一種臥式多弧鍍膜室的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種臥式多弧鍍膜室，具有鍍膜室罐體，鍍膜室罐體具有外壁、中間冷卻套層和內(nèi)壁，鍍膜室罐體的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔，鍍膜室罐體底部具有安裝支架，弧源安裝孔包括與所述鍍膜室罐體外壁相連的安裝外壁、與所述鍍膜室罐體內(nèi)壁相連的安裝內(nèi)壁及與所述鍍膜室罐體中間冷卻套層相連通的安裝套層，所述安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)。上述結(jié)構(gòu)的臥式多弧鍍膜室，由于弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)，因此在鍍膜過(guò)程中鍍膜室罐體內(nèi)的粉塵濺落下來(lái)后受到伸長(zhǎng)的安裝內(nèi)壁的阻擋不會(huì)濺落到弧源頭中，不會(huì)造成弧源頭內(nèi)金屬塊和屏蔽罩之間的短路，從而不會(huì)影響鍍膜室的正常鍍膜作業(yè)。
【專利說(shuō)明】—種臥式多弧鍍膜室
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種臥式多弧鍍膜室。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的臥式多弧鍍膜室，具有鍍膜室罐體，鍍膜室罐體具有外壁、中間冷卻套層和內(nèi)壁，鍍膜室罐體的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔，鍍膜室罐體底部具有安裝支架，弧源安裝孔包括與所述鍍膜室罐體外壁相連的安裝外壁、與所述鍍膜室罐體內(nèi)壁相連的安裝內(nèi)壁及與所述鍍膜室罐體中間冷卻套層相連通的安裝套層，上述現(xiàn)有技術(shù)中的臥式多弧鍍膜室，弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁是焊接在鍍膜室罐體內(nèi)壁上的，在鍍膜過(guò)程中鍍膜室罐體內(nèi)存在粉塵，粉塵濺落下來(lái)容易落入到弧源頭內(nèi)的金屬塊和屏蔽罩之間造成鍍膜過(guò)程中的短路，影響鍍膜室的正常工作。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種鍍膜時(shí)鍍膜室罐體內(nèi)的粉塵濺落下來(lái)后不會(huì)落入到弧源頭中，進(jìn)而不會(huì)因?yàn)榉蹓m污染造成鍍膜過(guò)程中短路而影響鍍膜室正常工作的臥式多弧鍍膜室。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型一種臥式多弧鍍膜室，具有鍍膜室罐體，鍍膜室罐體具有外壁、中間冷卻套層和內(nèi)壁，鍍膜室罐體的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔，鍍膜室罐體底部具有安裝支架，弧源安裝孔包括與所述鍍膜室罐體外壁相連的安裝外壁、與所述鍍膜室罐體內(nèi)壁相連的安裝內(nèi)壁及與所述鍍膜室罐體中間冷卻套層相連通的安裝套層，所述安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)。
[0005]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，僅是位于所述鍍膜室罐體下部壁上的弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)。
[0006]采用上述結(jié)構(gòu)的臥式多弧鍍膜室，由于弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)，因此在鍍膜過(guò)程中鍍膜室罐體內(nèi)的粉塵濺落下來(lái)后受到伸長(zhǎng)的安裝內(nèi)壁的阻擋不會(huì)濺落到弧源頭中，不會(huì)造成弧源頭內(nèi)金屬塊和屏蔽罩之間的短路，從而不會(huì)影響鍍膜室的正常鍍膜作業(yè)。由于粉塵的濺落方向主要是由上至下，位于鍍膜室罐體上部壁上的弧源安裝孔內(nèi)不易落入灰塵，因此僅是位于所述鍍膜室罐體下部壁上的弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁伸出所述鍍膜室罐體內(nèi)壁且伸入到鍍膜室罐體內(nèi)，這樣的結(jié)構(gòu)可以進(jìn)一步節(jié)省加工弧源安裝孔的材料，起到降低生產(chǎn)成本的目的。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)說(shuō)明。
[0008]圖1是本實(shí)用新型一種臥式多弧鍍膜室的主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2是本實(shí)用新型一種臥式多弧鍍膜室的側(cè)視局剖結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖3是圖2中I處(弧源安裝孔)的放大結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]圖4是現(xiàn)有技術(shù)中臥式多弧鍍膜室的弧源安裝孔的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]參見(jiàn)圖1 一圖3，本實(shí)用新型一種臥式多弧鍍膜室，具有鍍膜室罐體1，鍍膜室罐體
I具有外壁2、中間冷卻套層3和內(nèi)壁4，鍍膜室罐體I的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔
5、6，鍍膜室罐體I底部具有安裝支架10，弧源安裝孔5、6包括與所述鍍膜室罐體I外壁2相連的安裝外壁7、與所述鍍膜室罐體I內(nèi)壁4相連的安裝內(nèi)壁9及與所述鍍膜室罐體I中間冷卻套層3相連通的安裝套層8，所述安裝內(nèi)壁9伸出所述鍍膜室罐體I內(nèi)壁4且伸入到鍍膜室罐體I內(nèi)。本實(shí)用新型也可以采用僅是位于所述鍍膜室罐體I下部壁上的弧源安裝孔6的安裝內(nèi)壁9伸出所述鍍膜室罐體I內(nèi)壁4且伸入到鍍膜室罐體I內(nèi)。
[0013]圖4示出了現(xiàn)有技術(shù)中臥式多弧鍍膜室的弧源安裝孔的結(jié)構(gòu)示意圖，現(xiàn)有技術(shù)中臥式多弧鍍膜室的弧源安裝孔結(jié)構(gòu)包括與鍍膜室罐體外壁2,相連的安裝外壁7,、與鍍膜室罐體內(nèi)壁4'相連的安裝內(nèi)壁9'及與所述鍍膜室罐體中間冷卻套層3'相連通的安裝套層8'，弧源安裝孔的安裝內(nèi)壁9'是焊接在鍍膜室罐體內(nèi)壁4'上的，在鍍膜過(guò)程中鍍膜室罐體內(nèi)存在粉塵，粉塵濺落下來(lái)容易落入到弧源頭內(nèi)的金屬塊和屏蔽罩之間造成鍍膜過(guò)程中的短路。
【權(quán)利要求】
1.一種臥式多弧鍍膜室，具有鍍膜室罐體(1)，鍍膜室罐體(I)具有外壁(2)、中間冷卻套層(3)和內(nèi)壁(4)，鍍膜室罐體(I)的上、下部壁上均布裝有弧源安裝孔(5、6)，鍍膜室罐體(I)底部具有安裝支架(10 )，弧源安裝孔(5、6 )包括與所述鍍膜室罐體(I)外壁(2 )相連的安裝外壁(7)、與所述鍍膜室罐體(I)內(nèi)壁(4)相連的安裝內(nèi)壁(9)及與所述鍍膜室罐體(I)中間冷卻套層(3)相連通的安裝套層(8)，其特征在于:所述安裝內(nèi)壁(9)伸出所述鍍膜室罐體(I)內(nèi)壁(4)且伸入到鍍膜室罐體(I)內(nèi)。
2.按照權(quán)利要求1所述的臥式多弧鍍膜室，其特征在于:僅是位于所述鍍膜室罐體(I)下部壁上的弧源安裝孔(6)的安裝內(nèi)壁(9)伸出所述鍍膜室罐體(I)內(nèi)壁(4)且伸入到鍍膜室罐體(I)內(nèi)。
【文檔編號(hào)】C23C14/32GK203451610SQ201320587323
【公開(kāi)日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月24日
【發(fā)明者】關(guān)秉羽 申請(qǐng)人:遼寧北宇真空科技有限公司