài),因為所述的無方向性的形態(tài),所以缺點在于,僅蒸鍍物質(zhì)的50%以下朝向位于較近的器材,而剩下的50%的蒸鍍物質(zhì)可過以載體及加熱器為中心排列的公轉(zhuǎn)夾具(jig)的直擊距離而到達對面器材表面。(由于所述缺點,可能產(chǎn)生如下問題,蒸鍍物質(zhì)的使用效率非常低,并且可能與雜質(zhì)反應而降低蒸鍍質(zhì)量,并且難以進行器材表面的均勻蒸鍍。)
      [0006]由此,需要一種能夠解決所述問題的新的熱蒸鍍裝置,尤其,需要開發(fā)一種可替代現(xiàn)有多孔性物質(zhì)載體的新的熱蒸鍍用載體。
      [0007]本發(fā)明是根據(jù)所述技術開發(fā)的要求進行發(fā)明的,不僅解決上面所觀察的問題,而且附加本發(fā)明【技術領域】具有通常知識的人難以輕易發(fā)明的構成,從而進行發(fā)明的。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0008]根據(jù)本發(fā)明一實施例的熱蒸鍍用高效載體的解決課題為,顯著提高熱蒸鍍用載體制造的生產(chǎn)性。
      [0009]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體的解決課題為,改善現(xiàn)有通過多孔性物質(zhì)所形成的熱蒸鍍用載體的構造,從而消除產(chǎn)品不良的危險性。
      [0010]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體的解決課題為,有效地減少加熱所致的蒸鍍不均勻,并且防止蒸鍍物質(zhì)相互結(jié)合所產(chǎn)生的煙霧。
      [0011]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體的解決課題為,顯著地提高蒸鍍物質(zhì)的使用效率,并且完全切斷氣化的蒸鍍物質(zhì)和已加熱的加熱器的接觸。
      [0012]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體的解決課題為,將載體所承載的蒸鍍物質(zhì)更加穩(wěn)定地進行固定。
      [0013]為了解決所述問題,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體包括:外殼,其可對將用于熱蒸鍍的蒸鍍物質(zhì)進行收容,并且可將熱傳遞至所述蒸鍍物質(zhì),所述熱由加熱器傳遞而來;以及網(wǎng)狀物(mesh),其設置于所述外殼內(nèi)部,從而防止所述蒸鍍物質(zhì)的流動。
      [0014]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述外殼包括開口部,并且所述蒸鍍物質(zhì)從所述外殼的內(nèi)部向形成有所述開口部的方向擴散。
      [0015]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述蒸鍍物質(zhì)為在熱蒸鍍工藝過程中可具有粘性和流動性的物質(zhì)。
      [0016]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述外殼和所述網(wǎng)狀物由相同材料的金屬形成。
      [0017]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述網(wǎng)狀物向所述蒸鍍物質(zhì)傳遞熱。
      [0018]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,向所述外殼傳遞熱的加熱器為板型的金屬加熱器,并且所述板型的金屬加熱器向所述外殼的底面?zhèn)鬟f熱。
      [0019]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述外殼的底面為凹凸形狀。
      [0020]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述板型的金屬加熱器設置為與器材的公轉(zhuǎn)軸平行,并且所述板型的金屬加熱器前面設置有所述外殼。
      [0021]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述板型金屬加熱器前面形成有用于固定所述外殼的支架。
      [0022]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述板型金屬加熱器前面形成有用于支撐的彈簧。
      [0023]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體中,所述外殼形成有環(huán)結(jié)構,所述環(huán)結(jié)構可夾插入于所述板型金屬加熱器。
      [0024]根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可顯著提高熱蒸鍍用載體制造的生產(chǎn)性。具體地,作為現(xiàn)有所使用的多孔性載體原料的粉末、纖維質(zhì)有單價較高且難以處理、生產(chǎn)性較低的問題,而將所述現(xiàn)有載體替換為新形態(tài)的載體,從而可顯著提高生產(chǎn)性。
      [0025]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其對現(xiàn)有通過多孔性物質(zhì)所形成的熱蒸鍍用載體的構造進行改善,從而可消除產(chǎn)品不良的危險性。具體地,現(xiàn)有所使用的多孔性物質(zhì)的載體因為成形粉末或纖維質(zhì)來制造,所以處理時可能產(chǎn)生微細灰塵而導致產(chǎn)品不良,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體因為不會產(chǎn)生微細灰塵,所以可切斷所蒸鍍的產(chǎn)品的不良危險性。
      [0026]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可有效降低加熱所致的蒸鍍不均勻。具體地根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的載體通過外殼和網(wǎng)狀物(mesh)的構成,可均勻地保持加熱時載體內(nèi)的溫度分布,由此可有效減少急劇加熱所致的蒸鍍不均勻,并且可防止因為溫度差,蒸鍍物質(zhì)相互結(jié)合而產(chǎn)生的煙霧。
      [0027]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可顯著提高蒸鍍物質(zhì)的使用效率。具體地,根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱蒸鍍用高效載體中,因為蒸鍍物質(zhì)的氣化方向僅向一個方向形成(開口部方向),所以可使器材位于所述方向(例如,將載體固定于板型的金屬加熱器,并可通過將所述板型的金屬加熱器以平行于器材的公轉(zhuǎn)軸的方式加以設置來實現(xiàn)),從而可顯著提高高價的蒸鍍物質(zhì)的使用效率。
      [0028]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可完全切斷氣化的蒸鍍物質(zhì)與被加熱的加熱器的接觸。由此,不會產(chǎn)生現(xiàn)有的如下問題:所氣化的蒸鍍物質(zhì)的一部分和被加熱的加熱器接觸,從而產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)的使用效率減少及雜質(zhì)產(chǎn)生危險性。
      [0029]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可將載體所承載的蒸鍍物質(zhì)進行更加穩(wěn)定地固定。具體地,通過形成凹凸形狀的外殼底面和網(wǎng)形狀的網(wǎng)狀物,進一步抑制蒸鍍物質(zhì)的流動。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0030]圖1是表示蒸鍍物質(zhì)通過現(xiàn)有多孔性物質(zhì)的載體而氣化的狀態(tài)的圖。
      [0031]圖2是表示現(xiàn)有的鶴絲(tungsten filament)加熱器和載體的使用狀態(tài)及蒸鍍過程的圖。
      [0032]圖3是表示現(xiàn)有的鑰舟(molybdenum boat)加熱器和載體的使用狀態(tài)及蒸鍍過程的圖。
      [0033]圖4是表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的高效載體的構成的圖。
      [0034]圖5是表示蒸鍍物質(zhì)通過根據(jù)本發(fā)明一個實施例的高效載體而氣化的狀態(tài)的圖。
      [0035]圖6是表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的高效載體設置于包括支架的板型加熱器的形態(tài)的圖。
      [0036]圖7是表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的高效載體設置于包括彈簧(spring)的板型加熱器的形態(tài)的圖。
      [0037]圖8是表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的高效載體利用環(huán)結(jié)構設置于板型加熱器的形態(tài)的圖。
      [0038]圖9是表示根據(jù)本發(fā)明一個實施例的高效載體的構成的圖。
      [0039]標號說明
      [0040]100:外殼 110:底面
      [0041]130:開口部 150:環(huán)結(jié)構
      [0042]200:網(wǎng)狀物(mesh) 300:蒸鍍物質(zhì)
      [0043]400:加熱器 410:熱
      [0044]4:30:支架 4δ0:彈簧
      [0045]500:器材

      【具體實施方式】
      [0046]以下,參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體進行詳細說明。說明的實施例是為了使從業(yè)者能夠易于理解本發(fā)明的技術思想而提供的,并非通過其來限定本發(fā)明。此外,附圖所表示的事項是為了易于說明本發(fā)明的實施例而進行圖示化的圖,可與實際所體現(xiàn)的形態(tài)不同。
      [0047]以下,參照圖4至圖5,對根據(jù)本發(fā)明一個實施例的熱蒸鍍用高效載體進行詳細說明。
      [0048]參照圖4,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其包括:外殼100,其可對將用于熱蒸鍍的蒸鍍物質(zhì)300進行收容,并且可將熱傳遞至所述蒸鍍物質(zhì)300,所述熱由加熱器400傳遞而來;網(wǎng)狀物(mesh) 200,其設置于所述外殼100內(nèi)部,從而防止所述蒸鍍物質(zhì)300的流動。
      [0049]所述蒸鍍物質(zhì)300作為用于熱蒸鍍工藝的來源(source)物質(zhì),意味著通過工藝過程中的加熱所氣化,并且氣化后移動至器材500表面而被蒸鍍的物質(zhì)。
      [0050]所述蒸鍍物質(zhì)300以承載于載體中的形態(tài)應用于熱蒸鍍工藝中,優(yōu)選地,用在工藝過程中能夠具有粘性和流動性的物質(zhì)來形成。例如,所述蒸鍍物質(zhì)300可由用于耐指紋(Anti Finger)涂覆(coating)的氟(fluorine)系等耐指紋物質(zhì)構成,所述耐指紋物質(zhì)在工藝過程中以具有若干粘性和流動性的狀態(tài)收容(作為參考,所述耐指紋預防物質(zhì)在工藝開始前,可以以與揮發(fā)性物質(zhì)混合的液體形態(tài)承載于載體,并且工藝開始后,隨著所述揮發(fā)性物質(zhì)的揮發(fā)而可變?yōu)榫哂腥舾烧承院土鲃有缘娜苣z(sol)或凝膠(gel)狀態(tài))于載體,并且在所述狀態(tài)下可利用于熱蒸鍍。
      [0051]所述外殼100意味著如下構成:可收容將用于熱蒸鍍的所述蒸鍍物質(zhì)300,并且將從加熱器400傳遞而來的熱410傳遞至所述蒸鍍物質(zhì)300。
      [0052]在此,優(yōu)選地,所述外殼100由熱傳導性物質(zhì)形成,通過所述傳導性材料,將從外部加熱器400傳遞而來的熱410傳遞至所述蒸鍍物質(zhì)300,并且使所述蒸鍍物質(zhì)300氣化后蒸鍍。此外,優(yōu)選地,所述外殼100的熱傳導性材料可由金屬材料形成,此時,優(yōu)選地,所述金屬材料為熔點超過1000°C的銅、鐵、不銹鋼(stainless)等金屬材料。這是因為:具有1000°C以下熔點的類似于錫、鋅的物質(zhì)在通過加熱器400加熱時,可能熔化或氣化,因此不能有效地將熱傳遞至載體,并且蒸鍍工藝中可能產(chǎn)生雜質(zhì)。
      [0053]另外,如圖4所示,所述外殼100可包括朝向特定方向所形成的開口部130,通過所述開口部130可一定地保持蒸鍍物質(zhì)300的移動方向。具體地,因為在所述外殼100內(nèi)部所氣化的所述蒸鍍物質(zhì)300僅可通過所述開口部130才能向外部移動,所以可相對一定地保持蒸鍍物質(zhì)300的移動方向,并且使得即將蒸鍍的器材500位于所述開口部130朝向的方向,從而可提高蒸鍍物質(zhì)300的蒸鍍效果。
      [0054]此外,所述外殼100,以所氣化的蒸鍍物質(zhì)300無法向所述開口部130所形成的方向之外的所有方向進行移動的方式進行切斷,通過所述構造,可完全切斷所述蒸鍍物質(zhì)300與被加熱的加熱器400的接觸。由此,可解決現(xiàn)有由于所氣化的蒸鍍物質(zhì)300的一部分與被加熱的加熱器400接觸而發(fā)生的問題,所述問題為蒸鍍物質(zhì)300的使用效率降低及雜質(zhì)產(chǎn)生的危險。
      [0055]所述網(wǎng)狀物(mesh) 200意味著如下構成:設置于所述外殼100內(nèi)部,從而防止所述蒸鍍物質(zhì)300的流動。
      [0056]如圖4所示,所述網(wǎng)狀物200在所述外殼100內(nèi)部設置為與所述外殼100接觸的形態(tài),優(yōu)選地,根據(jù)所述構造使如下成為可能:防止具有流動性和粘性的所述蒸鍍物質(zhì)300的流動,并且進行所述蒸鍍物質(zhì)300的穩(wěn)定固定。具體地,通過名稱中所表現(xiàn)的網(wǎng)(mesh)構造,可防止所述蒸鍍物質(zhì)300的流動,為了提高所述流動預防的功能,將兩個以上所述網(wǎng)狀物200設置于所述外殼100,或也可將所述網(wǎng)狀物200的規(guī)格形成為10行/英寸(line/inch)以上。
      [0057]此外,所述網(wǎng)狀物200可用與所述外殼100相同的熱傳導性材料形成,通過所述構成可提高傳遞至所述蒸鍍物質(zhì)300的熱傳遞的效率。具體地,因為對通過所述外殼100的熱傳遞進行補充,從而進行額外的熱傳遞,所以可提高熱傳遞的效率,并且對通過所述外殼100難以直接受熱的蒸鍍物質(zhì)300的部位也將熱進行補充性傳遞,從而可進行均勻加熱。
      [0058]另外,所述網(wǎng)狀物200可用與所述外殼100相同的材料的熱傳導性材料形成,通過所述相同材料構成從而可易于載體的清洗。具體地,可用與所述外殼100相同的金屬材料形成,并且優(yōu)選地,可由熔點超過1000°c的銅、鐵、不銹鋼等金屬材料形成。(如上面所觀察的,這是因為:具有1000°c以下熔點的類似于錫、鋅的物質(zhì)在通過加熱器400進行加熱時可熔化或氣化,因此不能有效地將熱傳遞至載體,并且蒸鍍工藝中可能產(chǎn)生雜質(zhì)。)
      [0059]如上面所觀察的,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的高效載體,其包括所述外殼100和網(wǎng)狀物200,其在工藝過程中可對載體所收容的蒸鍍物質(zhì)300進行均勻的加熱。具體地,通過所述外殼100,對所述加熱器400的熱進行基本傳遞的同時,通過所述網(wǎng)狀物200將熱補充傳遞至從所述外殼100不能充分受熱的蒸鍍物質(zhì)300的部位,從而可對蒸鍍物質(zhì)300全部進行均勻的加熱。由此,通過所述均勻加熱,可減少蒸鍍偏差,并且可防止非均勻加熱時可發(fā)生的煙霧。
      [0060]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的高效載體,其包括所述外殼100和網(wǎng)狀物200,因為蒸鍍物質(zhì)300的氣化方向僅朝向特定方向形成,所以將器材500放置于所述特定方向,從而可顯著提高高價蒸鍍物質(zhì)300的使用效率。具體地,如圖5所示,所述蒸鍍物質(zhì)300的氣化方向可限定為朝向所述外殼100的開口部130方向,將器材500位于所述開口部130方向,從而可顯著提高高價的蒸鍍物質(zhì)300的使用效率。
      [0061]以下,參照圖5至圖8,對根據(jù)本發(fā)明的熱蒸鍍用高效載體設置于板型金屬加熱器400的實施例進行觀察。
      [0062]以下所觀察的實施例可提高蒸鍍物質(zhì)300的使用效率,并提高蒸鍍產(chǎn)品的品質(zhì),具體地,通過加熱而氣化的蒸鍍物質(zhì)300僅噴射至所述載體的開口部130方向,并且僅朝向最靠近的器材500,因此可提高蒸鍍物質(zhì)300的使用效率。此外,可降低含有雜質(zhì)的可能性,并且可實現(xiàn)器材500表面的均勻蒸鍍。
      [0063]參照圖5至圖8具體進行觀察,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,可從外部的加熱器接受用于對蒸鍍物質(zhì)300進行氣化的熱,在此優(yōu)選地,所述加熱器400為板型的金屬加熱器400,并且如圖6至圖8所示,優(yōu)選地,以所述載體的底面110與所述板型金屬加熱器400接觸的狀態(tài)進行設置。
      [0064]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,可以以所述外殼100設置于所述板型金屬加熱器400的狀態(tài)應用于熱蒸鍍工藝中,在此優(yōu)選地,所述熱蒸鍍工藝可通過包括可進行公轉(zhuǎn)或公自傳的器材搭載用夾具(jig)的熱蒸鍍裝置進行,并且優(yōu)選地,設置有所述載體的板型的金屬加熱器400設置為在熱蒸鍍裝置內(nèi)部與器材(器材搭載用夾具)的公轉(zhuǎn)軸相平行的狀態(tài)(如圖6至圖8所示,只有設置為所述狀態(tài),器材500才能位于所述載體的開口部130方向上,并且隨著所述夾具的公轉(zhuǎn)或公自傳運動實現(xiàn)蒸鍍的夾具500也依次交替)。
      [0065]另外,根據(jù)如上所觀察的實施例,所述載體需設置于所述板型金屬加熱器400的前面,為了實現(xiàn)所述設置,可在所述金屬加熱器400或所述外殼100額外形成固定工具。參照圖6進行觀察,用于設置所述外殼100的支架430可形成于所述板型的金屬加熱器400的前面,并且通過所述支架430,可固定所述載體。此外,參照圖7進行觀察,所述板型金屬加熱器400前面可形成有用于支撐的彈簧450,并且通過所述支撐用彈簧450,所述板型的金屬加熱器400和所述外殼100可緊貼并固定。并且,參照圖8進行觀察,所述外殼100可形成有環(huán)結(jié)構150,所述環(huán)結(jié)構可夾插入于所述板型金屬加熱器400,并且通過所述環(huán)結(jié)構150可固定所述載體和所述金屬加熱器400。
      [0066]以下,參照圖9,對根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的熱蒸鍍用高效載體進行觀察。
      [0067]參照圖9,根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的熱蒸鍍用高效載體的所述外殼100的底面110可形成為凹凸形狀,通過所述凹凸形狀的底面110,可額外抑制所述蒸鍍物質(zhì)300的流動。由此,使用網(wǎng)狀物200和凹凸形狀的底面110兩種構成,從而抑制所述蒸鍍物質(zhì)300的流動,因此可更加穩(wěn)定地固定所述蒸鍍物質(zhì)300。
      [0068]此外,根據(jù)本發(fā)明的另一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,在通過上面所觀察的板型加熱器400對所述外殼100的底面110進行加熱時,可對所述底面110進行更加均勻的加熱,由此,可進一步抑制因為不均勻加熱而可能產(chǎn)生的蒸鍍偏差。具體地,所述載體通過形成于所述底面110的凹凸形狀,可與所述板型加熱器400更加均勻地接觸,通過所述均勻接觸,可均勻地加熱所述底面110。(作為參考,將底面形成為平面時,難以將所述底面和所述板型加熱器面的細微曲折進行完全的一致,從而有產(chǎn)生不均勻加熱的危險。)
      [0069]如上面所觀察到的,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可顯著提高熱蒸鍍用載體制造的生產(chǎn)性。具體地,現(xiàn)有所使用的多孔性載體的原料粉末、纖維質(zhì)有單價較高且難以處理、生產(chǎn)性較低的問題,而將所述現(xiàn)有載體替換為新形態(tài)的載體,從而可顯著提高生產(chǎn)性。
      [0070]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其對現(xiàn)有通過多孔性物質(zhì)所形成的熱蒸鍍用載體的構造進行改善,從而可消除產(chǎn)品不良的危險性。具體地,現(xiàn)有所使用的多孔性物質(zhì)的載體因為形成粉末或纖維質(zhì)來制造,所以處理時可能產(chǎn)生微細灰塵而導致產(chǎn)品不良,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體因為不會產(chǎn)生微細灰塵,所以可切斷所蒸鍍的產(chǎn)品的不良危險性。
      [0071]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可有效降低加熱所致的蒸鍍不均勻。具體地根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的載體通過外殼和網(wǎng)狀物(mesh)200的構成,可均勻地保持加熱時載體內(nèi)的溫度分布,由此可有效減少急劇加熱所致的蒸鍍不均勻,并且可防止因為溫度差,蒸鍍物質(zhì)300相互結(jié)合而產(chǎn)生的煙霧。
      [0072]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可顯著提高蒸鍍物質(zhì)300的使用效率。具體地,根據(jù)本發(fā)明的實施例的熱蒸鍍用高效載體中,因為蒸鍍物質(zhì)300的氣化方向僅向一個方向形成(開口部130方向),所以可使器材500位于所述方向(例如,將載體固定于板型的金屬加熱器400,并可通過將所述板型的金屬加熱器400以平行于器材500的公轉(zhuǎn)軸的方式加以設置來實現(xiàn)),從而可顯著提高高價的蒸鍍物質(zhì)300的使用效率。
      [0073]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可完全切斷氣化的蒸鍍物質(zhì)300與被加熱的加熱器400的接觸。由此,不會產(chǎn)生現(xiàn)有的如下問題:所氣化的蒸鍍物質(zhì)300的一部分和被加熱的加熱器400接觸,從而產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)300的使用效率減少及雜質(zhì)產(chǎn)生危險性。
      [0074]此外,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的熱蒸鍍用高效載體,其可將載體所承載的蒸鍍物質(zhì)300進行更加穩(wěn)定地固定。具體地,通過形成凹凸形狀的外殼底面110和網(wǎng)形狀的網(wǎng)狀物200,進一步抑制蒸鍍物質(zhì)300的流動。
      [0075]上面所說明的本發(fā)明的實施例僅僅是為了舉例而提出的,應理解為,在本發(fā)明的【技術領域】內(nèi)具有通常知識的人員在本發(fā)明的思想和范圍內(nèi)可進行各種修正、變更、附加,并且所述修正、變更及附加應看做屬于本專利請求范圍。
      【權利要求】
      1.一種熱蒸鍍用高效載體,其特征在于,包括: 外殼,其對將用于熱蒸鍍的蒸鍍物質(zhì)進行收容,并且將熱傳遞至所述蒸鍍物質(zhì),所述熱由加熱器傳遞而來;以及 網(wǎng)狀物,其設置于所述外殼內(nèi)部,從而防止所述蒸鍍物質(zhì)的流動。
      2.根據(jù)權利要求1所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述外殼包括開口部,并且所述蒸鍍物質(zhì)從所述外殼的內(nèi)部向形成有所述開口部的方向擴散。
      3.根據(jù)權利要求1所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述蒸鍍物質(zhì)為在熱蒸鍍工藝過程中可具有粘性和流動性的物質(zhì)。
      4.根據(jù)權利要求1所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述外殼和所述網(wǎng)狀物由相同材料的金屬形成。
      5.根據(jù)權利要求4所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述網(wǎng)狀物向所述蒸鍍物質(zhì)傳遞熱。
      6.根據(jù)權利要求2所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 向所述外殼傳遞熱的加熱器為板型金屬加熱器,并且所述板型的金屬加熱器向所述外殼的底面?zhèn)鬟f熱。
      7.根據(jù)權利要求6所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述外殼的底面為凹凸形狀。
      8.根據(jù)權利要求6所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述板型的金屬加熱器設置為與器材的公轉(zhuǎn)軸平行,并且所述板型的金屬加熱器前面設置有所述外殼。
      9.根據(jù)權利要求8所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述板型的金屬加熱器前面形成有用于固定所述外殼的支架。
      10.根據(jù)權利要求8所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述板型金屬加熱器前面形成有用于支撐的彈簧。
      11.根據(jù)權利要求8所述的熱蒸鍍用高效載體,其特征在于: 所述外殼形成有環(huán)結(jié)構,所述環(huán)結(jié)構可夾插入于所述板型金屬加熱器。
      【文檔編號】C23C14/24GK104271794SQ201280072540
      【公開日】2015年1月7日 申請日期:2012年12月26日 優(yōu)先權日:2012年4月20日
      【發(fā)明者】金潤澤, 林朝燮, 崔永琳 申請人:Mmt有限公司
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