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      真空密封容器及真空密封方法、真空熱處理方法與流程

      文檔序號(hào):11146193閱讀:1801來源:國知局
      真空密封容器及真空密封方法、真空熱處理方法與制造工藝

      本發(fā)明涉及熱處理實(shí)驗(yàn)方法,尤其涉及一種真空密封容器及真空密封方法、熱處理方法。



      背景技術(shù):

      一般金屬材料在空氣爐中加熱,由于空氣中存在氧氣、水蒸氣、二氧化碳等氧化性氣體,這些氣體與金屬發(fā)生氧化作用易使被加熱的金屬表面產(chǎn)生氧化膜或氧化皮,完全失去原有的金屬光澤。同時(shí)這些氣體還要與金屬中的碳發(fā)生反應(yīng),使其表面脫碳。如果爐中含有一氧化碳或甲烷氣體,還會(huì)使金屬表面增碳。對(duì)于化學(xué)性質(zhì)非常活潑的Ti、Zr以及難溶金屬W、Mo、Nb、Ta等,在空氣爐中加熱,除了要生成氧化物、氫化物、氮化物外,還要吸收這些氣體并向金屬內(nèi)部擴(kuò)散,使金屬材料的性能嚴(yán)重惡化。這些氧化、脫碳、增碳、吸氣甚至產(chǎn)生腐蝕等弊病,在可控氣氛爐或鹽浴爐中加熱,有時(shí)也難以避免。真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù),真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境,包括低真空、中等真空、高真空和超高真空,真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理。真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的,真空熱處理可以實(shí)現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝,但熱處理質(zhì)量大大提高。與常規(guī)熱處理相比,真空熱處理的同時(shí),可實(shí)現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳,可去掉工件表面的磷屑,并有脫脂除氣等作用,從而達(dá)到表面光亮凈化的效果。真空熱處理爐是近年來得到較大發(fā)展的先進(jìn)熱處理設(shè)備,工件是在超低氣壓的空間里進(jìn)行加熱和冷卻的。然而一般真空退火設(shè)備體積龐大而笨重,長期使用后,腔體內(nèi)氣體混雜,很難清洗,難以保證樣品的清潔度。

      在現(xiàn)有真空熱處理技術(shù)中,為了避免使用真空退火爐等設(shè)備,經(jīng)常利用石英管作為實(shí)驗(yàn)樣品的真空密封容器,將樣品裝入上端開口的石英管,并在石英管的底部與開口端之間設(shè)置密封結(jié)構(gòu),所述密封結(jié)構(gòu)與石英管底部之間的空腔(容納有實(shí)驗(yàn)樣品)內(nèi)為真空或惰性氣體填充狀態(tài)。按照實(shí)驗(yàn)要求對(duì)石英管加熱,即可實(shí)現(xiàn)管內(nèi)樣品的真空熱處理。這種真空密封方法具有操作簡便靈活的優(yōu)點(diǎn),尤其適合實(shí)驗(yàn)條件下少量樣品的真空熱處理。然而,很多實(shí)驗(yàn)中的熱處理需要很長時(shí)間,這對(duì)密封技術(shù)提出了更高的要求。上述真空密封方法中,所使用的密封結(jié)構(gòu)是將石英柱燒結(jié)在石英管內(nèi)進(jìn)行封口,這樣的密封結(jié)構(gòu)無法滿足長時(shí)間真空熱處理所需的密封要求,在較長時(shí)間的熱處理過程中,總會(huì)有些許空氣從密封口慢慢滲透到管內(nèi),與樣品發(fā)生細(xì)微反應(yīng),這對(duì)微觀探測實(shí)驗(yàn)來說無疑是巨大的挑戰(zhàn)。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有基于石英管的真空密封技術(shù)的不足,提供一種真空密封容器以及相應(yīng)的真空密封方法、熱處理方法,可滿足長時(shí)間真空熱處理所需的密封要求。

      本發(fā)明具體采用以下技術(shù)方案:

      一種真空密封容器,所述容器為上端開口的石英管,在石英管的底部與開口端之間設(shè)置有密封結(jié)構(gòu),所述密封結(jié)構(gòu)與石英管底部之間的空腔內(nèi)為真空或惰性氣體填充狀態(tài);所述密封結(jié)構(gòu)包括從所述石英管的底部至其開口端依次設(shè)置的第一密封部、第二密封部,在第一密封部與第二密封部之間的空腔內(nèi)填充有海綿鈦。

      一種真空密封方法,包括以下步驟:

      步驟1、將樣品放入上端開口的石英管的底部;

      步驟2、對(duì)石英管進(jìn)行縮頸處理,從而在石英管的開口端與樣品之間形成第一縮頸部;

      步驟3、在石英管中放入一段直徑略小于石英管內(nèi)徑的第一石英圓柱,使其卡在石英管內(nèi)第一縮頸部之上;對(duì)石英管先抽真空然后充入惰性氣體,反復(fù)若干次,直到石英管處于真空狀態(tài)下,此時(shí)對(duì)第一石英圓柱所處位置處的石英管外壁進(jìn)行均勻加熱,使得第一石英圓柱與石英管熔融粘接為一體,形成第一密封部;

      步驟4、在石英管中第一石英圓柱的上方放入海綿鈦;

      步驟5、對(duì)石英管進(jìn)行縮頸處理,從而在石英管的開口端與海綿鈦之間形成第二縮頸部;

      步驟6、在石英管中放入一段直徑略小于石英管內(nèi)徑的第二石英圓柱,使其卡在石英管內(nèi)第二縮頸部之上;對(duì)石英管先抽真空然后充入惰性氣體,反復(fù)若干次,直到石英管處于真空狀態(tài)下,此時(shí)對(duì)第二石英圓柱所處位置處的石英管外壁進(jìn)行均勻加熱,使得第二石英圓柱與石英管熔融粘接為一體,形成第二密封部。

      一種真空熱處理方法,首先使用上述方法對(duì)樣品進(jìn)行真空密封,然后對(duì)真空密封后樣品進(jìn)行加熱。

      相比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明具有以下有益效果:

      本發(fā)明利用石英管作為真空密封容器,在石英管中設(shè)置了包括一前一后兩個(gè)密封部以及填充在兩個(gè)密封部之間的海綿鈦的密封結(jié)構(gòu),一方面利用兩個(gè)密封部提高真空密封性能,更重要地是其中的海綿鈦可很好地將滲透的空氣吸收,從而使得整個(gè)真空密封容器在長時(shí)間的熱處理過程中幾乎零泄漏,保證了實(shí)驗(yàn)的效果,提高了樣品的有效存放時(shí)間。

      相比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明僅需增加少量海綿鈦的使用,其它的氣路、加熱、夾具等均可采用現(xiàn)有設(shè)備,操作簡便,實(shí)現(xiàn)成本較低。

      附圖說明

      圖1為用于進(jìn)行真空密封的簡易氣路圖;

      圖2為本發(fā)明真空密封方法的操作流程示意圖;

      圖3為本發(fā)明真空密封容器的結(jié)構(gòu)示意圖。

      圖中各標(biāo)號(hào)含義如下:

      1、氬氣源,2、減壓閥,3、開關(guān)閥,4、機(jī)械泵,5、開關(guān)閥 ,6、真空計(jì),7、密封套筒,8、石英管, 9、充氣閥,10、樣品,11、凹坑,12、石英圓柱,13、海綿鈦, 14、凹坑, 15、石英圓柱。

      具體實(shí)施方式

      本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有基于石英管的真空密封技術(shù)無法滿足長時(shí)間真空熱處理的密封要求的問題,對(duì)真空密封方法進(jìn)行改進(jìn),在石英管中設(shè)置了包括一前一后兩個(gè)密封部以及填充在兩個(gè)密封部之間的海綿鈦的密封結(jié)構(gòu),一方面利用兩個(gè)密封部提高真空密封性能,更重要地是其中的海綿鈦可很好地將滲透的空氣吸收,從而使得整個(gè)真空密封容器在長時(shí)間的熱處理過程中幾乎零泄漏,保證了實(shí)驗(yàn)的效果,提高了樣品的有效存放時(shí)間。

      具體地,本發(fā)明所提出的真空密封容器,所述容器為上端開口的石英管,在石英管的底部與開口端之間設(shè)置有密封結(jié)構(gòu),所述密封結(jié)構(gòu)與石英管底部之間的空腔內(nèi)為真空或惰性氣體填充狀態(tài);所述密封結(jié)構(gòu)包括從所述石英管的底部至其開口端依次設(shè)置的第一密封部、第二密封部,在第一密封部與第二密封部之間的空腔內(nèi)填充有海綿鈦。

      為了獲得上述真空密封容器,本發(fā)明又進(jìn)一步提出了一種真空密封方法,包括以下步驟:

      步驟1、將樣品放入上端開口的石英管的底部;

      步驟2、對(duì)石英管進(jìn)行縮頸處理,從而在石英管的開口端與樣品之間形成第一縮頸部;

      步驟3、在石英管中放入一段直徑略小于石英管內(nèi)徑的第一石英圓柱,使其卡在石英管內(nèi)第一縮頸部之上;對(duì)石英管先抽真空然后充入惰性氣體,反復(fù)若干次,直到石英管處于真空狀態(tài)下,此時(shí)對(duì)第一石英圓柱所處位置處的石英管外壁進(jìn)行均勻加熱,使得第一石英圓柱與石英管熔融粘接為一體,形成第一密封部;

      步驟4、在石英管中第一石英圓柱的上方放入海綿鈦;

      步驟5、對(duì)石英管進(jìn)行縮頸處理,從而在石英管的開口端與海綿鈦之間形成第二縮頸部;

      步驟6、在石英管中放入一段直徑略小于石英管內(nèi)徑的第二石英圓柱,使其卡在石英管內(nèi)第二縮頸部之上;對(duì)石英管先抽真空然后充入惰性氣體,反復(fù)若干次,直到石英管處于真空狀態(tài)下,此時(shí)對(duì)第二石英圓柱所處位置處的石英管外壁進(jìn)行均勻加熱,使得第二石英圓柱與石英管熔融粘接為一體,形成第二密封部。

      其中,所述縮頸處理為現(xiàn)有技術(shù),具體為:對(duì)石英管抽真空,并對(duì)石英管要進(jìn)行縮頸處理的部位進(jìn)行加熱,該部位石英融化后在管壁內(nèi)外氣壓差下向內(nèi)凹陷,冷卻后即形成向內(nèi)凹陷的縮頸部。本發(fā)明的縮頸處理可對(duì)石英管的周向進(jìn)行均勻加熱,從而形成環(huán)狀的凹陷,或者僅對(duì)石英管的周向的局部進(jìn)行加熱,從而形成局部的凹陷,只要能卡住石英圓柱即可。

      所述惰性氣體可采用常用的氬氣、氮?dú)饣蚝狻?/p>

      為了便于公眾理解,下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明:

      本發(fā)明真空密封方法可采用現(xiàn)有的氣路設(shè)備,圖1顯示了一種可用于本發(fā)明真空密封的簡易氣路。如圖1所示,氣路中包括:氬氣源1、減壓閥2、開關(guān)閥3、機(jī)械泵4、開關(guān)閥5、真空計(jì)6、密封套筒7、石英管8、充氣閥9。本實(shí)施例中的氣路控制安裝排布在實(shí)驗(yàn)桌上,氬氣是從氬氣瓶經(jīng)過減壓閥流進(jìn),輸出氣體壓強(qiáng)控制在0.2MPa~0.5MPa之間,通過一個(gè)球閥控制;抽氣使用機(jī)械泵,真空極限10-1Pa,同樣通過一個(gè)球閥控制;串聯(lián)接入氣路的真空計(jì)用于實(shí)時(shí)檢測整個(gè)回路的氣壓;氣路通過軟管接到不銹鋼密封接頭,不銹鋼接頭內(nèi)部有一個(gè)塑料密封圈,從軸向看,密封圈是楔形的,尖端朝上卡住石英管,在螺紋套筒張緊力下密封圈收縮變形,從而緊緊鎖住石英管,將石英管連入氣路。

      利用上述氣路進(jìn)行真空密封的具體流程如圖2所示,包括以下步驟:

      步驟1、將石英管8用無水乙醇清洗三遍,待石英管8晾干后,將實(shí)驗(yàn)樣品10放入石英管8內(nèi)底部,然后通過密封套筒7將石英管8與氣路聯(lián)通在一起;

      步驟2、將石英管8密封安裝好并固定在鐵架臺(tái)上,用機(jī)械泵4對(duì)石英管8抽真空,當(dāng)真空計(jì)6顯示氣路處于真空狀態(tài)時(shí),用氧乙炔火槍對(duì)石英管8局部加熱,當(dāng)加熱部分處于熔融態(tài)時(shí)停止加熱,在大氣壓強(qiáng)差作用下,在石英管8的加熱部位產(chǎn)生凹坑11;

      步驟3、將充氣閥9打開,真空計(jì)6顯示大氣狀態(tài)時(shí),在石英管8中放入直徑略小于石英管8內(nèi)徑的實(shí)心的石英圓柱12,使得石英圓柱12卡在凹坑11上,再通過密封套筒7安裝石英管8;通過機(jī)械泵4與開關(guān)閥3、5交替操作先對(duì)氣路進(jìn)行洗氣(抽真空—充氬氣)處理,具體為:此時(shí)氣路處于抽氣狀態(tài),閥門3關(guān)閉,閥門5開啟,減壓閥2控制氬氣流出壓強(qiáng)0.2MPa~0.5MPa;先關(guān)閉閥門5,然后緩慢打開閥門3,時(shí)刻注意真空計(jì)6的壓強(qiáng)示數(shù),在氣路接近大氣壓強(qiáng)時(shí)關(guān)閉閥門3,打開閥門5,完成一次洗氣過程;如此反復(fù)操作3~5次;最后在氣路真空狀態(tài)下用火槍瞄準(zhǔn)石英圓柱12位置對(duì)石英管8加熱,使石英圓柱12與管壁熔融在一起,冷卻后牢牢粘接在一起,從而形成第一密封部;

      步驟4、關(guān)閉機(jī)械泵4,充氣,取出石英管8,在石英管8內(nèi)放入海綿鈦13;

      步驟5、與步驟2類似,在海綿鈦13之上生成凹坑14;

      步驟6、與步驟3類似,在石英管8中放入直徑略小于石英管8內(nèi)徑的實(shí)心的石英圓柱15,使得石英圓柱15卡在凹坑14上,再通過密封套筒7安裝石英管8;進(jìn)行洗氣處理,最后在氣路真空狀態(tài)下將用火槍瞄準(zhǔn)石英圓柱15位置對(duì)石英管8加熱,使石英圓柱15與管壁熔融在一起,冷卻后牢牢粘接在一起,從而形成第二密封部,最終得到如圖3所示的真空密封容器,從而完成實(shí)驗(yàn)樣品的真空密封。

      完成真空密封后的實(shí)驗(yàn)樣品可放入馬弗爐中進(jìn)行后續(xù)的熱處理,由于采用了上述真空密封方法,即使經(jīng)過長時(shí)間的高溫?zé)崽幚恚瑢?shí)驗(yàn)樣品仍可保持在真空環(huán)境中,保證了實(shí)驗(yàn)的效果。

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