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      一種新型鍍膜石墨舟的制作方法

      文檔序號(hào):11366479閱讀:1144來(lái)源:國(guó)知局
      一種新型鍍膜石墨舟的制造方法與工藝

      本實(shí)用新型涉及一種石墨舟,特別涉及一種新型鍍膜石墨舟。



      背景技術(shù):

      太陽(yáng)能電池的制造需要經(jīng)過(guò)制絨、擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)這六大工序。其中,鍍膜工序是采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法在硅片正面鍍氮化硅膜,以減少太陽(yáng)光反射以及對(duì)硅片表面起鈍化作用。硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí),需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上,目前,載片器通常采用石墨舟,一般是操作人員將花籃中的硅片插入專門的石墨舟或者通過(guò)自動(dòng)上下料機(jī)將硅片插入專門的石墨舟,具體操作過(guò)程是:將硅片插入石墨舟并通過(guò)固定卡點(diǎn)定位于其上,然后,將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中,采用PECVD工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。

      現(xiàn)有的石墨舟一般采用3個(gè)固定卡點(diǎn)卡住硅片的三條邊,將硅片固定住。但是,在鍍膜過(guò)程中,卡點(diǎn)會(huì)阻擋氮化硅膜的沉積,導(dǎo)致硅片上的卡點(diǎn)處鍍膜厚度不夠,形成色差,降低電池外觀良品率和電池的光電轉(zhuǎn)換效率。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠提高電池外觀良品率、提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率的新型鍍膜石墨舟,克服傳統(tǒng)鍍膜石墨舟的卡點(diǎn)處鍍膜不均的缺陷。

      本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下的技術(shù)措施來(lái)實(shí)現(xiàn):一種新型鍍膜石墨舟,其特征在于:它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數(shù)個(gè)單元舟片組成,所述單元舟片為豎向設(shè)置的片狀體,相鄰的單元舟片之間具有間隙,所述絕緣棒于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起,位于兩外側(cè)的單元舟片的內(nèi)外表面上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽,位于每個(gè)外側(cè)單元舟片內(nèi)外表面上的凹槽相對(duì)應(yīng),在凹槽的槽底面上設(shè)有貫通該對(duì)應(yīng)凹槽的用于抽真空的細(xì)孔,位于中間的單元舟片上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔,在所述凹槽和通孔的周邊區(qū)域中設(shè)有用于固定硅片的卡點(diǎn),所述卡點(diǎn)主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部、一對(duì)卡塊和安裝軸組成,所述安裝軸連接安裝部和卡塊,在安裝部和卡塊之間形成用于卡合硅片的卡口,所述卡塊為中空的三角形塊狀體或中空的圓柱形塊狀體,所述安裝軸連接在卡塊的內(nèi)頂面上,在所述安裝軸與卡塊的內(nèi)壁之間設(shè)有連接桿,所述卡塊不遮擋硅片表面相對(duì)應(yīng)的區(qū)域以便鍍膜均勻。

      本實(shí)用新型的卡點(diǎn)不同于傳統(tǒng)石墨舟上的圓柱形實(shí)心卡點(diǎn),由于卡塊是中空的,因此,可以減少硅片卡點(diǎn)處的遮擋面積,減少硅片的劃傷,改善鍍膜均勻性,提升太陽(yáng)能電池的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。另外,本實(shí)用新型由在水平方向上排布的若干個(gè)單元舟片組成,在單元舟片上設(shè)有呈陣列排布的若干個(gè)凹槽和通孔,可以根據(jù)鍍膜工藝的實(shí)際情況和需要,調(diào)整待鍍膜硅片在單元舟片上的陣列分布,從而提高硅片鍍膜的均勻性。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述凹槽和通孔的口緣形狀為正方形四個(gè)邊角圓弧過(guò)渡的形狀,主要由頂邊、底邊和兩條側(cè)邊組成,所述卡點(diǎn)為3個(gè)且位于凹槽和通孔的周邊區(qū)域中并分別靠近底邊和側(cè)邊。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述單元舟片的數(shù)量為2~50,相鄰單元舟片之間的間距為5~50mm。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述中空的圓柱形塊狀體的直徑為5~10mm。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述中空的圓柱形塊狀體的厚度是2~8mm。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述中空的三角形塊狀體的橫截面為等邊三角形,其邊長(zhǎng)為2~8mm。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述中空的三角形塊狀體的厚度為1~5mm。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,卡塊的中空部分在硅片上的正投影區(qū)域的長(zhǎng)度為1~7mm。

      作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式,所述絕緣棒采用陶瓷棒,也可以采用其它絕緣材料制成。

      與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有以下顯著的優(yōu)點(diǎn):

      ⑴本實(shí)用新型的卡點(diǎn)不同于傳統(tǒng)石墨舟上的圓柱形實(shí)心卡點(diǎn),由于卡塊是中空的,因此,可以減少硅片卡點(diǎn)處的遮擋面積,減少硅片的劃傷,改善鍍膜均勻性,提升太陽(yáng)能電池的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。

      ⑵本實(shí)用新型由在水平方向上排布的若干個(gè)單元舟片組成,在單元舟片上設(shè)有呈陣列排布的若干個(gè)凹槽和通孔,可以根據(jù)鍍膜工藝的實(shí)際情況和需要,調(diào)整待鍍膜硅片在單元舟片上的陣列分布,從而提高硅片鍍膜的均勻性。

      ⑶本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,容易實(shí)現(xiàn),實(shí)用性強(qiáng),適于廣泛推廣和適用。

      附圖說(shuō)明

      以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

      圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的整體結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例1位于中間的單元舟片的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例1卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖;

      圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例2卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖。

      具體實(shí)施方式

      實(shí)施例1

      如圖1~3所示,是本實(shí)用新型一種新型鍍膜石墨舟1,它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數(shù)個(gè)單元舟片組成,單元舟片為豎向設(shè)置的片狀體,單元舟片的數(shù)量為2~50,在本實(shí)施例中,單元舟片的數(shù)量為四個(gè)。相鄰的單元舟片之間具有間隙,相鄰單元舟片之間的間距為5~50mm。絕緣棒采用陶瓷棒3,陶瓷棒3于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起,陶瓷棒3的兩端由固定部件9固定在位于兩外側(cè)的單元舟片21的外表面上。位于兩外側(cè)的單元舟片21的內(nèi)外表面上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽4,位于每個(gè)外側(cè)單元舟片21內(nèi)外表面上的凹槽4相對(duì)應(yīng),在凹槽4的槽底面上設(shè)有貫通該對(duì)應(yīng)凹槽4的用于抽真空的細(xì)孔5,位于中間的單元舟片22上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔6,在凹槽4和通孔6的周邊區(qū)域中設(shè)有用于固定硅片的卡點(diǎn)7,凹槽4和通孔6的口緣形狀為正方形四個(gè)邊角弧形過(guò)渡的形狀,主要由頂邊、底邊和兩條側(cè)邊組成,卡點(diǎn)7為3個(gè)且位于凹槽4和通孔6的周邊區(qū)域中并分別靠近底邊和側(cè)邊。卡點(diǎn)7主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部71、一對(duì)卡塊72和安裝軸73組成,安裝軸73連接安裝部71和卡塊72,在安裝部71和卡塊72之間形成用于卡合硅片的卡口,卡塊72為中空的圓柱形塊狀體,安裝軸73連接在卡塊72的內(nèi)頂面上,在安裝軸73與卡塊72的內(nèi)壁之間設(shè)有連接桿74,在本實(shí)施例中,連接桿為四根,沿著安裝軸72圓周呈均勻分布,在其它實(shí)施例中,連接桿至少為一對(duì)對(duì)稱的連接桿,中空的圓柱形塊狀體不遮擋硅片表面相對(duì)應(yīng)的區(qū)域以便鍍膜均勻。中空的圓柱形塊狀體的直徑為5~10mm。中空的圓柱形塊狀體的厚度是2~8mm??▔K72的中空部分在硅片上的正投影區(qū)域的長(zhǎng)度為1~7mm。

      實(shí)施例2

      如圖4所示,本實(shí)施例與實(shí)施例1的區(qū)別之處在于:卡塊72為中空的三角形塊狀體,連接桿74為三根,在本實(shí)施例中,連接桿74連接至中空的三角形塊狀體的三個(gè)邊角部位,在其它實(shí)施例中,連接桿可以連接至中空的三角形塊狀體的三個(gè)側(cè)壁上。中空的三角形塊狀體的橫截面為等邊三角形,其邊長(zhǎng)為2~8mm。中空的三角形塊狀體的厚度為1~5mm。

      本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此,根據(jù)本實(shí)用新型的上述內(nèi)容,按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識(shí)和慣用手段,在不脫離本實(shí)用新型上述基本技術(shù)思想前提下,本實(shí)用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更,均落在本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。

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