一種線性蒸發(fā)源的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種線性蒸發(fā)源，包括線性蒸發(fā)源的主體及設置于線性蒸發(fā)源的主體上方的蓋板，所述主體一體成型，在所述主體內部兩端對稱開設有凹槽，所述凹槽內設有蒸發(fā)元件，所述兩個凹槽之間位于主體下方設有加熱元件；所述蓋板上開設有一排通孔構成噴嘴，所述蓋板與所述主體間螺紋連接。本實用新型的線性蒸發(fā)源不易變形，工作效率高，且可實現(xiàn)高均勻性厚膜。
【專利說明】一種線性蒸發(fā)源
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種真空熱蒸發(fā)鍍膜技術，具體涉及真空熱蒸發(fā)鍍膜技術中的一種線性蒸發(fā)源。
【背景技術】
[0002]真空熱蒸發(fā)鍍膜在有機EL (Electro Luminescence)顯示器等平板顯示器(FPD:Flat Panel Display)的制造過程中以及相應薄膜器件的產(chǎn)業(yè)化中被廣泛的使用，其基本原理是利用加熱的手段使源受熱蒸發(fā)，由固相/液相變成氣相，然后氣體分子或原子在蒸發(fā)源與基板(襯底)之間輸運，最后蒸發(fā)的分子或原子在基板(襯底)上沉積。
[0003]在有機發(fā)光顯示裝置中，發(fā)射可見光的有機發(fā)光層和接近有機發(fā)光層的有機層通過利用各種方法形成，尤其是真空熱蒸發(fā)鍍膜方法由于其簡單的工藝而經(jīng)常被使用。在真空熱蒸發(fā)鍍膜方法中，將粉狀或固態(tài)的沉積材料填充到熔爐中，并通過對熔爐進行加熱而在期望的區(qū)域上形成沉積膜。在真空熱蒸發(fā)鍍膜方法中，蒸發(fā)源是一種必不可少的設備，然而現(xiàn)有的蒸發(fā)源在使用中經(jīng)常會出現(xiàn)以下問題:蒸發(fā)源長時間加熱使用后容易變形，效率較低，并且鍍膜的厚度不均勻。
[0004]中國專利ZL201220704968.9、ZL201020140696.5揭示了不同的線性蒸發(fā)源的結
構，但是由于線源結構的特殊性導致其應用的范圍不廣。
實用新型內容
[0005]本實用新型目的是提供一種不易變形，工作效率高，且可實現(xiàn)高均勻性厚膜的線性蒸發(fā)源。
[0006]本實用新型的技術方案是:一種線性蒸發(fā)源，用于大面積制造平板顯示器和照明面板，包括線性蒸發(fā)源的主體及設置于線性蒸發(fā)源的主體上方的蓋板，所述主體一體成型，在所述主體內部兩端對稱開設有凹槽，所述凹槽內設有蒸發(fā)元件構成蒸發(fā)單元，所述兩個凹槽之間位于主體下方設有加熱元件；所述蓋板上開設有一排通孔構成噴嘴，所述蓋板與所述主體間螺紋連接。
[0007]優(yōu)選的，所述凹槽寬度為所述主體寬度的1/8-1/5。
[0008]優(yōu)選的，所述凹槽為石英槽，其內設有蒸發(fā)元件構成蒸發(fā)單元。
[0009]優(yōu)選的，所述加熱元件為電熱絲加熱器，所述電熱絲加熱器與上方的主體抵觸。
[0010]優(yōu)選的，所述主體兩端開設有螺孔，與所述螺孔對應在所述蓋板上也開設有螺孔，與所述螺孔配合還設有螺栓，所述主體與蓋板間經(jīng)螺栓及螺孔連接構成所述的螺紋連接。
[0011]優(yōu)選的，所述通孔孔徑為0.5-5_，所述通孔長度占蓋板長度的2/5_4/5，在所述通孔上方還設有擋板。
[0012]優(yōu)選的，所述通孔下端與所述主體上端間的距離l-3cm。
[0013]優(yōu)選的，所述主體及蓋板外部設有保溫板。
[0014]優(yōu)選的，所述主體下方還設有水冷機構。[0015]本實用新型的有益效果是:通過將線性蒸發(fā)源的主體一體化成型，使主體不易變形，加熱元件與其上方的主體接觸，同時縮短主體與蓋板上的通孔之間的距離，加熱源置于兩個材料腔室的中間位置，使蒸鍍過程中保持噴嘴處于高溫狀態(tài)，防止被堵住，工作效率較高；蓋板下部有臺階試的凹進，蓋板四周用螺絲與主體緊密連接，防止材料從縫隙溢出，提高材料利用率，同時在蓋板的通孔處可以設置擋板，實現(xiàn)高均勻性厚膜。同時在線源底部和兩側線源壁上裝有水冷裝置，保證蒸鍍完成后迅速降溫，以提高產(chǎn)品生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述:
[0017]圖1為本實用新型實施例一的結構示意圖；
[0018]圖2為本實用新型實施例一中主體的結構示意圖；
[0019]圖3為圖2的俯視圖；
[0020]圖4為本實用新型實施例一中蓋板的結構示意圖；
[0021]圖5為圖4的俯視圖；
[0022]圖6為本實用新型實施例一的示意圖。
[0023]其中:1、加熱元件；2、凹槽；3、主體；4、螺孔；5、通孔；7、上端；8、保溫板。
【具體實施方式】
[0024]實施例一:參見圖1至3所示，一種線性蒸發(fā)源，包括線性蒸發(fā)源的主體3及設置于線性蒸發(fā)源的主體上方的蓋板，所述主體一體成型，在所述主體內部兩端對稱開設有凹槽2，所述凹槽2內設有蒸發(fā)元件構成蒸發(fā)單元，所述兩個凹槽2之間位于主體3下方設有加熱元件I ;所述蓋板上開設有一排通孔5構成噴嘴，所述蓋板與所述主體間螺紋連接。
[0025]具體參見圖2所示，凹槽2寬度為所述主體3寬度的1/8-1/5，所述加熱元件I為電熱絲加熱器，所述電熱絲加熱器與上方的主體抵觸；所述主體兩端開設有螺孔4，與所述螺孔對應在所述蓋板上也開設有螺孔，與所述螺孔配合還設有螺栓，所述主體與蓋板間經(jīng)螺栓及螺孔連接構成所述的螺紋連接。
[0026]具體參見圖3所示，通孔5孔徑為0.5_5mm，所述通孔長度占蓋板長度的2/5_4/5，在所述通孔5上方還設有擋板；所述通孔5下端與所述主體3的上端7間的距離l-3cm。
[0027]在所述主體3及蓋板外部設有保溫板8，所述主體下方還設有水冷機構。
[0028]采用本實用新型中設計的線性蒸發(fā)源，進行膜厚均勻性測試。在300mmX 300mm的玻璃基板上縱向等間距位置上貼敷六個硅片進行膜厚測試。線性蒸發(fā)源大小按照玻璃尺寸設計，線源長400mm,蓋板上端噴嘴長度為360mm,噴嘴中間位置放置長為120mm的擋板,遮住中間部位的噴嘴。線性蒸發(fā)源的蒸發(fā)單元內填充有機蒸發(fā)材料NPB，利用PID控溫裝置使加熱絲加熱到260度，進行蒸鍍。測試結果如圖4所示，測試均勻性為4%，已經(jīng)很好地滿足在大面積成膜制備的要求。
[0029]上述實施例只為說明本實用新型的技術構思及特點，其目的在于讓熟悉此項技術的人能夠了解本實用新型的內容并據(jù)以實施，并不能以此限制本實用新型的保護范圍。凡根據(jù)本實用新型主要技術方案的精神實質所做的等效變換或修飾，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種線性蒸發(fā)源，用于大面積制造平板顯示器和照明面板，其特征在于:包括線性蒸發(fā)源的主體(3)及設置于線性蒸發(fā)源的主體上方的蓋板，所述主體(3) —體成型；在所述主體(3)內部兩端對稱開設有凹槽(2)、所述凹槽內設有蒸發(fā)元件構成蒸發(fā)單元；所述兩個凹槽(2)之間位于主體(3)下方設有加熱元件(I);所述蓋板上開設有一排通孔(5)構成噴嘴，所述蓋板與所述主體間螺紋連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述凹槽(2)寬度為所述主體⑶寬度的1/8-1/5。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述凹槽為石英槽，其內設有蒸發(fā)元件構成蒸發(fā)單元。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述加熱元件(I)為電熱絲加熱器，所述電熱絲加熱器與上方的主體抵觸。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述主體(3)兩端開設有螺孔(4)，與所述螺孔對應在所述蓋板上也開設有螺孔，與所述螺孔配合還設有螺栓，所述主體與蓋板間經(jīng)螺栓及螺孔連接構成所述的螺紋連接。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述通孔(5)孔徑為0.5-5_，所述通孔長度占蓋板長度的2/5-4/5，在所述通孔上方還設有擋板。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述通孔下端與所述主體上端(7)間的距離l-3cm。
8.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述主體(3)及蓋板外部設有保溫板⑶。
9.根據(jù)權利要求1所述的一種線性蒸發(fā)源，其特征在于:所述主體下方還設有水冷機構。
【文檔編號】C23C14/12GK203411600SQ201320357682
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年6月21日 優(yōu)先權日:2013年6月21日
【發(fā)明者】廖良生, 丁磊, 周旻, 陳敏, 周東營, 李楊帆 申請人:蘇州方昇光電裝備技術有限公司