磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，包括內(nèi)圈、外圈、外圈帶動(dòng)齒，它們組成一個(gè)圓形的磨片機(jī)游星片；內(nèi)圈、外圈結(jié)合處設(shè)有波紋狀接合；外圈為鋼材質(zhì)，內(nèi)圈為樹脂材質(zhì)。本實(shí)用新型磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造內(nèi)的部樹脂材質(zhì)，可以起到減緩加工時(shí)的沖擊力的作用，保護(hù)了工件，降低了硅片邊緣崩邊、缺口的幾率；外圈鋼圈部分起到加強(qiáng)機(jī)械強(qiáng)度，支撐內(nèi)部較軟材質(zhì)平面形狀的作用；波紋狀咬合可以避免其它形狀造成的內(nèi)外圈配合困難、存放復(fù)雜、加工時(shí)掛帶磨盤槽造成整盤工件報(bào)廢的情況，提高了合格率，而且具有結(jié)構(gòu)簡單，加工成本低等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于用于單晶硅片生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種磨片機(jī)研磨盤主要工件載具一游星片的改良構(gòu)造。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，由于電子行業(yè)的飛速發(fā)展、產(chǎn)品需求的多元化，用于電子產(chǎn)品的最初原材料晶圓片也有新的提高，而娃片本身的技術(shù)參數(shù)，如表面粗糙度Ra/Rz、TTV、warp等,對(duì)娃片的要求也是越來越高。此外，用于硅片加工生產(chǎn)的原輔料的成本隨著市場的發(fā)展呈遞增趨勢增長，而產(chǎn)品合格率提高則是從另一方面降低生產(chǎn)成本，故有必要對(duì)現(xiàn)有的磨片機(jī)游星片進(jìn)行改造。
[0003]游星片屬于硅片研磨過程中不可缺少的一部分，但由于鋼質(zhì)游星片硬度較高，對(duì)于較薄的、不倒角或偏倒角的硅片損傷較大，易造成崩邊、缺口、磨損等不良；而樹脂材質(zhì)的游星片又較軟，機(jī)械強(qiáng)度不夠，加工薄片時(shí)無法使用。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型要解決的問題是克服現(xiàn)有的磨片機(jī)游星造成硅片質(zhì)量不高，提供一種磨片機(jī)主要載具-游星片的改良構(gòu)造，尤其適合用于提高硅片生產(chǎn)中的合格率。
[0005]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，包括內(nèi)圈、外圈、外圈帶動(dòng)齒，它們組成一個(gè)圓形的磨片機(jī)游星片。
[0006]進(jìn)一步，內(nèi)圈、外圈結(jié)合處設(shè)有波紋狀接合。
[0007]更進(jìn)一步，波紋狀接合布滿內(nèi)圈與外圈的接合處。
[0008]進(jìn)一步，外圈為鋼材質(zhì)，內(nèi)圈為樹脂材質(zhì)。
[0009]所述的游星片為研磨時(shí)帶動(dòng)工件在上下磨盤內(nèi)呈星形運(yùn)動(dòng)之用，經(jīng)過此次結(jié)構(gòu)改良，由原來的全部鋼材質(zhì)或全部樹脂材質(zhì)變更為外圈為鋼材質(zhì)，內(nèi)圈為樹脂材質(zhì)，內(nèi)外圈結(jié)合處以波紋狀密切咬合。
[0010]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:內(nèi)部樹脂材質(zhì)，可以起到減緩加工時(shí)的沖擊力的作用，保護(hù)了工件，降低了硅片邊緣崩邊、缺口的幾率；外圈鋼圈部分起到加強(qiáng)機(jī)械強(qiáng)度，支撐內(nèi)部較軟材質(zhì)平面形狀的作用；波紋狀咬合可以避免其它形狀造成的內(nèi)外圈配合困難、存放復(fù)雜、加工時(shí)掛帶磨盤槽造成整盤工件報(bào)廢的情況，提高了合格率，而且具有結(jié)構(gòu)簡單，加工成本低等優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是改良前磨片機(jī)游星片的俯視圖；
[0012]圖2是改良后磨片機(jī)游星片的俯視圖。
[0013]圖中:
[0014]1、鋼質(zhì)游星片2、外圈帶動(dòng)齒3、載具內(nèi)孔[0015]4、樹脂內(nèi)圈 5、內(nèi)外圈波浪形接合6、鋼質(zhì)外圈【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1所示，改良前鋼質(zhì)游星片I，帶動(dòng)放置于載具內(nèi)孔3內(nèi)的硅片，在研磨上下盤內(nèi)作星形運(yùn)動(dòng)，隨著磨料磨盤的影響達(dá)到一定的平整度。
[0017]如圖2所示，一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，包含樹脂內(nèi)圈4與鋼質(zhì)外圈6兩部分，游星片樹脂內(nèi)圈4與鋼質(zhì)外圈6以波浪形接合5緊密咬合，樹脂內(nèi)圈4與鋼質(zhì)外圈6兩部分結(jié)合組成與圖一中相同的外形用于硅片研磨加工。
[0018]本實(shí)例的工作過程:研磨時(shí)，工件在載具內(nèi)孔3內(nèi)作星形運(yùn)動(dòng)時(shí)，硅片本身受上下磨盤研磨影響，鋼質(zhì)外圈6受外圈帶動(dòng)齒2轉(zhuǎn)動(dòng)影響時(shí)，都會(huì)有一定的振動(dòng)、頓挫，而樹脂內(nèi)圈4可以減緩振動(dòng)對(duì)硅片邊緣的影響，防止硅片邊緣與鋼質(zhì)游星片I相互碰撞而造成崩邊、缺口等不良。
[0019]因上下磨盤本身具有磨料槽，而波浪形接合的設(shè)計(jì)有較防止了其它形狀接口與盤槽外口勾掛而造成游星片報(bào)廢甚至整盤硅片報(bào)廢。
[0020]以上對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍。凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本實(shí)用新型的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:包括內(nèi)圈、外圈、外圈帶動(dòng)齒，它們組成一個(gè)圓形的磨片機(jī)游星片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:所述內(nèi)圈、外圈結(jié)合處設(shè)有波紋狀接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:所述波紋狀接合布滿內(nèi)圈與外圈的接合處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的一種磨片機(jī)游星片的改良構(gòu)造，其特征在于:所述外圈為鋼外圈，內(nèi)圈為樹脂內(nèi)圈。
【文檔編號(hào)】B24B37/28GK203460048SQ201320582446
【公開日】2014年3月5日 申請(qǐng)日期:2013年9月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月18日
【發(fā)明者】蘇榮義, 李海龍, 陳宗永, 孫振生, 周明月, 許建虹 申請(qǐng)人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司