專利名稱：一種pecvd微波銅管的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池技術領域，更具體地說，涉及一種PECVD微波銅管。
背景技術：
在太陽能電池生產(chǎn)的多個工序中，包括在電池片上進行鍍膜的工序，其生產(chǎn)工藝是通過PECVD法在電池片表面鍍膜。銅管是PECVD鍍膜設備工藝腔室內(nèi)微波系統(tǒng)的組成部分之一，安裝在石英管內(nèi)，其兩端分別接入微波發(fā)生器與銅電極，石英管的腔室內(nèi)微波系統(tǒng)由石英管保持真空，設備兩側(cè)的微波發(fā)生器通過電極、銅管在石英管內(nèi)連通，使石英管內(nèi)發(fā)生同一頻率微波，此組合有多組，其共同完成微波發(fā)生，使分布在石英管腔室內(nèi)的特定氣體形成等離子狀態(tài)，并附著在電池片表面以完成鍍膜沉積。PECVD鍍膜設備需要進行周期性的維護，在維護的過程中，需要對石英管和銅管進行拆卸和再次安裝，在現(xiàn)有技術中，銅管為圓形直管，且其抗變形能力較低，在拆卸和安裝的過程中，銅管在受到外力損傷時，就非常容易會發(fā)生彎曲變形，銅管的管口由于其他部件傷害或硬力接觸，也較容易造成管口變形，雖然彎曲的銅管和變形的管口都可以通過人工進行修復，但是其精度已經(jīng)很差，在安裝過程中即使存在較小的管口角度偏差也會有可能徹底損傷管口，導致銅管不可再使用，更嚴重時，由銅管變形造成的連接異常甚至會導致微波反射功率過高等問題，使得鍍膜工序無法順利完成，而更換新的銅管則會較大程度的提高生產(chǎn)成本。綜上所述，如何提供一種PECVD微波銅管，在不提高生產(chǎn)成本的前提下，減小銅管的變形幾率，使鍍膜工序能夠順利的完成，是目前本領域技術人員亟待解決的問題。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型提供了一種PECVD微波銅管，其在不提高生產(chǎn)成本的前提下，減小了銅管的變形幾率，使鍍膜工序能夠順利的完成。為了達到上述目的，本實用新型提供如下技術方案:一種PECVD微波銅管，包括兩個外側(cè)段和與兩個所述外側(cè)段同軸連接且位于兩個所述外側(cè)段之間的中間段，其中，兩個所述外側(cè)段為圓管段，所述中間段的外壁圍成的形狀為多邊形，且所述中間段任意部分的壁厚不小于所述外側(cè)段的壁厚；兩個所述外側(cè)段上的端口均設置有沿所述銅管軸線方向延伸的多個豁口。優(yōu)選的，上述PECVD微波銅管中，所述中間段為方形管。上述PECVD微波銅管中，兩個所述外側(cè)段與所述中間段的內(nèi)腔均為圓柱形內(nèi)腔，且內(nèi)徑相等。 上述PECVD微波銅管中，所述豁口的數(shù)量為偶數(shù)個，且偶數(shù)個所述豁口關于所述銅管的軸線所在的平面對稱。上述PECVD微波銅管中，所述豁口的數(shù)量為奇數(shù)個，且奇數(shù)個所述豁口關于所述銅管的軸線中心對稱。本實用新型提供的PECVD微波銅管中，包括兩個外側(cè)段和位于兩個外側(cè)段之間的中間段，且兩個外側(cè)段和中間段同軸設置，其中外側(cè)段為圓管段，中間段外壁圍成的形狀為多邊形，且中間段任意部分的壁厚均不小于外側(cè)段的壁厚，與原有各個部分外徑均相同的圓形銅管相比，中間段為多邊形管，且其壁厚更大，結構改變和壁厚的增加使得其具有的抗變形能力更強，銅管發(fā)生折彎的幾率減小。此外，由于在兩個外側(cè)段的端口上設置了沿銅管軸線方向延伸的多個豁口，使得管口具有更大的彈性變形量，降低了管口發(fā)生塑性變形的幾率。因此，本實用新型提供的PECVD微波銅管的抗變形能力在整體上得到了提高，進而減少了銅管的報廢量，在不提高生產(chǎn)成本的前提下，降低了銅管的變形幾率，使鍍膜工序能夠更加順利的完成。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實用新型實施例提供的PECVD微波銅管的結構示意圖；圖2為圖1的左視圖；圖3為圖1的剖視圖。以上圖1-圖3中:外側(cè)段1、中間段2、豁口 3。
具體實施方式
本實用新型提供了一種PECVD微波銅管，其在不提高生產(chǎn)成本的前提下，減小了銅管的變形幾率，使鍍膜工序能夠順利的完成。下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。如圖1-圖3所示，本實用新型實施例提供的PECVD微波銅管，包括兩個外側(cè)段I和與兩個外側(cè)段I同軸連接且位于兩個外側(cè)段I之間的中間段2，其中，兩個外側(cè)段I為圓管段，中間段2的外壁圍成的形狀為多邊形，且中間段2任意部分的壁厚不小于外側(cè)段I的壁厚；兩個外側(cè)段I上的端口均設置有沿銅管軸線方向延伸的多個豁口 3。本實施例提供的PECVD微波銅管中，包括兩個外側(cè)段I和位于兩個外側(cè)段I之間的中間段2，且兩個外側(cè)段I和中間段2同軸設置，其中外側(cè)段I為圓管段，中間段2外壁圍成的形狀為多邊形，且中間段2任意部分的壁厚均不小于外側(cè)段I的壁厚，與原有各個部分外徑均相同的圓形銅管相比，中間段2為多邊形管，且其壁厚更大，結構改變和壁厚的增加使得其具有的抗變形能力更強，銅管發(fā)生折彎的幾率減小。此外，由于在兩個外側(cè)段I的端口上設置了沿銅管軸線方向延伸的多個豁口 3，使得管口具有更大的彈性變形量，降低了管口發(fā)生塑性變形的幾率。因此，本實施例提供的PECVD微波銅管的抗變形能力在整體上得到了提高，進而減少了銅管的報廢量，在不提高生產(chǎn)成本的前提下，降低了銅管的變形幾率，使鍍膜工序能夠更加順利的完成。本實施例中僅僅改變中間段2的結構和壁厚，外側(cè)段I的結構和壁厚仍與原有的銅管相同，是為了能夠更好的與其他部件配合，無需對其他部件進行改動，能夠使本實施例提供的PECVD微波銅管的通用性更高。為了進一步優(yōu)化上述技術方案，本實施例提供的PECVD微波銅管中，中間段2為方形管，如圖1和圖2所示。在本實施例中，將中間段2設置為多邊形管，其目的是通過改變原有的結構和壁厚，使得銅管的抗變形能力更強，在本實施例中優(yōu)選中間段2為方形管，是因為方形管既能夠滿足改進要求，且其相對于其他的多邊形管而言結構更加簡單、合理，力口工難度相對較低，有利于技術方案在實際生產(chǎn)中的實現(xiàn)和應用。當然，在不影響本實施例提供的PECVD微波銅管提高抗變形能力的前提下，中間段2也可以為其他結構的管材。具體的，兩個外側(cè)段I與中間段2的內(nèi)腔均為圓柱形內(nèi)腔，且內(nèi)徑相等，如圖3所示。將外側(cè)段I與中間段2的內(nèi)腔設置為相同結構和尺寸，這樣可以降低改動程度，減小甚至避免因銅管結構的改變而對鍍膜工序造成的不良影響，使技術方案進一步得到完善。優(yōu)選的，豁口 3的數(shù)量為偶數(shù)個，且偶數(shù)個豁口 3關于銅管的軸線所在的平面對稱。此豁口 3設置的目的是使管口能夠承受更大的變形力，減小管口因結構的限制而發(fā)生塑性變形的幾率，增大其彈性變形量，而對稱設置的偶數(shù)個豁口 3能夠使得變形力在管口上分布的更加均衡，避免變形力過于集中而對管口的某一部位造成損害，使得銅管因較小的管口角度偏差而報廢，延長了銅管的使用壽命，為銅管正常工作提供了進一步的保障。與上述設置形式向?qū)?，設置在端口上的豁口 3的數(shù)量也可以為奇數(shù)個，且奇數(shù)個豁口 3關于銅管的軸線中心對稱以均衡變形力。本說明書中各個實施例之間采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同或相似的部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域?qū)I(yè)技術人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
權利要求1.一種PECVD微波銅管，包括兩個外側(cè)段(I)和與兩個所述外側(cè)段(I)同軸連接且位于兩個所述外側(cè)段(I)之間的中間段(2)，其特征在于，兩個所述外側(cè)段(I)為圓管段，所述中間段(2)的外壁圍成的形狀為多邊形，且所述中間段(2)任意部分的壁厚均不小于所述外側(cè)段(I)的壁厚；兩個所述外側(cè)段(I)上的端口均設置有沿所述銅管軸線方向延伸的多個豁口(3)。
2.根據(jù)權利要求1所述的PECVD微波銅管，其特征在于，所述中間段(2)為方形管。
3.根據(jù)權利要求1所述的PECVD微波銅管，其特征在于，兩個所述外側(cè)段(I)與所述中間段(2)的內(nèi)腔均為圓柱形內(nèi)腔，且內(nèi)徑相等。
4.根據(jù)權利要求1所述的PECVD微波銅管，其特征在于，所述豁口(3)的數(shù)量為偶數(shù)個，且偶數(shù)個所述豁口(3)關于所述銅管的軸線所在的平面對稱。
5.根據(jù)權利要求1所述的PECVD微波銅管，其特征在于，所述豁口(3)的數(shù)量為奇數(shù)個，且奇數(shù)個所述豁口(3)關于所述銅管的軸線中心對稱。
專利摘要本實用新型提供了一種PECVD微波銅管，包括兩個外側(cè)段和與兩個外側(cè)段同軸連接且位于兩個外側(cè)段之間的中間段，其中，兩個外側(cè)段為圓管段，中間段的外壁圍成的形狀為多邊形，且中間段任意部分的壁厚不小于外側(cè)段的壁厚；兩個外側(cè)段上的端口均設置有沿銅管軸線方向延伸的多個豁口。本實施例提供的PECVD微波銅管的抗變形能力在整體上得到了提高，進而減少了銅管的報廢量，在不提高生產(chǎn)成本的前提下，降低了銅管的變形幾率，使鍍膜工序能夠更加順利的完成。
文檔編號C23C16/44GK203034091SQ201320017919
公開日2013年7月3日 申請日期2013年1月14日 優(yōu)先權日2013年1月14日
發(fā)明者李智洋 申請人:英利集團有限公司