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      薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號(hào):6197546閱讀:391來(lái)源:國(guó)知局
      薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng)的制作方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型為薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng),解決薄殼容器的抽真空和真空回填過(guò)程中,工件內(nèi)外壓差損壞工件的問(wèn)題,工件(2)置于真空箱(1)內(nèi),在真空箱外有聯(lián)通閥(4)分別與工件、真空箱和工位閥(5)連接,真空箱與其外的抽空閥(3)、真空回填閥(7)連接,抽空閥與真空泵(6)連接。
      【專利說(shuō)明】薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng)
      [0001]【技術(shù)領(lǐng)域】:
      [0002]本實(shí)用新型涉及薄殼容器箱內(nèi)抽真空、檢漏、回填系統(tǒng)。
      [0003]【背景技術(shù)】:
      [0004]對(duì)于真空氦檢漏,抽真空和回填真空是必不可少的環(huán)節(jié),但對(duì)于薄殼容器來(lái)說(shuō),傳 統(tǒng)的工件與真空箱分別獨(dú)立抽真空和回填真空,真空箱容積與工件容積有差異,真空箱抽 空泵與工件抽空泵抽速有差異,真空箱真空回填閥與工件放氣閥回填速度差異,因此薄殼 容器工件內(nèi)外壓差無(wú)法控制,而薄殼容器承壓能力較差,一般要求容器內(nèi)外壓差都要控制 在一定的范圍,因此傳統(tǒng)抽空回填工藝很容易造成被測(cè)工件損壞無(wú)法使用。
      [0005]實(shí)用新型內(nèi)容:
      [0006]本實(shí)用新型的目的是提供一種防止薄殼容器工件在回填真空過(guò)程中因真空箱內(nèi) 與工件內(nèi)壓差造成的變形損壞的薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng)。
      [0007]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:
      [0008]薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng),工件2置于真空箱I內(nèi),在真空箱外有聯(lián)通 閥4分別與工件、真空箱和工位閥5連接,真空箱與其外的抽空閥3、真空回填閥7連接,抽 空閥與真空泵6連接。
      [0009]工件2的抽空口與聯(lián)通閥4的非密封閥板端接口連接,真空箱I與聯(lián)通閥4的密 封閥板端連接。
      [0010]聯(lián)通閥處4于開(kāi)啟狀態(tài),,工位閥5與工件抽空口聯(lián)通,工位閥5處于關(guān)閉狀態(tài),真 空回填閥7關(guān)閉,真空箱I關(guān)閉密封,真空泵6啟動(dòng),抽空閥3打開(kāi),此時(shí)工件2與真空箱I 一起處于被真空泵6抽空狀態(tài),抽至工件需求的真空度,關(guān)閉聯(lián)通閥4,打開(kāi)工位閥5,此時(shí) 工件進(jìn)行保壓檢大漏、放氮、平衡、回收工序;工件2檢漏回收完成后,關(guān)閉工位閥5,打開(kāi)聯(lián) 通閥4,工件2與真空箱I聯(lián)通,抽空閥3處于關(guān)閉狀態(tài),打開(kāi)真空回填閥7,對(duì)真空箱和工 件同時(shí)回填。
      [0011]本實(shí)用新型有如下優(yōu)點(diǎn):
      [0012]1,在工件抽空口處安裝一個(gè)聯(lián)通閥,在真空箱抽空時(shí)將聯(lián)通閥門打開(kāi),這樣就將 工件容積與真空箱容積聯(lián)通,使工件內(nèi)部與真空箱內(nèi)腔形成一個(gè)容積,在抽空時(shí)工件內(nèi)外 壓差就得到有效控制,可控制工件內(nèi)外壓差在一定的范圍,防止了薄殼容器工件在抽真空 過(guò)程中因真空箱內(nèi)與工件內(nèi)壓差造成的變形損壞。
      [0013]2,在工件做相關(guān)工序動(dòng)作時(shí)聯(lián)通閥處于關(guān)閉狀態(tài),將真空箱容積與工件容積斷 開(kāi),使薄殼容器工件處于獨(dú)立容器狀態(tài)。
      [0014]3,在工件檢漏回收結(jié)束后,工位閥關(guān)閉,聯(lián)通閥打開(kāi),真空箱內(nèi)腔與工件內(nèi)腔連為 一體,一起作真空回填,這樣在回填時(shí)工件內(nèi)外壓差可以得到有效的控制,可控制工件內(nèi)外 壓差在一定的范圍,防止了薄殼容器工件在回填真空過(guò)程中因真空箱內(nèi)與工件內(nèi)壓差造成 的變形損壞。
      [0015]【專利附圖】

      【附圖說(shuō)明】:
      [0016]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖。[0017]【具體實(shí)施方式】:
      [0018]本實(shí)用新型由薄殼容器工件、真空箱、聯(lián)通閥門、回填真空閥門、抽空閥門、抽空泵 組、工位閥組成,工件2置于真空箱I內(nèi),在真空箱外有聯(lián)通閥4分別與工件、真空箱和工位 閥5連接,真空箱與其外的抽空閥3、真空回填閥7連接,抽空閥與真空泵6連接。
      [0019]將真空箱I的門板8打開(kāi),工件2放置于真空箱I中,將工件2的抽空口與聯(lián)通閥 4的非密封閥板端接口連接,關(guān)閉門板8,真空箱I與聯(lián)通閥4密封閥板端連接,聯(lián)通閥處4 于開(kāi)啟狀態(tài),工位閥5與工件抽空口聯(lián)通,工位閥5處于關(guān)閉狀態(tài),真空回填閥7關(guān)閉,真空 箱I關(guān)閉密封,真空泵6啟動(dòng),抽空閥3打開(kāi),此時(shí)工件2與真空箱I 一起處于被真空泵6抽 空狀態(tài),抽至工件需求的真空度,關(guān)閉聯(lián)通閥4,打開(kāi)工位閥5,此時(shí)工件可以進(jìn)行相關(guān)工序 工作;工件2檢漏回收完成后,關(guān)閉工位閥5,打開(kāi)聯(lián)通閥4,工件2與真空箱I聯(lián)通,抽空閥 3處于關(guān)閉狀態(tài),打開(kāi)真空回填閥7,對(duì)真空箱和工件同時(shí)回填,回填完畢后,打開(kāi)門板8。
      【權(quán)利要求】
      1.薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng),其特征在于工件(2)置于真空箱(I)內(nèi),在真 空箱外有聯(lián)通閥(4 )分別與工件、真空箱和工位閥(5 )連接,真空箱與其外的抽空閥(3 )、真 空回填閥(7)連接,抽空閥與真空泵(6)連接。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng),其特征在于工件(2) 的抽空口與聯(lián)通閥(4)的非密封閥板端接口連接,真空箱(I)與聯(lián)通閥(4)的密封閥板端連 接。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄殼容器工件抽真空及真空回填系統(tǒng),其特征在于聯(lián)通閥 處(4)于開(kāi)啟狀態(tài),工位閥(5)與工件抽空口聯(lián)通,工位閥(5)處于關(guān)閉狀態(tài),真空回填閥(7)關(guān)閉,真空箱(I)關(guān)閉密封,真空泵(6)啟動(dòng),抽空閥(3)打開(kāi),此時(shí)工件(2)與真空箱(I)一起處于被真空泵(6)抽空狀態(tài),抽至工件需求的真空度,關(guān)閉聯(lián)通閥(4),打開(kāi)工位閥(5),此時(shí)工件進(jìn)行保壓檢大漏、放氮、平衡、回收工序;工件(2)檢漏回收完成后,關(guān)閉工位 閥(5 ),打開(kāi)聯(lián)通閥(40 ),工件(2 )與真空箱(I)聯(lián)通,抽空閥(3 )處于關(guān)閉狀態(tài),打開(kāi)真空 回填閥(7 ),對(duì)真空箱和工件同時(shí)回填。
      【文檔編號(hào)】G01M3/20GK203432761SQ201320538030
      【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月2日
      【發(fā)明者】張果, 李健, 瞿騎龍 申請(qǐng)人:愛(ài)發(fā)科東方真空(成都)有限公司
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