坩堝材料量檢測裝置、方法及蒸鍍的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種坩堝材料量檢測裝置、方法及蒸鍍機，所述坩堝材料量檢測裝置包括：稱量模塊，包括設(shè)置于坩堝底部的多個傳感器，用于感測所述坩堝的重量；運算模塊，用于接收所述多個傳感器傳送的感測數(shù)據(jù)，計算所述坩堝內(nèi)的剩余材料量；控制模塊，用于將所述運算模塊計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。本發(fā)明能夠精準檢測坩堝內(nèi)所剩材料量。
【專利說明】坩堝材料量檢測裝置、方法及蒸鍍機

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示面板制造過程中的膜層鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種坩堝材料量檢測裝置、一種坩堝材料量檢測方法以及一種具有該坩堝材料量檢測裝置的蒸鍍機。

【背景技術(shù)】
[0002]目前有機發(fā)光二極管(OLED)組件制作上仍以熱蒸鍍?yōu)橹鳎袡C材料使用更是有機發(fā)光二極管制作上一個重大環(huán)節(jié)，不僅是成本極大宗，也關(guān)乎制程質(zhì)量。所以在生產(chǎn)過程中，嚴格管控蒸鍍機的坩堝內(nèi)有機材料量將是非常重要的課題。
[0003]現(xiàn)有用于熱蒸鍍工藝的蒸發(fā)源種類主要包括點蒸發(fā)源、集群式線蒸發(fā)源、單點線性蒸發(fā)源和面蒸發(fā)源。以單點線型蒸發(fā)源為例，如圖1所示，包括長條形本體10，本體10內(nèi)具有腔室，本體10頂部設(shè)置若干噴嘴12，本體10底部中央位置連通坩堝20。當(dāng)向一基板30蒸鍍薄膜時，坩堝20被加熱裝置(通常設(shè)置于坩堝的兩側(cè)，圖中未示出)加熱，坩堝20內(nèi)的蒸鍍材料受熱而氣化成蒸氣進入本體10的腔室，經(jīng)噴嘴12噴向基板30，在基板30的下表面鍍上一層薄膜。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，由于熱蒸鍍所使用的有機材料相當(dāng)昂貴，所以填料的管控需十分嚴格，但也因如此，增加了制程方面的壓力。往往需計算當(dāng)下的制程(run)需填多少量的材料，而填入所需的量。但也因無法準確地知道坩堝內(nèi)的材料量在過程中到底還剩多少。因此有時便因燒到?jīng)]料而產(chǎn)生產(chǎn)品特性嚴重的變異。目前所使用材料控管方法有如下兩種。
[0005]第一種是，先計算對應(yīng)沉積率(DEPO rate)的基本耗量，再看此制程需多少時間，之后再估算材料需耗總量,確定所需填入材料量。例如:沉積率(DEPO rate)為IA/sec時，對應(yīng)的基本耗量為2g/hr。若此制程(run)需耗時144hrs，則需耗材料總量約為2*144=288g，則本次制程填入的材料量需大于量288克。
[0006]第二種是，搭配沉積率監(jiān)測傳感器(DEPO rate monitor sensor)來進行材料量控制。但這種方法，一旦發(fā)現(xiàn)沉積率的數(shù)值(rate value)往下降而沉積溫度卻不斷往上升，如圖2所示，此時坩堝內(nèi)的材料已耗損結(jié)束。
[0007]另外，目前所使用的填料控管手法往往是前述方法一搭配方法二使用，但一旦遇到像圖2所示的異常情況發(fā)生，此種判斷方式雖可能知道材料已耗損結(jié)束，但是異常現(xiàn)象已經(jīng)發(fā)生了，所以將會造成產(chǎn)品異常。
[0008]所以如何在材料耗損完前便可知道，將對制程管控與產(chǎn)品保持是相當(dāng)重要的課題。因此，需要設(shè)計出可精準檢測坩堝內(nèi)所剩材料量的裝置。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明的目的為提供一種能夠精準檢測坩堝內(nèi)所剩材料量的坩堝材料量檢測裝置。
[0010]本發(fā)明的另一目的為提供一種能夠精準檢測坩堝內(nèi)所剩材料量的坩堝材料量檢測方法。
[0011]本發(fā)明的再一目的為提供一種具有本發(fā)明的坩堝材料量檢測裝置的蒸鍍機。
[0012]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0013]一種坩堝材料量檢測裝置，其中，所述坩堝材料量檢測裝置包括:稱量模塊，包括設(shè)置于坩堝底部的多個傳感器，用于感測所述坩堝的重量；運算模塊，用于接收所述多個傳感器傳送的感測數(shù)據(jù)，計算所述坩堝內(nèi)的剩余材料量；控制模塊，用于將所述運算模塊計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。
[0014]本發(fā)明的蒸鍍機，具有本發(fā)明的坩堝材料量檢測裝置。
[0015]一種坩堝材料量檢測方法，其中，所述坩堝材料量檢測方法包括步驟；步驟S1:通過設(shè)置于坩堝底部的多個傳感器采集所述坩堝重量的感測數(shù)據(jù)；步驟S2:接收所述多個傳感器傳回的感測數(shù)據(jù)，計算所述坩堝內(nèi)的剩余材料量；步驟S3:將計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。
[0016]本發(fā)明的有益效果在于，本發(fā)明的坩堝材料量檢測裝置、坩堝材料量檢測方法和蒸鍍機，能夠在坩堝內(nèi)的材料量損耗完之前便可知道坩堝內(nèi)的剩余材料量情況。且本發(fā)明所使用的壓電傳感器的壓電信號，既及時，也準確，可以實時的知道坩堝內(nèi)蒸鍍材料的燒解情況，因此可以準確的掌控坩堝內(nèi)的剩余材料量，準確率可達100%。避免了因坩堝內(nèi)燒到?jīng)]料而產(chǎn)生的產(chǎn)品特性嚴重的變異，有效的提高了產(chǎn)品的質(zhì)量，可節(jié)約用于蒸鍍的有機材料，降低生產(chǎn)成本。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1通常的蒸鍍機的蒸發(fā)源組件的示意圖。
[0018]圖2為現(xiàn)有技術(shù)的第二種材料控管方法的沉積率監(jiān)測圖。
[0019]圖3為坩堝的示意圖。
[0020]圖4為本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的方框圖。
[0021]圖5為本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的坩堝底部的壓電傳感器布局圖。
[0022]圖6為本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的運算模塊的方框圖。
[0023]圖7為本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的控制模塊的方框圖。
[0024]圖8為本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測方法的流程圖。

【具體實施方式】
[0025]體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點的典型實施例將在以下的說明中詳細敘述。應(yīng)理解的是，本發(fā)明能夠在不同的實施例上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明的范圍，且其中的說明及附圖在本質(zhì)上是當(dāng)作說明之用，而非用以限制本發(fā)明。
[0026]本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測方法，可以由本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置實現(xiàn)，本發(fā)明實施例的蒸鍍機，具有本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置。
[0027]下面先介紹本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置。
[0028]如圖3和圖4所示，本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置，包括稱量模塊、運算模塊和控制模塊。以下逐一介紹:
[0029]一、稱量模塊
[0030]本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的稱量模塊，主要包括設(shè)置于坩堝底部的多個傳感器；這些傳感器是用于感測坩堝的重量，進而準確推斷出坩堝內(nèi)的剩余材料量。
[0031]而本發(fā)明的坩堝材料量檢測裝置的稱量模塊所用的傳感器，優(yōu)選的是壓電傳感器。壓電傳感器是利用某些電介質(zhì)受力后產(chǎn)生的壓電效應(yīng)制成的傳感器。所謂壓電效應(yīng)是指某些電介質(zhì)在受到某一方向的外力作用而發(fā)生形變(包括彎曲和伸縮形變)時，由于內(nèi)部電荷的極化現(xiàn)象，會在其表面產(chǎn)生電荷的現(xiàn)象。壓電傳感器是一種便宜且易取得的電子裝置，壓電傳感器的壓電信號既實時，且準確，因此可以精準掌控坩堝內(nèi)的材料量。
[0032]如圖3所示，壓電傳感器需要設(shè)置在坩堝2的底部與蒸鍍機的外殼I之間，因為在工作狀態(tài)時，加裝壓電傳感器的部位是高溫環(huán)境，因此，為了保證壓電傳感器正常工作，壓電傳感器優(yōu)選的是能夠耐500度高溫的壓電傳感器。或者，也可以將壓電傳感器用隔熱材料包覆起來，使得壓電傳感器的工作溫度降至其正常工作的范圍。所使用的隔熱材料例如為陶瓷隔熱材料，但本發(fā)明并不以此為限。
[0033]如圖5所示，本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置，壓電傳感器3是以均勻分布的方式分布于坩堝2的底部，坩堝2底部是平整的，如果坩堝2底部為長方形，壓電傳感器3可以以多排多列的方式均勻分布于所述坩堝的底部。
[0034]如圖5所示，在坩堝2底部，均勻的以兩列七排的格局分布著14個壓電傳感器3，每個壓電傳感器3檢測其所在小區(qū)域4 (圖5中虛線表示的區(qū)域)的坩堝2局部的重量數(shù)據(jù)，也即坩堝2底部等分為14個小區(qū)域4，每一小區(qū)域4內(nèi)設(shè)置一壓電傳感器3，因此，坩堝2的重量應(yīng)為各壓電傳感器2的感測數(shù)據(jù)加總后的和。
[0035]二、運算模塊
[0036]本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的運算模塊，用于接收多個壓電傳感器3傳回的感測數(shù)據(jù)，計算坩堝2內(nèi)的剩余材料量。
[0037]首先，本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置，為了保證材料量檢測的實時性與準確性，壓電傳感器3采集數(shù)據(jù)的頻率接近于實時采集，例如可為I次/秒，但并不以此為限。
[0038]如圖6所示，運算模塊可以包括數(shù)據(jù)接收單元、加總單元和數(shù)值輸出單元。
[0039]其中，數(shù)據(jù)接收單元的作用是用來接收稱量模塊的多個壓電傳感器3發(fā)來的感測數(shù)據(jù)。運算模塊的數(shù)據(jù)接收單元與稱量模塊的各個壓電傳感器3既可以通過有線的連接方式相連，也可以通過無線傳輸?shù)姆绞絹慝@取感測數(shù)據(jù)。接收到壓電傳感器3的感測數(shù)據(jù)后，數(shù)據(jù)接收單元將感測數(shù)據(jù)發(fā)送給加總單元處理。
[0040]加總單元，將數(shù)據(jù)接收單元傳來的各感測數(shù)據(jù)加總，先計算出坩堝2的重量，然后減去坩堝2自重，得到坩堝2內(nèi)的剩余材料量。得出的剩余材料量，再傳輸給數(shù)值輸出單元。
[0041]數(shù)值輸出單元，則將加總單元傳來的剩余材料量的數(shù)值，傳送給控制模塊，以便通過判斷而決定是否發(fā)出相應(yīng)的控制指令。
[0042]三、控制模塊
[0043]本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置的控制模塊，用于將運算模塊計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。
[0044]本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置，所發(fā)出的控制指令，可為停止對坩堝2進行加熱的指令，或者停止蒸鍍制程的指令，或者發(fā)出停止加熱的警示信息的指令，以提醒操作者關(guān)注坩堝2內(nèi)剩余材料量的變化?？梢园凑詹煌膶嶋H情況，確定不同的控制指令。也可以在坩堝內(nèi)的材料量處于不同水平時，先后發(fā)出不同的控制指令，例如先進行警示的指令，再發(fā)出停止加熱的指令。
[0045]具體的，如圖7所示，本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置，其控制模塊包括數(shù)值接收單元、加總單元、指令生成單元和指令輸出單元，各單元介紹如下:
[0046]數(shù)值接收單元，接收運算模塊的數(shù)值輸出單元發(fā)來的坩堝2內(nèi)的剩余材料量數(shù)值，傳送給比較單元；
[0047]比較單元，將剩余材料量數(shù)值與事先存儲的設(shè)定的剩余材料量進行比較，這里所說的設(shè)定的剩余材料量值，可以不止一個；在不止一個時，可以其中一個是對應(yīng)發(fā)出停止加熱信號的停止值，還有對應(yīng)發(fā)出警示信息的警示值，警示值對應(yīng)的坩堝內(nèi)的剩余料量(例如10克)，大于停止值所對應(yīng)的坩堝內(nèi)的剩余料量(例如5克)。
[0048]設(shè)定的剩余材料量，可事先存儲于控制模塊的一存儲單元中，以備比較單元調(diào)用。
[0049]指令生成單元，其作用是接收比較單元傳來的比較結(jié)果，如果經(jīng)檢測所得的剩余材料量數(shù)值小于設(shè)定的剩余材料量，則生成相應(yīng)的控制指令；如果剩余材料量不小于設(shè)定的剩余材料量，則不生成控制指令，由壓電傳感器繼續(xù)進行實時檢測。
[0050]指令輸出單元，其作用是將指令生成單元生成的控制指令輸出給蒸鍍機的控制器，以實現(xiàn)停止對坩堝進行加熱的動作，或者停止蒸鍍制程的動作，或者發(fā)出停止加熱的警示信息的動作。
[0051]本發(fā)明實施例的蒸鍍機，其控制器接收到指令輸出單元輸出的控制指令后，通過控制器的控制，實現(xiàn)停止對坩堝進行加熱的動作，或者停止當(dāng)前蒸鍍制程的動作，或者發(fā)出停止加熱的警示信息的動作，從而避免因坩堝內(nèi)燒到?jīng)]料而產(chǎn)生的產(chǎn)品特性嚴重的變異。
[0052]下面再介紹一下本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測方法，在裝置中提到的相同或相應(yīng)的特征，在介紹方法時，不再贅述。
[0053]如圖8所示，本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測方法，主要包括步驟S1-步驟S3。
[0054]步驟SI是通過設(shè)置于坩堝2底部的多個壓電傳感器3來采集坩堝2重量的感測數(shù)據(jù)；
[0055]步驟S2是接收多個壓電傳感器3傳回的感測數(shù)據(jù)，計算坩堝2內(nèi)的剩余材料量；具體的講，是將所述數(shù)據(jù)接收單元獲得的感測數(shù)據(jù)加總，以計算坩堝的重量，然后減去坩堝自重，得到坩堝內(nèi)的剩余材料量。
[0056]步驟S3是將步驟S2計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比進行較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。
[0057]本發(fā)明實施例的坩堝材料量檢測裝置、坩堝材料量檢測方法和蒸鍍機，能夠在坩堝2內(nèi)的材料量損耗完之前便可知道坩堝2內(nèi)的剩余材料量，壓電傳感器3的壓電信號，既及時，也準確，因此可以準確的掌控坩堝2內(nèi)的剩余材料量，準確率可達100%。避免了因坩堝2內(nèi)燒到?jīng)]料而產(chǎn)生的產(chǎn)品特性嚴重的變異，有效的提高了產(chǎn)品的質(zhì)量，節(jié)約了用于蒸鍍的有機材料，降低了生產(chǎn)成本。
[0058]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)意識到在不脫離本發(fā)明所附的權(quán)利要求所揭示的本發(fā)明的范圍和精神的情況下所作的更動與潤飾，均屬本發(fā)明的權(quán)利要求的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種坩堝材料量檢測裝置，其中，所述坩堝材料量檢測裝置包括: 稱量模塊，包括設(shè)置于坩堝底部的多個傳感器，用于感測所述坩堝的重量； 運算模塊，用于接收所述多個傳感器傳送的感測數(shù)據(jù)，計算所述坩堝內(nèi)的剩余材料量; 控制模塊，用于將所述運算模塊計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。
2.如權(quán)利要求1所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述傳感器為壓電傳感器。
3.如權(quán)利要求2所述的坩堝材料量檢測裝置，其中所述壓電傳感器為耐500度高溫的壓電傳感器。
4.如權(quán)利要求2所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述壓電傳感器包覆有隔熱材料。
5.如權(quán)利要求4所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述隔熱材料為陶瓷。
6.如權(quán)利要求2所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述壓電傳感器采集數(shù)據(jù)的頻率為I次/秒。
7.如權(quán)利要求2所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述壓電傳感器以多排多列的方式均勻分布于所述坩堝的底部。
8.如權(quán)利要求7所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述壓電傳感器兩列七排共計14個。
9.如權(quán)利要求1所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述控制指令為停止加熱的指令或發(fā)出警示信息的指令。
10.如權(quán)利要求1所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述運算模塊包括: 數(shù)據(jù)接收單元，接收所述稱量模塊發(fā)來的所述感測數(shù)據(jù)； 加總單元，將所述數(shù)據(jù)接收單元獲得的所述感測數(shù)據(jù)加總，以計算所述坩堝的重量，然后減去所述坩堝的自重，得到所述坩堝內(nèi)的剩余材料量； 數(shù)值輸出單元，將所述加總單元計算所得的剩余材料量傳送給所述控制模塊。
11.如權(quán)利要求10所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述數(shù)據(jù)接收單元與所述傳感器通過有線或無線的方式連接。
12.如權(quán)利要求10所述的坩堝材料量檢測裝置，其中，所述控制模塊包括: 數(shù)值接收單元，接收所述運算模塊發(fā)來的剩余材料量數(shù)值； 比較單元，將所述剩余材料量數(shù)值與設(shè)定的剩余材料量比較，得到比較結(jié)果； 指令生成單元，接收所述比較單元傳來的所述比較結(jié)果，如果剩余材料量數(shù)值小于設(shè)定的剩余材料量，則生成所述控制指令； 指令輸出單元，將所述指令生成單元生成的所述控制指令輸出。
13.一種蒸鍍機，其特征在于，所述蒸鍍機具有權(quán)利要求1-12任一所述的坩堝材料量檢測裝置。
14.一種坩堝材料量檢測方法，其中，所述坩堝材料量檢測方法包括步驟； 步驟S1:通過設(shè)置于坩堝底部的多個傳感器采集所述坩堝重量的感測數(shù)據(jù)； 步驟S2:接收所述多個傳感器傳回的感測數(shù)據(jù)，計算所述坩堝內(nèi)的剩余材料量； 步驟S3:將計算所得的剩余材料量與設(shè)定的剩余材料量比較，當(dāng)計算所得的剩余材料量小于設(shè)定的剩余材料量時，發(fā)出一控制指令。
15.如權(quán)利要求14所述的坩堝材料量檢測方法，其中，步驟S2中，將所述數(shù)據(jù)接收單元獲得的所述感測數(shù)據(jù)加總，以計算所述坩堝的重量，然后減去所述坩堝自重，得到所述坩堝內(nèi)的剩余材料量。
【文檔編號】C23C14/54GK104278249SQ201310275092
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2013年7月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月2日
【發(fā)明者】林進志, 周皓煜, 黃俊允 申請人:上海和輝光電有限公司