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      一種掩模片及掩模板的制作方法

      文檔序號(hào):11371821閱讀:330來(lái)源:國(guó)知局
      一種掩模片及掩模板的制造方法與工藝

      本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種掩模片及掩模板。



      背景技術(shù):

      有機(jī)電致發(fā)光二極管(Organic Light Emitting Diode,OLED)顯示具有自發(fā)光、不需要背光源、對(duì)比度高、厚度薄、視角廣、反應(yīng)速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣等優(yōu)異特性,被認(rèn)為是下一代的平面顯示器新興應(yīng)用技術(shù)。

      OLED的全彩顯示一般包括R(紅)G(綠)B(藍(lán))子像素獨(dú)立發(fā)光、或白光OLED結(jié)合彩色濾光膜等方式。其中,RGB子像素獨(dú)立發(fā)光是目前采用最多的彩色模式,其是利用子像素單元中的有機(jī)發(fā)光材料獨(dú)立發(fā)光。

      目前,有機(jī)發(fā)光材料層一般都是通過對(duì)有機(jī)材料進(jìn)行真空蒸發(fā)鍍膜形成。其中,對(duì)于RGB子像素獨(dú)立發(fā)光的OLED,由于每個(gè)RGB子像素單元采用不同的有機(jī)發(fā)光材料,因而RGB子像素單元的有機(jī)發(fā)光層需要分別進(jìn)行蒸鍍,在此過程中一般采用金屬材料的掩模片來(lái)控制有機(jī)材料在基板上的鍍膜位置,然后依次在每個(gè)子像素單元中蒸鍍相應(yīng)的有機(jī)材料。

      在現(xiàn)有技術(shù)中,掩模片在制作好蒸鍍孔后,需通過張網(wǎng)機(jī)焊接到掩模板框架上。為了避免掩模片由于重力作用而產(chǎn)生的下垂形變,在張網(wǎng)過程中需要提高拉力,這樣又容易使掩模片發(fā)生褶皺,從而會(huì)導(dǎo)致子像素邊緣會(huì)出現(xiàn)明顯的邊緣混色現(xiàn)象。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種掩模片及掩模板,可改善現(xiàn)有技術(shù)中的褶皺問題,提高產(chǎn)品良率。

      為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型的實(shí)施例采用如下技術(shù)方案:

      一方面,提供一種掩模片,包括通過切割線劃分的掩模區(qū)以及夾具區(qū),所述掩模區(qū)包括有效蒸鍍區(qū),所述夾具區(qū)包括多個(gè)夾具端部;所述掩模區(qū)還包括:設(shè)置在所述有效蒸鍍區(qū)靠近所述夾具區(qū)一側(cè)的多個(gè)褶皺釋放區(qū);所述褶皺釋放區(qū)包括間隔排布的多個(gè)條形開口,所述條形開口的長(zhǎng)度方向與拉伸方向非平行。

      優(yōu)選的,針對(duì)所述掩模片頂角位置處的任一個(gè)所述夾具端部,所述掩模區(qū)在靠近所述夾具端部設(shè)置有一個(gè)所述褶皺釋放區(qū)。

      優(yōu)選的,所述有效蒸鍍區(qū)中的蒸鍍開口的形狀為孔型。

      優(yōu)選的,所述褶皺釋放區(qū)的外圍輪廓的拐角處為弧形形狀。

      進(jìn)一步優(yōu)選的,所述褶皺釋放區(qū)的外圍輪廓的長(zhǎng)度方向趨于拉伸方向。

      優(yōu)選的,所述褶皺釋放區(qū)的外圍輪廓的形狀為橢圓形。

      優(yōu)選的,所述褶皺釋放區(qū)到所述切割線的距離大于等于0.25L,所述褶皺釋放區(qū)到所述有效蒸鍍區(qū)的距離大于等于0.25L;其中,L為所述切割線到所述有效蒸鍍區(qū)的距離。

      基于上述優(yōu)選的,所述褶皺釋放區(qū)與所述夾具端部一一對(duì)應(yīng)。

      優(yōu)選的,所述褶皺釋放區(qū)沿拉伸方向的中線與所述夾具端部沿拉伸方向的中心線在一條直線上。

      另一方面,本實(shí)用新型提供一種掩模板,包括框架,以及固定于所述框架上的上述掩模片。

      優(yōu)選的,沿所述掩模片上的切割線,夾具區(qū)被切除。

      本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種掩模片及掩模板,由于通過夾具端部施加在所述掩模片上的拉力,容易導(dǎo)致有效蒸鍍區(qū)受力不均,進(jìn)而容易形成褶皺,在掩模片上表現(xiàn)為在垂直于拉伸方向的截面上具有一定的突起,因此,本實(shí)用新型實(shí)施例通過在所述有效蒸鍍區(qū)靠近所述夾具區(qū)一側(cè)設(shè)置褶皺釋放區(qū),并使所述褶皺釋放區(qū)中條形開口的長(zhǎng)度方向與拉伸方向非平行,即條形開口的長(zhǎng)度沿垂直于拉伸方向上具有一定的分量,可以緩解對(duì)有效蒸鍍區(qū)的拉伸力,從而改善上述褶皺問題,從而可改善子像素邊緣出現(xiàn)的邊緣混色現(xiàn)象,提高產(chǎn)品良率。

      附圖說(shuō)明

      為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

      圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩模片的結(jié)構(gòu)示意圖一;

      圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種褶皺釋放區(qū)的示意圖一;

      圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩模片的結(jié)構(gòu)示意圖二;

      圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種褶皺釋放區(qū)的示意圖二;

      圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩模片的結(jié)構(gòu)示意圖三;

      圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩模片的結(jié)構(gòu)示意圖四;

      圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種掩模片的結(jié)構(gòu)示意圖五。

      附圖說(shuō)明:

      10-切割線;20-掩模區(qū);21-有效蒸鍍區(qū);22-褶皺釋放區(qū);221-條形開口;30-夾具區(qū);31-夾具端部;L-切割線到有效蒸鍍區(qū)的距離;L1-褶皺釋放區(qū)到切割線的距離;L2-褶皺釋放區(qū)到有效蒸鍍區(qū)的距離;M-夾具端部沿垂直拉伸方向的寬度;N-褶皺釋放區(qū)沿垂直拉伸方向的寬度。

      具體實(shí)施方式

      下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

      本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種掩模片,如圖1所示,包括通過切割線10劃分的掩模區(qū)20以及夾具區(qū)30,掩模區(qū)20包括有效蒸鍍區(qū)21,夾具區(qū)30包括多個(gè)夾具端部31;進(jìn)一步的,掩模區(qū)20還包括:設(shè)置在有效蒸鍍區(qū)21靠近夾具區(qū)30一側(cè)的多個(gè)褶皺釋放區(qū)22;如圖2所示,褶皺釋放區(qū)22包括間隔排布的多個(gè)條形開口221,所述條形開口221的長(zhǎng)度方向與拉伸方向非平行。

      優(yōu)選的,褶皺釋放區(qū)22中的條形開口221均勻排布。

      進(jìn)一步的,優(yōu)選上述條形開口221為狹長(zhǎng)狀條形開口。

      需要說(shuō)明的是,第一,不對(duì)夾具區(qū)30的夾具端部31的個(gè)數(shù)進(jìn)行限定,圖1中僅以兩側(cè)分別具有兩個(gè)夾具端部31進(jìn)行示意,本實(shí)用新型實(shí)施例可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定。

      第二,一個(gè)所述掩模片上可以包括一個(gè)有效蒸鍍區(qū),此時(shí),一個(gè)所述掩模片可用于對(duì)一個(gè)待蒸鍍基板進(jìn)行蒸鍍。當(dāng)然,一個(gè)所述掩模片也可以包括多個(gè)有效蒸鍍區(qū)21,此時(shí),一個(gè)所述掩模片可用于對(duì)多個(gè)待蒸鍍基板同時(shí)進(jìn)行蒸鍍。

      其中,有效蒸鍍區(qū)21具有多個(gè)蒸鍍開口,用于形成預(yù)定圖案。

      第三,條形開口221的數(shù)量越多,褶皺釋放區(qū)22緩解褶皺的能力越強(qiáng);條形開口221的長(zhǎng)度越長(zhǎng),褶皺釋放區(qū)22緩解褶皺的能力越強(qiáng)。基于此,可基于所述掩模片可能出現(xiàn)的褶皺大小,來(lái)設(shè)計(jì)褶皺釋放區(qū)22的形狀以及褶皺釋放區(qū)22中條形開口221的個(gè)數(shù)。

      第四,條形開口221的長(zhǎng)度方向與拉伸方向非平行,即條形開口221的長(zhǎng)度沿垂直于拉伸方向上具有一定的分量,且所述分量越大,褶皺釋放區(qū)22緩解褶皺的能力越強(qiáng),當(dāng)條形開口221的長(zhǎng)度方向與拉伸方向垂直時(shí),所述分量達(dá)到最大,此時(shí)褶皺釋放區(qū)22緩解褶皺的能力越強(qiáng)。因此,優(yōu)選的,條形開口221的長(zhǎng)度方向與拉伸方向趨于垂直。

      本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種掩模片,由于通過夾具端部31施加在所述掩模片上的拉力,容易導(dǎo)致有效蒸鍍區(qū)21受力不均,進(jìn)而容易形成褶皺,在掩模片上表現(xiàn)為在垂直于拉伸方向的截面上具有一定的突起,因此,本實(shí)用新型實(shí)施例通過在所述有效蒸鍍區(qū)21靠近夾具區(qū)30一側(cè)設(shè)置褶皺釋放區(qū)22,并使所述褶皺釋放區(qū)22中條形開口221的長(zhǎng)度方向與拉伸方向非平行,即條形開口221的長(zhǎng)度沿垂直于拉伸方向上具有一定的分量,可以緩解對(duì)有效蒸鍍區(qū)21的拉伸力,從而改善上述褶皺問題,從而可改善子像素邊緣出現(xiàn)的邊緣混色現(xiàn)象,提高產(chǎn)品良率。

      考慮到通常情況下,對(duì)于所述掩模片頂角位置處的夾具端部31,施加在其上的拉力相對(duì)較大,因而相對(duì)其他位置的夾具端部31,對(duì)于所述掩模片頂角位置處的夾具端部31,更容易產(chǎn)生褶皺?;诖耍瑑?yōu)選的,針對(duì)所述掩模片頂角位置處的任一個(gè)夾具端部31,掩模區(qū)20的靠近所述夾具端部31設(shè)置有一個(gè)褶皺釋放區(qū)22。

      隨著顯示面板像素分辨率的逐漸提高,由之前的qHD(分辨率為960*540的顯示面板)版本逐漸向QHD(分辨率為2560*1440的顯示面板)版本甚至UHD(分辨率為3840*2160的顯示面板)版本過渡,使得對(duì)所述掩模片的設(shè)計(jì)精度要求越來(lái)越高,導(dǎo)致所述掩模片的有效蒸鍍區(qū)21的開口率越來(lái)越大,從而使所述掩模片本身受力能力逐漸減弱。

      相應(yīng)的在用張網(wǎng)機(jī)固定所述掩模片時(shí)所使用的拉力也逐漸減弱。例如用于制作5.0英寸qHD版本顯示面板的掩模片,其所能承受的張網(wǎng)拉力為3.6kgf,用于制作5.0英寸QHD版本顯示面板的掩模片,其所能承受的張網(wǎng)拉力為0.8kgf,用于制作5.0英寸UHD版本顯示面板的掩模片,其所能承受的張網(wǎng)拉力為0.35kgf。

      其中,用于制作qHD版本顯示面板的掩模片,其有效蒸鍍區(qū)的蒸鍍開口可制作成條形,當(dāng)將條形的蒸鍍開口的長(zhǎng)度方向趨于拉伸方向設(shè)置時(shí),本身該掩模片不容易出現(xiàn)褶皺問題。若將條形的蒸鍍開口的長(zhǎng)度方向趨于垂直拉伸方向設(shè)置時(shí),巨大的拉力導(dǎo)致掩模片產(chǎn)生極大的形變,即使設(shè)置褶皺釋放區(qū)22,對(duì)褶皺的改善能力也很有限。

      而用于制作QHD版本顯示面板和UHD版本顯示面板的掩模片,由于拉力較小,對(duì)掩模片的形變影響很小,設(shè)置褶皺釋放區(qū)22對(duì)褶皺的改善能力較大,因此,優(yōu)選所述掩模片用于制作QHD版本顯示面板和UHD版本顯示面板,即,優(yōu)選有效蒸鍍區(qū)21中的蒸鍍開口的形狀為孔型。

      優(yōu)選的,如圖1和圖2所示,褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的拐角處為弧形形狀。

      相對(duì)褶皺釋放區(qū)22外圍輪廓的拐角處為折線,在折點(diǎn)附近容易形成明顯的突起,本實(shí)用新型實(shí)施例通過將拐角處的形狀設(shè)置為弧形形狀,可避免形成突起,從而可避免由于突起而導(dǎo)致的陣列基板與封裝基板對(duì)盒時(shí)造成封裝基板碎裂的問題。

      優(yōu)選的,如圖2所示,褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的長(zhǎng)度方向趨于拉伸方向。

      其中,x方向?yàn)槔旆较颍瑈方向垂直拉伸方向。

      由于在實(shí)測(cè)中發(fā)現(xiàn),當(dāng)將褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的長(zhǎng)度方向趨于y方向時(shí),在褶皺釋放區(qū)22外圍輪廓沿y方向的兩個(gè)端點(diǎn)可能產(chǎn)生其他較大褶皺,而將褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的長(zhǎng)度方向趨于x方向時(shí),則在褶皺釋放區(qū)22外圍輪廓沿y方向的兩個(gè)端點(diǎn)不會(huì)產(chǎn)生褶皺,因此本實(shí)用新型實(shí)施例優(yōu)選褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的長(zhǎng)度方向趨于x方向。

      在此基礎(chǔ)上,由于條形開口221的長(zhǎng)度越長(zhǎng),褶皺釋放區(qū)22緩解褶皺的能力越強(qiáng),因此,可根據(jù)所述掩模片可能出現(xiàn)的褶皺大小,來(lái)調(diào)整褶皺釋放區(qū)22沿y方向的最大寬度。只需保證褶皺釋放區(qū)22沿y方向的最大寬度小于褶皺釋放區(qū)22沿x方向的最大長(zhǎng)度即可。

      進(jìn)一步優(yōu)選的,褶皺釋放區(qū)22沿x方向的最大長(zhǎng)度大于2倍的褶皺釋放區(qū)22沿y方向的最大寬度。

      優(yōu)選的,如圖3和圖4所示,褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的形狀為橢圓形。

      采用橢圓形的褶皺釋放區(qū)22,使整個(gè)褶皺釋放區(qū)22由圓滑的曲線構(gòu)成,可進(jìn)一步減小突起的形成。此外,將褶皺釋放區(qū)22的外圍輪廓的形狀設(shè)置為橢圓形,容易將外圍輪廓形狀制作成狹長(zhǎng)形,從而保證其長(zhǎng)度方向趨于拉伸方向,避免產(chǎn)生其他較大的褶皺。

      優(yōu)選的,如圖5所示,褶皺釋放區(qū)22到切割線10的距離L1大于等于0.25L,褶皺釋放區(qū)22到有效蒸鍍區(qū)21的距離L2大于等于0.25L;其中,L為切割線10到有效蒸鍍區(qū)21的距離。

      本實(shí)用新型實(shí)施例通過將褶皺釋放區(qū)22到切割線10的距離L1設(shè)定為大于等于0.25L,可避免由于褶皺釋放區(qū)22距離切割線10太近,而導(dǎo)致褶皺釋放區(qū)22周圍可能產(chǎn)生的褶皺對(duì)切割線的影響,從而避免后期切割時(shí)可能出現(xiàn)的誤差。將褶皺釋放區(qū)22到有效蒸鍍區(qū)21的距離L2設(shè)定為大于等于0.25L,可避免由于褶皺釋放區(qū)22距離有效蒸鍍區(qū)21太近,而導(dǎo)致褶皺釋放區(qū)22周圍可能產(chǎn)生的褶皺對(duì)有效蒸鍍區(qū)21帶來(lái)不利的影響。

      優(yōu)選的,如圖1、圖3和圖6所示,褶皺釋放區(qū)22與夾具端部31一一對(duì)應(yīng)。

      所述掩模片通過夾具端部31固定在張網(wǎng)機(jī)上,每個(gè)夾具端部31均會(huì)被施加一定的拉力,基于此,本實(shí)用新型實(shí)施例通過在每個(gè)夾具端部31對(duì)應(yīng)的位置均設(shè)置一個(gè)褶皺釋放區(qū)22,可使掩模片固定在張網(wǎng)機(jī)上時(shí),由于拉力帶來(lái)的所有褶皺均得到有效緩解。

      優(yōu)選的,褶皺釋放區(qū)22沿拉伸方向的中線與夾具端部31沿拉伸方向的中心線在一條直線上。這樣,可使褶皺釋放區(qū)22更均勻的對(duì)施加在夾具端部31的拉伸進(jìn)行釋放。

      基于上述,如圖5所示,當(dāng)掩模片的夾具端部31較少時(shí),夾具端部31沿垂直拉伸方向的寬度M較大,使拉力分散的更開,掩模片由于拉伸而產(chǎn)生的褶皺較小,在此情況下,優(yōu)選褶皺釋放區(qū)22沿垂直拉伸方向的寬度N接近但小于夾具端部31沿垂直拉伸方向的寬度M,這樣,可使整個(gè)褶皺釋放區(qū)22都能受力,從而最大程度上發(fā)揮褶皺釋放區(qū)22的作用。

      如圖7所示,當(dāng)掩模片的夾具端部31較多時(shí),每個(gè)夾具端口31沿垂直拉伸方向的寬度M均會(huì)相應(yīng)的變短,使拉力更為集中,從而導(dǎo)致掩模片由于拉力產(chǎn)生的褶皺較大,此時(shí),若使褶皺釋放區(qū)22沿垂直拉伸方向的寬度N過小,將不足以有效的緩解所述掩模片的褶皺,因此可以使褶皺釋放區(qū)22沿垂直拉伸方向的寬度N大于夾具端部31沿垂直拉伸方向的寬度M。

      本實(shí)用新型提供一種掩模板,包括框架,以及固定于所述框架上的上述掩模片。

      其中,上述掩模片通過焊接工藝固定在所述框架上。

      本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種掩模板,由于通過夾具端部31施加在所述掩模片上的拉力,容易導(dǎo)致有效蒸鍍區(qū)21受力不均,進(jìn)而容易形成褶皺,在掩模片上表現(xiàn)為在垂直于拉伸方向的截面上具有一定的突起,因此,本實(shí)用新型實(shí)施例通過在所述有效蒸鍍區(qū)21靠近夾具區(qū)30一側(cè)設(shè)置褶皺釋放區(qū)22,并使褶皺釋放區(qū)22中條形開口221的長(zhǎng)度方向與拉伸方向非平行,即條形開口221的長(zhǎng)度沿垂直于拉伸方向上具有一定的分量,可以緩解對(duì)有效蒸鍍區(qū)21的拉伸力,從而改善上述褶皺問題,從而可改善子像素邊緣出現(xiàn)的邊緣混色現(xiàn)象,提高產(chǎn)品良率。

      優(yōu)選的,沿掩模片上的切割線10,夾具區(qū)30被切除。

      在所述框架上固定好掩模片后,沿掩模片的切割線10將上述掩模片的夾具區(qū)30切掉,得到可進(jìn)入蒸鍍腔用于蒸鍍的掩模板。

      以上所述,僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式,但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。

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