轉(zhuǎn)架用通用型pvd涂層托架的制作方法
【專利摘要】一種轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，屬于PVD涂層設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】。轉(zhuǎn)架包括轉(zhuǎn)架本體以及轉(zhuǎn)架中心軸和旁軸，涂層托架包括底圈、中圈、頂圈、襯套、支撐臺(tái)以及撥片組件，中圈轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在底圈的中圈限位凸臺(tái)的外圓周上，中圈在圓周外邊緣延伸形成凸耳和與旁軸配合的限位凸緣；頂圈疊設(shè)在底圈上，頂圈上開(kāi)設(shè)與轉(zhuǎn)架中心軸配合的中心軸孔，頂圈沿圓周方向間隔開(kāi)設(shè)多個(gè)襯套容置孔；襯套與襯套容置孔一一對(duì)應(yīng)構(gòu)成插配連接；支撐臺(tái)的數(shù)量與襯套相同，支撐臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)齒輪，旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)地樞置在對(duì)應(yīng)的襯套中，旋轉(zhuǎn)齒輪固定在旋轉(zhuǎn)軸的頂端；撥片組件固定在凸耳上且與旋轉(zhuǎn)齒輪配合。一次能同時(shí)對(duì)多個(gè)工件進(jìn)行PVD涂層處理，且涂層均勻、效果好。
【專利說(shuō)明】轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于PVD涂層設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，適用于小型零件、小型刀具PVD涂層處理。

【背景技術(shù)】
[0002]PVD (英文全稱:Physical Vapor Deposit1n,中文名稱:物理氣相沉積)是指在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并將被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場(chǎng)的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上的工藝。PVD是一種表面處理的標(biāo)準(zhǔn)化稱謂，其處理溫度低，在600°C以下時(shí)對(duì)工件材料的抗彎強(qiáng)度無(wú)影響，經(jīng)過(guò)PVD涂層加工后的工件，具有超硬、耐磨、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，使用壽命可提高3?5倍左右。PVD涂層廣泛應(yīng)用于小型刀具、裝飾件、高要求機(jī)械零部件以及高精密集成電路的模具等，是一種真正能夠獲得微米級(jí)鍍層且無(wú)污染的、環(huán)保型表面處理方法。
[0003]從PVD系統(tǒng)中的源流出的涂料流是相對(duì)穩(wěn)定的，但它們具有一定的空間分布，所述的空間分布在工件保持靜止的情況下會(huì)導(dǎo)致沉積的膜具有不均勻的厚度。為了提高均勻度，所述源與工件之間的幾何關(guān)系必須進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇。目前常用的方法是將所述工件通過(guò)涂層托架安裝在行星結(jié)構(gòu)中的多個(gè)中心軸上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由于工件品種繁多，尺寸、形狀也各有不同，所述每個(gè)涂層托架為了追求通用性往往無(wú)法一次裝載多個(gè)工件，因此不能滿足一次性完成大批量加工的要求；另外涂層效果也欠佳。
[0004]鑒于上述已有技術(shù)，本 申請(qǐng)人:作了有益的設(shè)計(jì)，下面將要介紹的技術(shù)方案便是在這種背景下產(chǎn)生的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、一次能同時(shí)對(duì)多個(gè)工件進(jìn)行PVD表面涂層處理，且涂層均勻、效果好的轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架。
[0006]本實(shí)用新型的目的是這樣來(lái)達(dá)到的，一種轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，所述的轉(zhuǎn)架包括轉(zhuǎn)架本體以及設(shè)在轉(zhuǎn)架本體上的轉(zhuǎn)架中心軸和旁軸，其特點(diǎn)是:所述的通用型PVD涂層托架包括底圈、中圈、頂圈、襯套、支撐臺(tái)以及撥片組件，所述的底圈呈環(huán)狀，在上端面圍繞圓周方向構(gòu)成一凸起于表面的中圈限位凸臺(tái)，所述的中圈轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在中圈限位凸臺(tái)的外圓周上，中圈在圓周外邊緣延伸形成一凸耳和一限位凸緣，所述的限位凸緣與旁軸配合，對(duì)中圈進(jìn)行限位固定；所述的頂圈疊設(shè)在底圈上，頂圈的軸向中間開(kāi)設(shè)一用于供轉(zhuǎn)架中心軸插配而藉以將該托架安裝到轉(zhuǎn)架本體上的中心軸孔，頂圈沿圓周方向間隔開(kāi)設(shè)多個(gè)襯套容置孔；所述的襯套有多個(gè)，與襯套容置孔一一對(duì)應(yīng)構(gòu)成插配連接；所述的支撐臺(tái)的數(shù)量與襯套相同，每一支撐臺(tái)包括旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)齒輪，所述的旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)地樞置在對(duì)應(yīng)的襯套中，所述的旋轉(zhuǎn)齒輪固定在旋轉(zhuǎn)軸的頂端；所述的撥片組件固定安裝在所述的中圈的凸耳上且與所述的旋轉(zhuǎn)齒輪相配合，旋轉(zhuǎn)齒輪由撥片組件撥動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸在襯套中旋轉(zhuǎn)。
[0007]在本實(shí)用新型的一個(gè)具體的實(shí)施例中，所述的襯套容置孔、襯套以及支撐臺(tái)的數(shù)量均為二十個(gè)。
[0008]在本實(shí)用新型的另一個(gè)具體的實(shí)施例中，所述的撥片組件包括撥片座和撥片，所述的撥片座的底端固定安裝在所述的凸耳上，撥片座在頂端朝向旋轉(zhuǎn)齒輪開(kāi)設(shè)撥片容置槽；所述的撥片為L(zhǎng)型，其長(zhǎng)度方向的一端嵌裝在撥片容置槽中，撥片長(zhǎng)度方向的另一端端部構(gòu)成為折邊，該折邊與旋轉(zhuǎn)齒輪觸碰，撥動(dòng)旋轉(zhuǎn)齒輪旋轉(zhuǎn)。
[0009]在本實(shí)用新型的又一個(gè)具體的實(shí)施例中，所述的旋轉(zhuǎn)齒輪在上表面開(kāi)設(shè)用于輔助工件固定的定位孔。
[0010]本實(shí)用新型由于采用了上述結(jié)構(gòu)，可用作小型零件、小型刀具等工件的通用型PVD涂層托架，所述的托架具備多個(gè)支撐臺(tái)，一次能同時(shí)對(duì)多個(gè)工件進(jìn)行PVD表面涂層處理，滿足了一次性大批量加工的要求；同時(shí)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能確保涂層均勻、效果好。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的剖視圖。
[0013]圖3為本實(shí)用新型一應(yīng)用例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:1.底圈、11.中圈限位凸臺(tái)；2.中圈、21.凸耳、22.限位凸緣；3.頂圈、31.中心軸孔、32.襯套容置孔；4.襯套；5.支撐臺(tái)、51.旋轉(zhuǎn)軸、52.旋轉(zhuǎn)齒輪、521.定位孔；
6.撥片組件、61.撥片座、611.撥片容置槽、62.撥片；7.轉(zhuǎn)架本體、71.轉(zhuǎn)架中心軸、72.旁軸。

【具體實(shí)施方式】
[0015] 申請(qǐng)人:將在下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，但 申請(qǐng)人:對(duì)實(shí)施例的描述不是對(duì)技術(shù)方案的限制，任何依據(jù)本實(shí)用新型構(gòu)思作形式而非實(shí)質(zhì)的變化都應(yīng)當(dāng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0016]請(qǐng)參閱圖1、圖2并結(jié)合圖3，本實(shí)用新型涉及一種轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，所述的轉(zhuǎn)架包括轉(zhuǎn)架本體7以及設(shè)在轉(zhuǎn)架本體7上的轉(zhuǎn)架中心軸71和旁軸72。所述的涂層托架可采用304不銹鋼制成，機(jī)械性能好、使用壽命長(zhǎng)。該涂層托架安裝在PVD涂層設(shè)備的噴涂腔中的轉(zhuǎn)架上，用于小型零件、小型刀具等工件作PVD涂層處理。所述的通用型PVD涂層托架包括底圈1、中圈2、頂圈3、襯套4、支撐臺(tái)5以及撥片組件6。所述的底圈I呈環(huán)狀，在上端面圍繞圓周方向構(gòu)成一凸起于表面的中圈限位凸臺(tái)11。所述的中圈2轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在中圈限位凸臺(tái)11的外圓周上，中圈2在圓周外邊緣延伸形成一凸耳21和一限位凸緣22，所述的限位凸緣22與旁軸72配合，對(duì)中圈2進(jìn)行限位固定。所述的頂圈3疊設(shè)在底圈I上，頂圈3的軸向中間開(kāi)設(shè)一用于供轉(zhuǎn)架中心軸71插配而藉以將該托架安裝到轉(zhuǎn)架本體7上的中心軸孔31。頂圈3沿圓周方向間隔開(kāi)設(shè)多個(gè)襯套容置孔32，所述的襯套4與襯套容置孔32 —一對(duì)應(yīng)構(gòu)成插配連接，所述的支撐臺(tái)5的數(shù)量與襯套4相同，在本實(shí)施例中，所述的襯套容置孔32、襯套4以及支撐臺(tái)5的數(shù)量均為二十個(gè)。每一支撐臺(tái)5包括旋轉(zhuǎn)軸51和旋轉(zhuǎn)齒輪52，所述的旋轉(zhuǎn)軸51轉(zhuǎn)動(dòng)地樞置在對(duì)應(yīng)的襯套4中，所述的旋轉(zhuǎn)齒輪52固定在旋轉(zhuǎn)軸51的頂端。旋轉(zhuǎn)齒輪52在上表面開(kāi)設(shè)用于輔助工件固定的定位孔521，在該定位孔521中可設(shè)置用于吸附待涂層零件的磁鐵或用于插入待涂層小型刀具的鋼管。所述的撥片組件6包括撥片座61和撥片62，所述的撥片座61的底端固定安裝在所述的凸耳21上，撥片座61在頂端朝向旋轉(zhuǎn)齒輪52開(kāi)設(shè)撥片容置槽611，所述的撥片62為L(zhǎng)型，其長(zhǎng)度方向的一端嵌裝在撥片容置槽611中，撥片62長(zhǎng)度方向的另一端端部構(gòu)成為折邊，該折邊與旋轉(zhuǎn)齒輪52碰觸，撥動(dòng)旋轉(zhuǎn)齒輪52旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸51在襯套4中旋轉(zhuǎn)。
[0017]請(qǐng)參閱圖3并結(jié)合圖1和圖2，在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，所述的轉(zhuǎn)架為五軸轉(zhuǎn)架，其上設(shè)置五枚轉(zhuǎn)架中心軸71和五枚旁軸72，在每一轉(zhuǎn)架中心軸71上分別裝配一上述的托架，每一旁軸72對(duì)應(yīng)一限位凸緣22。而每一托架具備二十個(gè)支撐臺(tái)5，可同時(shí)放置二十個(gè)工件，因此配備了上述托架的五軸轉(zhuǎn)架一次能同時(shí)為一百個(gè)工件作PVD涂層處理，滿足了大批量生產(chǎn)的要求，節(jié)省成本?，F(xiàn)以一枚轉(zhuǎn)架中心軸71上的托架為例進(jìn)行原理說(shuō)明:所述的底圈I和頂圈3隨轉(zhuǎn)架中心軸71作逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)襯套4和支撐臺(tái)5隨之旋轉(zhuǎn)。所述的中圈2由于受到底圈I和頂圈3的滑動(dòng)摩擦力而旋轉(zhuǎn)，當(dāng)限位凸緣22與對(duì)應(yīng)的旁軸72碰觸時(shí)，中圈2停止旋轉(zhuǎn)。接著，支撐臺(tái)5繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，其旋轉(zhuǎn)齒輪52受撥片62撥動(dòng)，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸51在襯套4中順時(shí)針地旋轉(zhuǎn)一角度。由于托架整體的旋轉(zhuǎn)方向與旋轉(zhuǎn)齒輪52的旋轉(zhuǎn)方向相反，因此能使PVD涂層更均勻、效果更好。
【權(quán)利要求】
1.一種轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，所述的轉(zhuǎn)架包括轉(zhuǎn)架本體(7)以及設(shè)在轉(zhuǎn)架本體(7)上的轉(zhuǎn)架中心軸(71)和旁軸(72)，其特點(diǎn)是:所述的通用型PVD涂層托架包括底圈(I)、中圈(2)、頂圈(3)、襯套(4)、支撐臺(tái)(5)以及撥片組件(6)，所述的底圈⑴呈環(huán)狀，在上端面圍繞圓周方向構(gòu)成一凸起于表面的中圈限位凸臺(tái)(11)，所述的中圈(2)轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在中圈限位凸臺(tái)(11)的外圓周上，中圈⑵在圓周外邊緣延伸形成一凸耳(21)和一限位凸緣(22)，所述的限位凸緣(22)與旁軸(72)配合，對(duì)中圈(2)進(jìn)行限位固定；所述的頂圈(3)疊設(shè)在底圈(I)上，頂圈(3)的軸向中間開(kāi)設(shè)一用于供轉(zhuǎn)架中心軸(71)插配而藉以將該托架安裝到轉(zhuǎn)架本體(7)上的中心軸孔(31)，頂圈(3)沿圓周方向間隔開(kāi)設(shè)多個(gè)襯套容置孔(32);所述的襯套(4)有多個(gè)，與襯套容置孔(32) —一對(duì)應(yīng)構(gòu)成插配連接；所述的支撐臺(tái)(5)的數(shù)量與襯套(4)相同，每一支撐臺(tái)(5)包括旋轉(zhuǎn)軸(51)和旋轉(zhuǎn)齒輪(52)，所述的旋轉(zhuǎn)軸(51)轉(zhuǎn)動(dòng)地樞置在對(duì)應(yīng)的襯套(4)中，所述的旋轉(zhuǎn)齒輪(52)固定在旋轉(zhuǎn)軸(51)的頂端；所述的撥片組件(6)固定安裝在所述的中圈(2)的凸耳(21)上且與所述的旋轉(zhuǎn)齒輪(52)相配合，旋轉(zhuǎn)齒輪(52)由撥片組件(6)撥動(dòng)而旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸(51)在襯套(4)中旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，其特征在于所述的襯套容置孔(32)、襯套(4)以及支撐臺(tái)(5)的數(shù)量均為二十個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，其特征在于所述的撥片組件(6)包括撥片座(61)和撥片(62)，所述的撥片座(61)的底端固定安裝在所述的凸耳(21)上，撥片座(61)在頂端朝向旋轉(zhuǎn)齒輪(52)開(kāi)設(shè)撥片容置槽(611);所述的撥片(62)為L(zhǎng)型，其長(zhǎng)度方向的一端嵌裝在撥片容置槽(611)中，撥片(62)長(zhǎng)度方向的另一端端部構(gòu)成為折邊，該折邊與旋轉(zhuǎn)齒輪(52)觸碰,撥動(dòng)旋轉(zhuǎn)齒輪(52)旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)架用通用型PVD涂層托架，其特征在于所述的旋轉(zhuǎn)齒輪(52)在上表面開(kāi)設(shè)用于輔助工件固定的定位孔(521)。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK204039492SQ201420475799
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2014年8月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月21日
【發(fā)明者】蔡平, 朱振華 申請(qǐng)人:江蘇海事職業(yè)技術(shù)學(xué)院