本實用新型涉及有機顯示器件制造技術(shù)領域，特別是涉及一種掩膜板支撐組件及掩膜裝置。

背景技術(shù)：

在平板顯示領域中，有機電致發(fā)光(OLED，Organic Light-Emitting Diode)器件具有自發(fā)光、反應時間快、視角廣、成本低、制造工藝簡單、分辨率佳及高亮度等多項優(yōu)點，被認為是下一代的平面顯示器的新興應用技術(shù)。其中，主動式OLED(Active Martix OLED，AMOLED)，通過在每個像素中集成薄膜晶體管(TFT)和電容器，并由電容器維持電壓的方法進行驅(qū)動，實現(xiàn)了顯示面板的大尺寸及高分辨率，成為當前研究的重點及未來顯示技術(shù)的發(fā)展方向。

目前，AMOLED在產(chǎn)品實現(xiàn)方面，需要使用掩膜裝置對玻璃基板進行蒸鍍，掩膜裝置包含框架、支撐條、精細掩膜條以及遮擋條等眾多組件。在蒸鍍過程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色是AMOLED產(chǎn)生混色的主要原因，直接影響了AMOLED量產(chǎn)良率的大小。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

基于此，有必要針對玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色的技術(shù)問題，提供一種掩膜板支撐組件及包含所述掩膜框架的掩膜裝置。

一種掩膜板支撐組件，包括支撐框架及若干支撐條，所述支撐條設置于所述支撐框架上，所述支撐框架包括至少兩個相對設置的支架，相對設置的兩個所述支架分別具有支撐面，兩個所述支撐面靠近所述支撐框架的中部的一側(cè)分別開設有若干凹槽，且兩個所述支撐面的所述凹槽一一對齊，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側(cè)的一端逐漸減小，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側(cè)，且每一所述支撐條對齊于兩個對齊的所述凹槽所在的直線。

在其中一個實施例中，所述凹槽包括第一槽部和第二槽部，所述第一槽部和所述第二槽部連通，所述第一槽部具有第一槽底，所述第二槽部具有第二槽底，所述第一槽底與所述支撐面平行，所述第二槽底靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側(cè)的一端逐漸向所述支撐面傾斜。

在其中一個實施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之間的夾角為鈍角。

在其中一個實施例中，所述第一槽底和所述第二槽底之間的夾角為140°～160°。

在其中一個實施例中，所述第二槽底與所述支撐面的連接處設置為曲面結(jié)構(gòu)。

在其中一個實施例中，所述支撐條垂直于所述支架。

在其中一個實施例中，所述支撐面上設置有若干凸起部，所述凸起部設置于所述支撐面遠離所述凹槽的一側(cè)，且每一所述凸起部對齊于一所述凹槽，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述凸起部上。

在其中一個實施例中，同一所述支撐面上的所述凸起部凸起于所述支撐面的高度相異。

在其中一個實施例中，同一所述支撐面上的所述凸起部凸起于所述支撐面的高度相同。

一種掩膜裝置，包括多根精細掩膜條、多根遮擋條及上述任一實施例中所述的掩膜板支撐組件，所述精細掩膜條及所述遮擋條設置于所述支撐框架上，且一所述遮擋條設置于兩個所述精細掩膜條之間。

上述掩膜板支撐組件及掩膜裝置，所述掩膜板支撐組件中，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側(cè)，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側(cè)的一端逐漸減小，抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于支撐面的高度，抬高的高度彌補玻璃基板在豎直方向上的下垂量，從而很好地減小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙，從而避免了玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色。

附圖說明

圖1為一個實施例中掩膜板支撐組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中A處的放大圖；

圖3為一個實施例中凹槽的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為一個實施例中掩膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式做詳細的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型。但是本實用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似改進，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。

需要說明的是，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本實用新型的描述中，“若干”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。

此外，當元件被稱為“固定于”或“設置于”另一個元件，它可以直接在另一個元件上或者也可以存在居中的元件。

例如，一種掩膜板支撐組件，包括支撐框架及若干支撐條，所述支撐條設置于所述支撐框架上，所述支撐框架包括至少兩個相對設置的支架，相對設置的兩個所述支架分別具有支撐面，兩個所述支撐面靠近所述支撐框架的中部的一側(cè)分別開設有若干凹槽，且兩個所述支撐面的所述凹槽一一對齊，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側(cè)的一端逐漸減小，每一所述支撐條的兩端分別至少部分抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側(cè)，且每一所述支撐條對齊于兩個對齊的所述凹槽所在的直線。

請一并參閱圖1及圖2，一實施例的掩膜板支撐組件10，包括支撐框架100及若干支撐條200，支撐條200設置于支撐框架100上。在蒸鍍過程中，所述支撐框架及所述支撐條用于支撐玻璃基板。

支撐框架100包括兩對相對設置的支架110，相對設置的兩個支架110分別具有支撐面120，兩個支撐面120靠近支撐框架100的中部的一側(cè)分別開設有若干凹槽130(被支撐條120遮擋)，且兩個支撐面120的凹槽130一一對齊，凹槽130的深度由靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側(cè)的一端逐漸減小，每一支撐條200的兩端分別抵接于支撐面120遠離凹槽130的一側(cè)，且每一支撐條200對齊于兩個對齊的凹槽130所在的直線。

凹槽130包括第一槽部131和第二槽部132，第一槽部131和第二槽部132連通，第一槽部131具有第一槽底133，第二槽部132具有第二槽底134，第一槽底133與支撐面120平行，第二槽底134靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側(cè)的一端逐漸向支撐面120傾斜，即當支撐框架100水平放置時，支撐面120水平設置，這時，第一槽部131在豎直方向上的平均深度大于第二槽部132在豎直方向上的平均深度，第二槽底134靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側(cè)的一端逐漸向上傾斜。

需要說明的是，在蒸鍍過程中，由于玻璃基板的自身重力，玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色是AMOLED產(chǎn)生混色的主要原因，直接影響了AMOLED量產(chǎn)良率的大小。

所述邊緣混色具體是指：當玻璃基板放置在所述掩膜板支撐組件上，玻璃基板與支撐框架的支撐面抵持時，玻璃基板由于自身重力在豎直方向上產(chǎn)生下垂形變，所述支撐框架到所述玻璃基板中心方向上的距離為1.5cm～2cm位置處產(chǎn)生的下垂形變，導致所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成間隙，所述間隙導致的混色被稱為邊緣混色。

為了更好地解決上述邊緣混色的問題，掩膜板支撐組件10中，每一支撐條200的兩端分別抵接于支撐面120遠離凹槽130的一側(cè)，且每一支撐條200對齊于兩個對齊的凹槽130所在的直線，即，每一所述支撐條的兩端分別設置于所述支撐面上，所述支撐條面向所述支撐面的一面覆蓋所述凹槽，且所述支撐條的兩端沿遠離所述凹槽的方向延伸。傳統(tǒng)的掩膜板支撐組件中，由于支撐條設置于凹槽內(nèi)，致使支撐條背向支撐面的一面在豎直方向上高度低于支撐面，而本實施例的所述支撐條背向所述支撐面的一面在豎直方向上高于所述支撐面，相當于在豎直方向上抬高了所述支撐條相對于支撐面的高度。當玻璃基板放置在掩膜板支撐組件10上時，支撐框架100及支撐條200共同支撐玻璃基板，玻璃基板與支撐框架100的支撐面120抵持時，支撐條200的中部由于承受玻璃基板的重力而在豎直方向上產(chǎn)生向下的彎曲形變，支撐條200靠近玻璃基板的部分被壓入凹槽130內(nèi)，凹槽130的深度由靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側(cè)的一端逐漸減小，具體地，第二槽底134靠近支撐框架100的中部的一端向靠近支撐框架100外側(cè)的一端逐漸向支撐面120傾斜，第二槽底134對支撐條200起到很好的支撐作用，也避免了支撐條200設置于支撐面120上，造成支撐面120的表面出現(xiàn)凹凸不平，進而導致玻璃基板出現(xiàn)形變的問題發(fā)生。這樣，每一所述支撐條的兩端分別設置于所述支撐面上，在豎直方向上抬高了所述支撐條相對于所述支撐面的高度，進而抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于所述支撐面的高度，抬高的高度彌補了玻璃基板在豎直方向上的下垂量，從而，很好地縮小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成間隙的間隙值，較好地解決了玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色這一技術(shù)問題。

上述掩膜板支撐組件中，每一所述支撐條的兩端分別抵接于所述支撐面遠離所述凹槽的一側(cè)，所述凹槽的深度由靠近所述支撐框架的中部的一端向靠近所述支撐框架外側(cè)的一端逐漸減小，抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于所述支撐面的高度，抬高的所述高度用于彌補玻璃基板在豎直方向上的下垂形變，從而，很好地減小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙，較好的解決了玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色這一技術(shù)問題。

為了使得所述凹槽對所述支撐條起到更好的支撐作用，請參閱圖3，例如，第一槽底133和第二槽底134之間的夾角θ為鈍角。又如，第一槽底133和第二槽底134之間的夾角θ設置為140°～160°。由于第一槽底133與支撐面120平行，第一槽底133和第二槽底134之間的夾角即為第二槽底134與支撐面120之間的夾角，亦即，第二槽底134相對于支撐面120的傾斜角度，這樣，當夾角θ為鈍角時，第二槽底134相對于支撐面120的傾斜角度較大，能夠為支撐條提供更大面積的支撐表面，使得所述凹槽對所述支撐條起到更好的支撐作用。進一步地，又如，第二槽底134與支撐面120的連接處設置為曲面結(jié)構(gòu)，這樣，當支撐條200靠近玻璃基板的部分被壓入凹槽130內(nèi)時，能夠在第二槽底134與支撐面120的連接處為支撐條200提供緩和的接觸表面，使得所述凹槽對所述支撐條起到更好的支撐作用。

為了進一步縮小了玻璃基板與精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙，請參閱圖3，例如，支撐面120上設置有若干凸起部121，凸起部121設置于支撐面120遠離凹槽130的一側(cè)，且每一凸起部121對齊于一凹槽130，每一支撐條的兩端分別抵接于凸起部121上。這樣，在豎直方向上進一步抬高了所述支撐條相對于所述支撐面的高度，進而進一步抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于所述支撐面的高度，抬高的所述高度用于彌補玻璃基板在豎直方向上的下垂形變，從而，進一步縮小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙。此外，所述凸起部凸起于所述支撐面的高度根據(jù)不同的工藝條件能夠進行調(diào)整，例如，當所述凸起部凸起于所述支撐面的高度設定為預設高度，使得所述支撐條的中部由于承受玻璃基板的重力而在豎直方向上產(chǎn)生向下的彎曲形變，所述支撐條靠近玻璃基板的部分被壓入所述凹槽內(nèi)時，所述支撐條靠近玻璃基板的部分所在的平面與所述支撐面平齊。這樣，進一步縮小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處形成的間隙。

例如，所述凸起部與所述支撐面一體成型，使得多個所述凸起部的位置更加精準。例如，同一所述支撐面上的所述凸起部的高度相同或相異；又如，同一所述支撐面上的各所述凸起部凸起于所述支撐面的高度相異；又如，同一所述支撐面上的各所述凸起部凸起于所述支撐面的高度相同，使得所述凸起部的設計能夠根據(jù)不同的工藝進行調(diào)整，拓展所述掩膜板支撐組件的使用范圍。又如，所述凸起部具有接觸面，每一所述支撐條的兩端分別抵接于所述接觸面上，又如，所述接觸面為矩形，又如，所述接觸面為圓形，使得所述凸起部能夠為所述支撐條提供較大的抵接表面。

為了提高所述支撐條與所述支撐面連接的牢固度，例如，所述支撐條焊接在所述支撐面上。又如，所述支撐條與所述支撐面之間設置有膠黏層，所述支撐條通過所述黏膠層與所述支撐面固定連接。這樣，能夠提高所述支撐條與所述支撐面連接的牢固度。

為了提高所述掩膜板支撐組件的結(jié)構(gòu)緊湊度，例如，所述支撐框架為矩形，所述支撐框架包括兩組相對設置的支架，即每組支架包括兩個支架，每組支架中的兩個支架相互平行，一組支架垂直于另一組支架，四個支架首尾連接形成矩形的支撐框架。又如，該支撐框架為多邊形，該支撐框架為正多邊形，該正多邊形的支撐框架具有多組支架，每組的兩個支架相互平行且相對設置。又如，該支撐框架為圓形，該支撐框架包括多段首尾連接弧形架，例如，多段弧形架一體連接，相對設置的兩段弧形架上設置有支撐條。又如，所述支撐條垂直于所述支架。又如，每一所述支撐面的多個所述凹槽間隔設置。又如，多根所述支撐條平行設置。又如，多根所述支撐條間隔設置。又如，多根所述支撐條之間的間隔距離相等。又如，多根所述支撐條縱向平行設置于所述支撐面上。又如，多根所述支撐條橫向平行設置于所述支撐面上。這樣，能夠提高所述掩膜板支撐組件的結(jié)構(gòu)緊湊度。

請參閱圖4，掩膜裝置20，包括多根精細掩膜條300、多根遮擋條400及上述任一實施例中所述的掩膜板支撐組件10，精細掩膜條300及遮擋條400設置于支撐框架100上，且遮擋條400設置于兩個精細掩膜條300之間。

具體地，支撐框架100包括第一組支撐件101及第二組支撐件102，第一組支撐件101包括兩個相對設置的支架110，相對設置的兩個支架110分別具有支撐面120，每一支撐條200的兩端分別抵接于支撐面120遠離凹槽130的一側(cè)；第二組支撐件102包括兩個相對設置的支架103，相對設置的兩個支架103分別具有支撐面104，每一精細掩膜條300的兩端及每一遮擋條400的兩端分別抵接于支撐面104上，遮擋條400設置于兩個精細掩膜條300之間，支撐面120及支撐面104在同一水平面上，精細掩膜條300及遮擋條400設置于支撐條200之上。

這樣，每一所述支撐條的兩端分別設置于所述支撐面上，在豎直方向上抬高了所述支撐條相對于所述支撐面的高度，進而抬高了玻璃基板在豎直方向上相對于所述支撐面的高度，抬高的所述高度用于彌補玻璃基板在豎直方向上的下垂形變，從而，很好地減小了所述玻璃基板與所述精細掩膜條之間在邊緣處的間隙，較好的解決了玻璃基板與精細掩膜條貼合時產(chǎn)生的下垂所導致的掩膜板支撐組件邊緣混色這一技術(shù)問題，使得所述掩膜裝置的設計更加合理，進而提高AMOLED量產(chǎn)良率。

需要說明的是，在進行蒸鍍的過程中，根據(jù)具體地工藝參數(shù)，所述精細掩膜條、所述遮擋條及所述支撐條的數(shù)量能夠靈活地進行調(diào)整，本實用新型并不對所述精細掩膜條、所述遮擋條及所述支撐條的數(shù)量進行限制。

以上所述實施例的各技術(shù)特征可以進行任意的組合，為使描述簡潔，未對上述實施例中的各個技術(shù)特征所有可能的組合都進行描述，然而，只要這些技術(shù)特征的組合不存在矛盾，都應當認為是本說明書記載的范圍。

以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對實用新型專利范圍的限制。應當指出的是，對于本領域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應以所附權(quán)利要求為準。