1.一種氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜,其特征在于,其制備方法如下:利用磁控濺射,以氧化鋅為靶材,并以混合有氫氣和/或水蒸氣的惰性氣體為濺射氣體,通過將濺射氣體中氫氣、水蒸氣的總體積占比控制為2~10%,并控制濺射氣壓為0.2~1.2pa,濺射功率密度為3.0~5.0w·cm-2,即可在襯底上沉積得到氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜;
2.如權(quán)利要求1所述氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜,其特征在于,室溫下,所述透明導(dǎo)電薄膜的載流子遷移率高于35cm2·v-1·s-1,方阻低于30ω·sq-1。
3.如權(quán)利要求1所述氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜,其特征在于,所述透明導(dǎo)電薄膜厚度為100~800nm。
4.如權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
5.如權(quán)利要求4所述制備方法,其特征在于,所述濺射時(shí)間為30~120分鐘,相應(yīng)得到的透明導(dǎo)電薄膜厚度為100~800nm。
6.如權(quán)利要求4所述制備方法,其特征在于,所述惰性氣體為氬氣、氦氣中的至少一種。
7.如權(quán)利要求4所述制備方法,其特征在于,磁控濺射過程中,襯底溫度為20~60℃。
8.如權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜作為0.78μm~2.50μm波段透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用,其特征在于,該氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜在0.78μm~2.50μm波段的透過率不低于70%。
9.如權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜作為0.38μm~0.78μm波段透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用,其特征在于,該氫摻雜氧化鋅可見-近紅外透明導(dǎo)電薄膜在0.38μm~0.78μm波段的透過率不低于60%。