技術(shù)總結(jié)
一種拋光機(jī)壓頭純水沖洗裝置，三通接頭Ⅰ的三個(gè)接口分別與原純水管路、原水拋管路和三通接頭Ⅱ連接，三通接頭Ⅱ的另外兩個(gè)接口分別通過(guò)前支管和后支管與上述兩條噴頭支路連接，每條噴頭支路包括一個(gè)三通接頭Ⅲ和兩只噴頭，以實(shí)現(xiàn)每個(gè)噴頭單獨(dú)清洗一個(gè)壓頭。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便的優(yōu)點(diǎn)，而且沖洗過(guò)程和水拋過(guò)程同步，不額外占用生產(chǎn)時(shí)間，并且完全自動(dòng)化；沖洗過(guò)程可根據(jù)需要適時(shí)調(diào)整噴嘴的角度和水量大小，調(diào)好后不需要人工參與，實(shí)用性和安全性能好，可以有效避免SPM?19型拋光機(jī)壓頭表面拋光液結(jié)晶的形成，降低了設(shè)備停機(jī)率和生產(chǎn)成本，提高了工藝穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：郭光燦;范強(qiáng);高戰(zhàn)鋒;苗亞龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：麥斯克電子材料有限公司
文檔號(hào)碼：201620871592
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.12
技術(shù)公布日：2017.02.22