本實(shí)用新型涉及到單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置。

背景技術(shù)：

單晶硅拋光片是IC行業(yè)的基礎(chǔ)材料，而拋光機(jī)是生產(chǎn)拋光片不可或缺的主要設(shè)備之一。其中由日本FUJIKOSHI公司生產(chǎn)的SPM-19型拋光機(jī)在目前國(guó)內(nèi)的單晶硅拋光片制造廠商中得到廣泛使用。該型拋光機(jī)采用化學(xué)機(jī)械拋光方式實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶硅片表面的拋光處理，拋光生產(chǎn)過(guò)程主要分為兩個(gè)階段：拋光液拋光階段和純水拋光階段。拋光時(shí)，拋光液或者純水通過(guò)主轉(zhuǎn)盤(pán)中心供液口向旋轉(zhuǎn)的主轉(zhuǎn)盤(pán)持續(xù)供應(yīng)拋光液或者純水，四個(gè)壓頭把裝有硅片的陶瓷盤(pán)壓在貼有拋光布的主轉(zhuǎn)盤(pán)上轉(zhuǎn)動(dòng)，由于是機(jī)械拋光，大盤(pán)上掉入的任何顆粒等都會(huì)對(duì)硅片表面造成劃傷，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量造成影響。目前行業(yè)使用的拋光液都溶于水，少量拋光液暴露在空氣中不久就會(huì)形成結(jié)晶。在拋光的過(guò)程中拋光液不可避免地會(huì)濺到壓頭上，如不及時(shí)處理就會(huì)在壓頭上形成結(jié)晶，而壓頭上的結(jié)晶又特別容易掉落到大盤(pán)上，對(duì)硅片的品質(zhì)造成影響。

對(duì)于以上問(wèn)題，傳統(tǒng)的處理方法是：

1）拋完一車或幾車硅片后用無(wú)塵紙或無(wú)塵布蘸純水，對(duì)壓頭上濺落的拋光液或者剛剛形成的結(jié)晶進(jìn)行清潔；

2）在壓頭上粘一層進(jìn)口的雙面膠（此雙面膠價(jià)格昂貴），等雙面膠上結(jié)晶多時(shí)更換雙面膠，并對(duì)壓頭進(jìn)行清潔。

以上兩種方法的缺點(diǎn)是：1）無(wú)塵紙和無(wú)塵布的使用提高了生產(chǎn)成本；2）定時(shí)清潔或更換雙面膠不但增加了員工勞動(dòng)量，而且增加了停機(jī)時(shí)間；3）壓頭上的結(jié)晶容易在拋光過(guò)程中由于震動(dòng)等原因會(huì)掉落到大盤(pán)上，影響硅片的品質(zhì)；4）換雙面膠和清潔時(shí)，結(jié)晶容易掉到拋光布上，污染拋光布。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決現(xiàn)有技術(shù)中壓頭清潔方法存在的諸多問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，該裝置在不改變現(xiàn)有生產(chǎn)工藝的前提下，根據(jù)壓頭上殘留的拋光液在拋完一車的時(shí)間內(nèi)不會(huì)形成結(jié)晶和拋光液溶于水的特點(diǎn)，通過(guò)使用純水沖洗拋光機(jī)壓頭，清除濺到壓頭上的拋光液，避免結(jié)晶生成，來(lái)解決壓頭上的結(jié)晶而引發(fā)的一系列問(wèn)題。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案為：一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，包括三通接頭Ⅰ、三通接頭Ⅱ和兩條噴頭支路，其中，三通接頭Ⅰ的三個(gè)接口分別與原純水管路、原水拋管路和三通接頭Ⅱ連接，三通接頭Ⅱ的另外兩個(gè)接口分別通過(guò)前支管和后支管與上述兩條噴頭支路連接，每條噴頭支路包括一個(gè)三通接頭Ⅲ和兩只噴頭，且三通接頭Ⅲ的一個(gè)接頭與前支管或后支管連接，另外兩個(gè)接頭均通過(guò)管路與兩個(gè)噴頭連接，所述兩條噴頭支路中的四個(gè)噴頭分別延伸到拋光機(jī)的四個(gè)壓頭處，以實(shí)現(xiàn)每個(gè)噴頭單獨(dú)清洗一個(gè)壓頭。

所述原純水管路上設(shè)置有控制其通斷和流量的純水閥。

所述每條噴頭支路中，在三通接頭Ⅲ和兩個(gè)噴頭之間的管路上分別設(shè)置有旋塞閥門(mén)，以對(duì)每個(gè)噴頭進(jìn)行獨(dú)立控制。

本實(shí)用新型中，三通接頭Ⅰ連接的原純水管路和原水拋管路是現(xiàn)有拋光設(shè)備中的純水管路和水拋管路。

有益效果：本實(shí)用新型通過(guò)兩個(gè)三通接頭將原純水管路和原水拋管路與四個(gè)噴頭連接，這四個(gè)噴頭對(duì)應(yīng)拋光機(jī)的四個(gè)壓頭，從而實(shí)現(xiàn)了對(duì)四個(gè)壓頭的單獨(dú)沖洗，避免了現(xiàn)有的清潔方法所造成的一系列問(wèn)題，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便的優(yōu)點(diǎn)，而且沖洗過(guò)程和水拋過(guò)程同步，不額外占用生產(chǎn)時(shí)間，并且完全自動(dòng)化；沖洗過(guò)程可根據(jù)需要適時(shí)調(diào)整噴嘴的角度和水量大小，調(diào)好后不需要人工參與，實(shí)用性和安全性能好，可以有效避免SPM-19型拋光機(jī)壓頭表面拋光液結(jié)晶的形成，降低了設(shè)備停機(jī)率和生產(chǎn)成本，提高了工藝穩(wěn)定性。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的管路連接圖；

圖2為本實(shí)用新型中噴頭支路的管路圖；

附圖標(biāo)記：1、三通接頭Ⅰ，2、三通接頭Ⅱ，3、噴頭支路，301、三通接頭Ⅲ，302、噴頭，303、旋塞閥門(mén)，4、原純水管路，5、原水拋管路，6、前支管，7、后支管，8、壓頭，9、純水閥。

具體實(shí)施方式

如圖所示，一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，包括三通接頭Ⅰ1、三通接頭Ⅱ2和兩條噴頭支路3，其中，三通接頭Ⅰ1的三個(gè)接口分別與原純水管路4、原水拋管路5和三通接頭Ⅱ2連接，三通接頭Ⅱ2的另外兩個(gè)接口分別通過(guò)前支管6和后支管7與上述兩條噴頭支路3連接，每條噴頭支路3包括一個(gè)三通接頭Ⅲ301和兩只噴頭302，且三通接頭Ⅲ301的一個(gè)接頭與前支管6或后支管7連接，另外兩個(gè)接頭均通過(guò)管路與兩個(gè)噴頭302連接，所述兩條噴頭支路3中的四個(gè)噴頭302分別延伸到拋光機(jī)的四個(gè)壓頭8處，以實(shí)現(xiàn)每個(gè)噴頭302單獨(dú)清洗一個(gè)壓頭8。

以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的優(yōu)化、限定和改進(jìn)：

如，所述原純水管路4上設(shè)置有控制其通斷和流量的純水閥9；

又如，所述每條噴頭支路3中，在三通接頭Ⅲ301和兩個(gè)噴頭302之間的管路上分別設(shè)置有旋塞閥門(mén)303，以對(duì)每個(gè)噴頭302進(jìn)行獨(dú)立控制。

圖1中，虛線部分為拋光機(jī)中原有裝置，三通接頭Ⅰ1的主要作用是把本實(shí)用新型裝置并聯(lián)在水拋管路中；三通接頭Ⅱ2對(duì)沖洗裝置的管路進(jìn)行分支；后支路6將管路通向兩個(gè)壓頭；前支路7將管路通向另兩個(gè)壓頭；噴頭支路3部分如圖2所示，三通接頭Ⅲ301將管路分成兩部分，分別指向兩個(gè)壓頭8；旋塞閥門(mén)303有兩個(gè)，可以調(diào)整噴向兩個(gè)壓頭8的水量；噴頭302將純水噴向壓頭8相應(yīng)位置。

壓頭8沖洗的具體步驟如下：

拋光機(jī)進(jìn)入純水拋光階段時(shí)，圖中虛線部分水拋純水閥9自動(dòng)打開(kāi)，一路純水通過(guò)三通接頭Ⅰ1進(jìn)入原拋光機(jī)水拋管路5，另一路通過(guò)三通接頭Ⅰ1進(jìn)入三通接頭Ⅱ2；之后一路純水通過(guò)前支路7、一條噴頭支路3，分別噴向兩個(gè)壓頭8，水量大小可根據(jù)需要調(diào)整對(duì)應(yīng)旋塞閥門(mén)303；另一路通過(guò)后支路6、另一條噴頭支路3，分別噴向剩下的兩個(gè)壓頭8，水量大小可根據(jù)需要調(diào)整對(duì)應(yīng)的旋塞閥門(mén)303。