一種石墨綁定靶材產(chǎn)品的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了石墨綁定靶材產(chǎn)品。包括靶材（3）；銅絲網(wǎng)（5）；兩者通過熔化的金屬凝固后連接；石墨紙（2），其被三段高溫導(dǎo)電膠（4）分成均等三份后連接在一起；石墨紙（2）通過熔化的金屬凝固后連接于銅絲網(wǎng)（5）上；不銹鋼管（1）；連接在一起的靶材（3），銅絲網(wǎng)（5）和石墨紙（2）旋入不銹鋼管（1）內(nèi)。該產(chǎn)品是一種綁定襯管緊密貼合度高，導(dǎo)電導(dǎo)熱性能更好并具有一定延展性的新型的石墨綁定靶材產(chǎn)品。
【專利說明】-種石墨綁定靶材產(chǎn)品

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種石墨綁定靶材產(chǎn)品。

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體工業(yè)中，靶材組件是由符合濺射性能的靶材和與所述靶材結(jié)合、具有一 定強(qiáng)度的背板構(gòu)成。傳統(tǒng)的銦綁定技術(shù)，使得靶材的價(jià)格偏高，從而使平面顯示器、存儲器 和光學(xué)鍍膜等靶材應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)成本相應(yīng)提高。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種與綁定襯管緊密貼合度高，導(dǎo)電導(dǎo)熱性能更好并 具有一定延展性的新型的石墨綁定祀材產(chǎn)品。
[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種石墨綁定靶材產(chǎn)品，其特征在于，包括靶材 (3);銅絲網(wǎng)（5);兩者通過熔化的金屬凝固后連接；石墨紙（2)，其被三段高溫導(dǎo)電膠（4)分 成均等三份后連接在一起；石墨紙（2)通過熔化的金屬凝固后連接于銅絲網(wǎng)（5)上；不銹鋼 管（1);連接在一起的靶材（3)，銅絲網(wǎng)（5)和石墨紙（2)旋入不銹鋼管（1)內(nèi)。
[0005] 所述金屬是銦、錫或銀。
[0006]所述靶材是 ΑΖΟ, ΙΤ0、NbOx 或 MoNb。
[0007] 所述高溫導(dǎo)電膠的寬度是1. 5-2cm，厚度是2-3cm。
[0008] 所述銅絲網(wǎng)為兩根0. 06mm直徑的銅絲疊加而成的銅絲網(wǎng)。
[0009] 所述石墨紙為3塊厚度為1. 5mm石墨紙。
[0010] 本實(shí)用新型所用金屬可用熔點(diǎn)低，導(dǎo)電導(dǎo)熱性好的即可，如銦、錫或銀。
[0011] 本實(shí)用新型所用高溫導(dǎo)電膠用來進(jìn)一步固定不銹鋼和ΑΖ0靶材。由于金屬熱脹冷 縮明顯，會由于氣溫變化從而與不銹鋼脫離，而導(dǎo)電膠延展性好，可以彌補(bǔ)金屬熱脹冷縮的 問題。
[0012] 本實(shí)用新型所用銅絲網(wǎng)起支撐作用，靶材在使用中會斷裂，由于銅絲網(wǎng)與靶材固 定，即使靶材斷裂也不會出現(xiàn)脫落的問題。
[0013] 本實(shí)用新型所用的高溫導(dǎo)電膠在石墨紙之間的長度是1. 5-2cm，在該范圍內(nèi)越小 越好，太大則整體導(dǎo)電導(dǎo)熱性不好，太小則起不到固定作用，故本實(shí)用新型經(jīng)過實(shí)用新型人 多次試驗(yàn)，綜合考慮后，最終選定1. 5_2mm。
[0014] 本實(shí)用新型方法套筒旋轉(zhuǎn)靶材，可形成AZO、IT0、Nb0x、M〇Nb套筒靶材系列產(chǎn)品的 綁定，將打破傳統(tǒng)的銦綁定技術(shù)，大幅度降低高端靶材的價(jià)格，有效提高我國濺射靶材在國 際市場上的競爭力。并將使如平面顯示器、存儲器和光學(xué)鍍膜等靶材應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)成 本得到有效降低，從而促進(jìn)靶材應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的結(jié)構(gòu)調(diào)整，對提升產(chǎn)業(yè)的整合競爭力和水平具 有重要作用。
[0015] 本實(shí)用新型方法可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的涂錫方式，增加靶材導(dǎo)電、導(dǎo)熱性。采用本實(shí)用新 型方法所得的產(chǎn)品靶材與綁定襯管緊密貼合90% ;同時(shí)具有一定延展性；導(dǎo)電導(dǎo)熱性好。
[0016] 本實(shí)用新型產(chǎn)品結(jié)構(gòu)見圖1。其中1為不銹鋼，2為石墨紙，3為靶材，4為高溫導(dǎo) 電膠，5為銅絲網(wǎng)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017] 圖1是本實(shí)用新型石墨得到的產(chǎn)品示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始 至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參 考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，旨在用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對本實(shí)用新型 的限制。實(shí)施例中未注明具體技術(shù)或條件者，按照本領(lǐng)域內(nèi)的文獻(xiàn)所描述的技術(shù)或條件或 者按照產(chǎn)品說明書進(jìn)行。所用試劑或儀器未注明生產(chǎn)廠商者，均為可以通過市購獲得的常 規(guī)產(chǎn)品。
[0019] 實(shí)施例1
[0020] 1)不銹鋼管綁定：選用L800*0D133*ID125mm的304不銹鋼管作為襯管，外徑車圓 至0D133mm進(jìn)行綁定；綁定時(shí)祀材與背板之間的結(jié)合部無氣泡，粘合率大于90% ;綁定材料 的厚度為2?3mm。
[0021] 2)套筒靶材綁定：選用ΑΖ0作為套筒靶材，內(nèi)徑車圓至135. 42mm進(jìn)行綁定；綁定 時(shí)革巴材與背板之間的結(jié)合部無氣泡，粘合率大于90% ;綁定材料的厚度為2?3_。
[0022] 3)在步驟2)所得ΑΖ0套筒上包裹加熱包，將ΑΖ0套筒加熱到300度左右；用超聲 波焊接機(jī)把熔化好的金屬銦涂在ΑΖ0套筒內(nèi)壁；
[0023] 4)將3塊厚度為1.5mm石墨紙放在專用平臺上，加熱石墨紙到300度左右；將熔 化好的金屬銦涂在石墨紙上；將銅絲網(wǎng)（厚度為1. 2mm)放到石墨紙上；再將銅絲網(wǎng)的另外 一面放到涂了金屬的ΑΖ0套筒上；加熱包降溫至金屬固化，固定好即可；
[0024] 5)用丙酮擦拭不銹鋼表面進(jìn)行除油后，在不銹鋼外表面圓周三等分線上均勻涂上 一層寬1. 8cm，厚度2-3cm的高溫導(dǎo)電膠；最后把綁定好石墨紙的ΑΖ0祀材套入不銹鋼管 中，其高溫導(dǎo)電膠圖層剛好位于石墨紙的三段間隙中。所得產(chǎn)品結(jié)構(gòu)見圖1。
[0025] 結(jié)合力驗(yàn)證方法：參考標(biāo)準(zhǔn)GB9796-1988結(jié)合性能試驗(yàn)方法。
[0026] 經(jīng)多次試驗(yàn)靶材的結(jié)合力分別達(dá)到20MPa、25MPa、27Mpa均滿足綁定技術(shù)要求的 >15Mpa?！?br> [0027] 耐高溫驗(yàn)證方法：將綁定好的靶材套于高溫加熱棒中，靶材外部用加熱包加熱。持 續(xù)加熱到300°C，觀察靶材是否與不銹鋼脫離。
[0028] 經(jīng)多次試驗(yàn)本產(chǎn)品在加熱到300°C時(shí)，靶材完全沒有脫離現(xiàn)象。
[0029] 粘合度驗(yàn)證方法：使用水浸超聲波探測儀測量靶材的粘合度。經(jīng)多次測量本產(chǎn)品 粘合度均大于90%，符合綁定技術(shù)要求。
[0030] 實(shí)施例2
[0031] 靶材是ΙΤ0,金屬是錫，高溫導(dǎo)電膠的每段寬度是2cm。其他步驟同實(shí)施例1。
[0032] 結(jié)合力驗(yàn)證方法：參考標(biāo)準(zhǔn)GB9796-1988結(jié)合性能試驗(yàn)方法。
[0033] 經(jīng)多次試驗(yàn)靶材的結(jié)合力分別達(dá)到20MPa、25MPa、27Mpa均滿足綁定技術(shù)要求的 >15Mpa?！?br> [0034] 耐高溫驗(yàn)證方法：將綁定好的靶材套于高溫加熱棒中，靶材外部用加熱包加熱。持 續(xù)加熱到300°C，觀察靶材是否與不銹鋼脫離。
[0035] 經(jīng)多次試驗(yàn)本產(chǎn)品在加熱到300°C時(shí)，靶材完全沒有脫離現(xiàn)象。
[0036] 粘合度驗(yàn)證方法：使用水浸超聲波探測儀測量靶材的粘合度。經(jīng)多次測量本產(chǎn)品 粘合度均大于90%，符合綁定技術(shù)要求。
[0037] 實(shí)施例3
[0038] 靶材是NbOx，金屬是銀，高溫導(dǎo)電膠的每段長度是1. 5cm。
[0039] 其他步驟同實(shí)施例1，高溫導(dǎo)電膠的每段長度是1. 5cm。
[0040] 結(jié)合力驗(yàn)證方法：參考標(biāo)準(zhǔn)GB9796-1988結(jié)合性能試驗(yàn)方法。
[0041] 經(jīng)多次試驗(yàn)靶材的結(jié)合力分別達(dá)到20MPa、25MPa、27Mpa均滿足綁定技術(shù)要求的 >15Mpa?！?br> [0042] 耐高溫驗(yàn)證方法：將綁定好的靶材套于高溫加熱棒中，靶材外部用加熱包加熱。持 續(xù)加熱到300°C，觀察靶材是否與不銹鋼脫離。
[0043] 經(jīng)多次試驗(yàn)本產(chǎn)品在加熱到300°C時(shí)，靶材完全沒有脫離現(xiàn)象。
[0044] 粘合度驗(yàn)證方法：使用水浸超聲波探測儀測量靶材的粘合度。經(jīng)多次測量本產(chǎn)品 粘合度均大于90%，符合綁定技術(shù)要求。
[0045] 盡管上面已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是 示例性的，不能理解為對本實(shí)用新型的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型 的原理和宗旨的情況下在本實(shí)用新型的范圍內(nèi)可以對上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和 變型。
【權(quán)利要求】
1. 一種石墨綁定靶材產(chǎn)品，其特征在于，包括靶材（3);銅絲網(wǎng)（5);兩者通過熔化的金 屬凝固后連接；石墨紙（2)，其被三段高溫導(dǎo)電膠（4)分成均等三份后連接在一起；石墨紙 (2)通過熔化的金屬凝固后連接于銅絲網(wǎng)（5)上；不銹鋼管（1);連接在一起的靶材（3)，銅 絲網(wǎng)（5)和石墨紙（2)旋入不銹鋼管（1)內(nèi)。
2. 權(quán)利要求1所述石墨綁定靶材產(chǎn)品，其特征在于，所述金屬是銦、錫或銀。
3. 權(quán)利要求1所述石墨綁定靶材產(chǎn)品，其特征在于，所述靶材是AZO, ITO、NbOx或 MoNb。
4. 權(quán)利要求1所述石墨綁定靶材產(chǎn)品，其特征在于，所述高溫導(dǎo)電膠的寬度是 1. 5_2cm，厚度是 2_3cm。
5. 權(quán)利要求1所述石墨綁定靶材產(chǎn)品，其特征在于，所述銅絲網(wǎng)為兩根0. 06mm直徑的 銅絲疊加而成的銅絲網(wǎng)。
6. 權(quán)利要求1所述石墨綁定祀材產(chǎn)品，其特征在于，所述石墨紙為3塊厚度為1. 5mm石 墨紙。
【文檔編號】C23C14/34GK203904448SQ201420322922
【公開日】2014年10月29日 申請日期:2014年6月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月18日
【發(fā)明者】羅文富, 石煜 申請人:廈門映日新材料科技有限公司