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      一種適用于金剛石/銅復合材料的表面加工方法與流程

      文檔序號:11879329閱讀:1084來源:國知局

      本發(fā)明屬于復合材料表面處理技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種金剛石/銅復合材料的表面加工方法。



      背景技術(shù):

      金剛石/銅復合材料因其具有高導熱、低膨脹及物理性能可調(diào)節(jié)等優(yōu)異的綜合性能,成為滿足半導體激光器、微波功率電子等電子封裝器件散熱的重要候選材料,用于替代現(xiàn)有的鎢銅、鉬銅等電子封裝材料。金剛石/銅復合材料具有優(yōu)異的散熱性能,大量用于電子封裝和熱控元件等電子元器件中,廣泛應(yīng)用于我國電子、航空航天、兵器、半導體激光器等行業(yè)。已有ZL200710178844.5一種高導熱銅基復合材料及其制備方法,成功制備金剛石/銅復合材料,而金剛石/銅復合材料中由于含有金剛石顆粒,常規(guī)碳化硅砂輪和氧化鋁砂輪難以加工達到電子器件表面粗糙度小于1微米的要求。采用金剛石微粉研磨的方法,在研磨盤上加入金剛石微粉,可以得到粗糙度小于1微米的表面,但是存在兩個問題,一是研磨效率低,很難大批量適用;二是研磨過程中研磨盤的金屬雜質(zhì)容易鑲嵌到金剛石銅復合材料的銅基體中,致使材料表面顏色發(fā)黑,并且由于雜質(zhì)引入對后期材料的鍍覆可靠性不利。因此本發(fā)明提供一種更高效、不引入雜質(zhì)且適合大批量生產(chǎn)的加工工藝,有助于推動金剛石/銅復合材料推廣應(yīng)用,更好地發(fā)揮材料的優(yōu)異性能。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本發(fā)明針對金剛石/銅復合材料現(xiàn)有表面加工技術(shù)的不足,提供了一種適用于金剛石/銅復合材料的表面加工方法,其特征在于,包括如下工藝步驟:

      1)一次粗磨:采用陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪進行一次表面粗磨,去除表面多余的銅,露出復合材料表面;

      2)二次粗磨:采用細粒金剛石的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪進行二次表面粗磨,使表面粗糙度小于2微米;

      3)精磨:距離目標尺寸0.03-0.08mm時,采用高硬度金剛石砂輪進行精磨,最后金剛石/銅復合材料的表面粗糙度小于1微米。

      步驟1)中所述陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪中金剛石的體積分數(shù)37.5%-50%,金剛石粒度為40-100目。

      步驟2)中所述陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪中金剛石的體積分數(shù)30%-45%,金剛石粒度為100-200目。

      步驟3)中所述高硬度金剛石砂輪的硬度在P級以上,砂輪中金剛石的體積分數(shù)為40%-50%,金剛石粒度為100-200目。

      本發(fā)明的優(yōu)點:

      本發(fā)明采用不同陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪加工金剛石/銅復合材料,從粗磨到精磨均采用砂輪平磨,磨削效率高、成本低,加工方便,可以實現(xiàn)大批量加工,保證復合材料表面光潔度,最重要的是在加工過程中不會引入其他雜質(zhì),增加了復合材料表面鍍覆后的鍍層可靠性。

      附圖說明

      圖1金剛石/銅復合材料的表面加工方法流程圖。

      具體實施方式

      本發(fā)明提供了一種適用于金剛石/銅復合材料的表面加工方法,下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。

      實施例1

      按照圖1所示的流程,采用金剛石體積分數(shù)37.5%、粒度為40目-50目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪磨削金剛石/銅復合材料進行一次粗磨;采用金剛石體積分數(shù)為31%,粒度在100目-120目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪進行二次粗磨;當距離最終尺寸0.06mm時,采用金剛石體積分數(shù)45%,粒度為100-120目,硬度Q級的高硬度金剛石砂輪進行精磨,最后金剛石/銅復合材料的表面粗糙度為0.8-0.9微米。

      實施例2

      按照圖1所示的流程,采用金剛石體積分數(shù)40%、顆粒度為80目-100目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪磨削金剛石/銅復合材料進行一次粗磨;采用金剛石體積分數(shù)35%,粒度在120目-140目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪進行二次粗磨;當距離最終尺寸0.05mm時,采用金剛石體積分數(shù)為47.5%,粒度為100-120目,硬度P級的高硬度金剛石砂輪進行精磨,最后金剛石/銅復合材料的表面粗糙度為0.8-0.9微米。

      實施例3

      按照圖1所示的流程,采用金剛石體積分數(shù)45%、顆粒度為70目-80目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪磨削金剛石/銅復合材料進行一次粗磨;采用金剛石體積分數(shù)32.5%,粒度在140目-170目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪進行二次粗磨;當距離最終尺寸0.06mm時,采用金剛石體積分數(shù)為50%,粒度為140-170目,硬度S級的高硬度金剛石砂輪進行精磨,最后金剛石/銅復合材料的表面粗糙度為0.7-0.8微米。

      實施例4

      按照圖1所示的流程,采用金剛石體積分數(shù)50%、顆粒度為50目-60目的陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪磨削金剛石/銅復合材料進行一次粗磨;采用金剛石體積分數(shù)45%,粒度為170目-200目的陶瓷結(jié)合金剛石劑砂輪進行二次粗磨;當距離最終尺寸0.08mm時,采用金剛石體積分數(shù)為40%,粒度為180-200目,硬度R級的高硬度金剛石砂輪進行精磨,最后金剛石/銅復合材料的表面粗糙度為0.6-0.7微米。

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