一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]藍寶石(AL203)為六方對稱結(jié)構(gòu)，它作為最硬的氧化物晶體，具備優(yōu)良的光化學和物理性能。機械強度高，耐化學腐蝕，有較好的導(dǎo)熱性、熱穩(wěn)定性，透光波段寬，是理想的窗口襯底基本材料，另外，它具有電絕緣性，化學性能穩(wěn)定，漏電容和寄生電容小，是極好的半導(dǎo)體、超導(dǎo)襯底材料。
[0003]作為襯底用的藍寶石晶體基片一般為2英寸，4英寸等。用作半導(dǎo)體襯底的光學藍寶石晶體基片對其表面有很高的要求，包括片面度，平行度達到0.005mm,光潔度達到0.5nm0
[0004]傳統(tǒng)單面拋光機如圖1所示，主要包括1-氣缸，2-上盤，3-工件，4-下磨盤，5-機架，6-驅(qū)動，7-主軸，其原理是被加工件3貼合在上盤盤面上，上盤2和下盤4以相同的方向轉(zhuǎn)動，工件3的下表面就與下盤4均勻的摩擦。利用這種原理可以對工件的表面進行化學機械拋光。傳統(tǒng)單面拋光機的上磨盤不帶驅(qū)動，或帶有獨立驅(qū)動的結(jié)構(gòu)不夠完美，導(dǎo)致成本過高，或者清洗不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對上述問題中存在的不足之處，本發(fā)明提供一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，包括:
[0007]支撐架，所述支撐架上部安裝有氣缸，所述支撐架中部設(shè)有連接體，所述支撐架下部安裝有軸承座一，所述軸承座一上安裝有主軸；
[0008]所述連接體上安裝有電機安裝板與軸承，所述電機安裝板上安裝有電機，所述電機的主軸上安裝有主動齒輪；
[0009]所述主軸上部安裝有與所述主動齒輪相配合的被動齒輪，所述主軸中部套有滾子軸承，所述主軸下部套固有連接盤，所述連接盤下部安裝有軸承座二，所述連接盤與所述軸承座二之間的空隙處安裝有鍵塊，所述軸承座二內(nèi)部安裝有調(diào)心軸承，所述軸承座二下端安裝有上磨盤。
[0010]作為本發(fā)明進一步改進，所述氣缸上的氣缸桿與所述連接體相連。
[0011]作為本發(fā)明進一步改進，所述軸承內(nèi)圈與所述主軸通過鎖緊螺母一固定，所述連接體與所述軸承外圈通過所述電機安裝板壓固。
[0012]作為本發(fā)明進一步改進，所述主軸與所述調(diào)心軸承的內(nèi)圈通過鎖緊螺母二固定；所述軸承座二與所述調(diào)心軸承的外圈通過端蓋壓固。
[0013]本發(fā)明的有益效果為:結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可提高工作效率，制造成本較低，方便清洗及維修等諸多優(yōu)點。
【附圖說明】
[0014]圖1為現(xiàn)有傳統(tǒng)單面拋光機的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本發(fā)明一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2中:1、支撐架；2、連接體；3、電機安裝板；4軸承；5、被動齒輪；6、主動齒輪；7、軸承座一 ；8、主軸；9、連接盤；10、調(diào)心軸承；11、上磨盤；12、鎖緊螺母二 ；13、端蓋；14、鍵塊；15、軸承座二 ；17、電機；18、鎖緊螺母一 ；19、氣缸。
【具體實施方式】
[0017]如圖2所示，本發(fā)明實施例所述的一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，包括:支撐架I，所述支撐架I上部安裝有氣缸19，所述支撐架I中部設(shè)有連接體2，所述支撐架I下部安裝有軸承座一 7，所述軸承座一 7上安裝有主軸8 ;所述連接體2上安裝有電機安裝板3與軸承4，所述電機安裝板3上安裝有電機17，所述電機17的主軸上安裝有主動齒輪6 ;所述主軸8上部安裝有與所述主動齒輪6相配合的被動齒輪5，所述主軸8中部套有滾子軸承16，所述主軸8下部套固有連接盤9，所述連接盤9下部安裝有軸承座二 15，所述連接盤9與所述軸承座二 15之間的空隙處安裝有鍵塊14，所述軸承座二 15內(nèi)部安裝有調(diào)心軸承10，所述軸承座二 15下端安裝有上磨盤11，所述氣缸19上的氣缸桿與所述連接體2相連。所述軸承4內(nèi)圈與所述主軸8通過鎖緊螺母一 18固定，所述連接體2與所述軸承4外圈通過所述電機安裝板3壓固。所述主軸8與所述調(diào)心軸承12的內(nèi)圈通過鎖緊螺母二 12固定；所述軸承座二 15與所述調(diào)心軸承12的外圈通過端蓋13壓固。結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可提高工作效率，制造成本較低，方便清洗及維修等諸多優(yōu)點。
[0018]具體使用時:氣缸19安裝在支撐架I上，氣缸桿與連接體2相連，連接體2上安裝有軸承4，軸承4內(nèi)圈通過鎖緊螺母18固定在主軸8上，電機安裝板3固定在連接體2上，電機17安裝于電機安裝板3，主動齒輪6安裝于電機主軸上，被動齒輪5固定在主軸8上面，如此氣缸19便可帶動連接體2做上下運動，連接體2便可通過軸承4帶動主軸8做上下運動并將氣缸的壓力傳遞給主軸8，電機17驅(qū)動主動齒輪做旋轉(zhuǎn)運動，主動齒輪6帶動被動齒輪5與主軸8做旋轉(zhuǎn)運動，這樣主軸8即可做上下的動作，也可做旋轉(zhuǎn)的動作。
[0019]主軸8穿過滾子軸承16，保證主軸即可做上下運動，同時也可做旋轉(zhuǎn)運動，并保證轉(zhuǎn)動精度，滾子軸承16安裝在軸承座7內(nèi)部固定，軸承座7與支撐架固定。
[0020]連接盤9與主軸8固定，連接盤9上安裝有鍵塊14，鍵塊14插入端蓋13的鍵槽中，端蓋13的鍵槽與鍵塊14留有一定的間隙，端蓋13與軸承座15相連，磨盤11安裝在軸承座15上，軸承座15與調(diào)心軸承10外圈固定，調(diào)心軸承10內(nèi)圈通過鎖緊螺母18固定連接在主軸8之上。如此主軸8的旋轉(zhuǎn)運動可以通過連接盤9和鍵塊14傳遞給端蓋13，使得端蓋13和軸承座15及磨盤11做旋轉(zhuǎn)運動，由于軸承座15中安裝有調(diào)心軸承10，因此軸承座15與磨盤11是可以浮動的，這樣可以保證與該機型的下磨盤表面貼合。
[0021]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，其特征在于，包括: 支撐架(I)，所述支撐架(I)上部安裝有氣缸(19)，所述支撐架(I)中部設(shè)有連接體(2)，所述支撐架(I)下部安裝有軸承座一(7)，所述軸承座一(7)上安裝有主軸(8)； 所述連接體(2)上安裝有電機安裝板(3)與軸承(4)，所述電機安裝板(3)上安裝有電機(17)，所述電機(17)的主軸上安裝有主動齒輪(6)； 所述主軸(8)上部安裝有與所述主動齒輪(6)相配合的被動齒輪(5)，所述主軸(8)中部套有滾子軸承(16)，所述主軸(8)下部套固有連接盤(9)，所述連接盤(9)下部安裝有軸承座二(15)，所述連接盤(9)與所述軸承座二(15)之間的空隙處安裝有鍵塊(14)，所述軸承座二(15)內(nèi)部安裝有調(diào)心軸承(10)，所述軸承座二(15)下端安裝有上磨盤(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，其特征在于:所述氣缸(19)上的氣缸桿與所述連接體(2)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，其特征在于:所述軸承(4)內(nèi)圈與所述主軸(8)通過鎖緊螺母一(18)固定，所述連接體(2)與所述軸承(4)外圈通過所述電機安裝板(3)壓固。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，其特征在于:所述主軸(8)與所述調(diào)心軸承(12)的內(nèi)圈通過鎖緊螺母二(12)固定；所述軸承座二(15)與所述調(diào)心軸承(12)的外圈通過端蓋(13)壓固。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種單面磨拋機上磨盤獨立驅(qū)動裝置，包括：支撐架，所述支撐架上部安裝有氣缸，所述支撐架中部設(shè)有連接體，所述支撐架下部安裝有軸承座一，所述軸承座一上安裝有主軸；所述連接體上安裝有電機安裝板與軸承，所述電機安裝板上安裝有電機，所述電機的主軸上安裝有主動齒輪；所述主軸中部套有滾子軸承，所述主軸下部套固有連接盤，所述連接盤下部安裝有軸承座二，所述連接盤與所述軸承座二之間的空隙處安裝有鍵塊，所述軸承座二內(nèi)部安裝有調(diào)心軸承，所述軸承座二下端安裝有上磨盤。發(fā)明的有益效果為：結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可提高工作效率，制造成較低，方便清洗及維修等諸多優(yōu)點。
【IPC分類】B24B47-14
【公開號】CN104551996
【申請?zhí)枴緾N201510036919
【發(fā)明人】岳偉, 陳志嵩, 楊華華
【申請人】常州貝斯塔德機械股份有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2015年1月24日