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      用于石墨舟上下片裝置的制作方法

      文檔序號:11126706閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      本發(fā)明公開了一種工作效率較高且能夠減少硅片受污染幾率的用于石墨舟上下片裝置。該用于石墨舟上下片裝置,包括支架,支架上設(shè)置有托架,托架上方設(shè)置有機械手,支架上設(shè)置有硅片上料盒與硅片下料盒,硅片上料盒上連接有支撐架,支架上設(shè)置有升降裝置,硅片上料盒的外側(cè)設(shè)置有自動上片裝置;在工作時,利用自動上片裝置將上一個工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒內(nèi),然后利用機械手將硅片上料盒內(nèi)的硅片取出后放入石墨舟內(nèi)或?qū)⑹蹆?nèi)放置的硅片取出放入硅片下料盒內(nèi),可以實現(xiàn)生產(chǎn)的機械化和自動化,大大降低了工人的勞動強度,節(jié)約了人力成本,提高了工作效率,同時,降低了硅片被污染的幾率。適合在硅片加工設(shè)備領(lǐng)域推廣應(yīng)用。

      技術(shù)研發(fā)人員:陳五奎;劉強;耿榮軍;任超;黃振華;徐文州
      受保護的技術(shù)使用者:樂山新天源太陽能科技有限公司
      文檔號碼:201611159788
      技術(shù)研發(fā)日:2016.12.15
      技術(shù)公布日:2017.02.15

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