化學氣相沉積裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及微電子工藝設備技術領域，具體而言，涉及一種化學氣相沉積裝置。
【背景技術】
[0002]圖1示出了現(xiàn)有防止?jié)L輪膠圈沉積膜層的一種設計，設計原理是利用傳動軸氣缸3將傳動軸I全部退回至側(cè)壁小腔室5，再利用密封蓋氣缸4拉回密封蓋7密封小腔室，以達到密封的效果。上述技術方案在腔室焊接和加工上要求高，特別是在氬弧焊接過程中腔室側(cè)壁6的變形很不規(guī)則、很難控制。在加工側(cè)壁小腔室5中，需要挖空部分側(cè)壁，在加工過程中的機加讓刀也很難控制，一旦加工成型很難進行相應調(diào)節(jié)。同時，腔室側(cè)壁6局部變形會使安裝側(cè)壁小腔室5很難安裝，修補尺寸后會使整個傳動軸的安裝精度降低，傳動穩(wěn)定性降低，還會縮短磁流體使用壽命，加大了設備的維護成本。
[0003]現(xiàn)有技術中的LPCVD設備是利用低壓化學反應沉積的方法在基片襯底上沉積膜層，通入適量配比的工藝氣體，基片通過加熱裝置來調(diào)節(jié)適合工藝的溫度，通過真空系統(tǒng)進行壓力調(diào)節(jié)控制。當壓力控制達到反應壓力后，所通入的工藝氣體將進行化學反應，在襯底基片上沉積特定的膜層。在反應過程中，膠圈2和傳動軸I暴露在反應腔室內(nèi)，在膠圈2、滾輪和傳動軸I上會不斷的沉積膜層，當膜層達到一定厚度后會脫落，直接回掉落到基片上，影響基片沉積。同時基片在膠圈2上傳送，而膜層增厚會影響基片的傳送效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的在于提供一種化學氣相沉積裝置，以解決現(xiàn)有技術中膠圈和傳動軸暴露在反應腔室內(nèi)容易沉積膜層的問題。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種化學氣相沉積裝置，包括:第一殼體，具有第一內(nèi)腔；輸送軸，穿設在第一殼體上并伸入至第一內(nèi)腔中；膠圈，膠圈設置在輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端上，化學氣相沉積裝置還包括:第二殼體，具有第二內(nèi)腔以及與第二內(nèi)腔連通的開口面，第二殼體固定在第一殼體內(nèi)，并套設在輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端上；封堵部，封堵部可開合地設置在開口面處；驅(qū)動機構，封堵部與輸送軸通過驅(qū)動機構連接，輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端具有伸出開口面的伸出位置以及縮回至第二殼體內(nèi)的縮回位置，輸送軸的伸縮帶動驅(qū)動機構驅(qū)動封堵部開閉。
[0006]進一步地，驅(qū)動機構包括:第一擺動部，第一擺動部的中部鉸接在第二殼體上，第一擺動部的第一端與輸送軸驅(qū)動連接；連接部，連接部的第一端與第一擺動部的第二端鉸接；第二擺動部，第二擺動部的第一鉸接部與第二殼體鉸接，第二擺動部的第二鉸接部與連接部的第二端鉸接，封堵部固定在第二擺動部的固定部上。
[0007]進一步地，驅(qū)動機構還包括移動部，移動部的第一端與第一擺動部的第一端鉸接，移動部的第二端與輸送軸驅(qū)動連接。
[0008]進一步地，化學氣相沉積裝置還包括第一固定部，第一固定部固定在第二殼體上，第一擺動部的中部與第一固定部鉸接。
[0009]進一步地，化學氣相沉積裝置還包括第二固定部，第二固定部固定在第二殼體上，第二擺動部的第一鉸接部與第二固定部鉸接。
[0010]進一步地，移動部的第二端伸入第二內(nèi)腔中，化學氣相沉積裝置還包括彈性體，彈性體設置在移動部的第二端上，彈性體的第一端與第二殼體的內(nèi)壁抵接，彈性體的第二端設置在移動部的第二端的端部上，輸送軸具有徑向凸部，輸送軸位于縮回位置時移動部的第二端與徑向凸部抵接，并且彈性體處于壓縮狀態(tài)，輸送軸位于伸出位置時彈性體處于自然狀態(tài)。
[0011]進一步地，化學氣相沉積裝置還包括第三固定部，第三固定部設置在移動部的第二端的端部上，彈性體的第二端與第三固定部抵接。
[0012]進一步地，化學氣相沉積裝置還包括第四固定部，第四固定部固定在第二殼體的遠離封堵部的一端上，第四固定部固定在第一殼體的內(nèi)壁上。
[0013]進一步地，第一擺動部為Y形擺動柱。
[0014]進一步地，開口面呈橢圓形。
[0015]應用本發(fā)明的技術方案，當需要通過輸送軸對基片進行輸送時，輸送軸朝向封堵部的一側(cè)移動，輸送軸的移動帶動驅(qū)動機構驅(qū)動封堵部慢慢打開，進而開啟封堵部，這時輸送軸處于伸出位置，這樣就可以對基片進行輸送。當需要對基片進行沉積膜層時，輸送軸向遠離封堵部的一側(cè)移動，輸送軸的移動帶動驅(qū)動機構驅(qū)動封堵部慢慢關閉，進而關閉封堵部，這時輸送軸處于縮回位置，使得輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端位于第二殼體內(nèi)，這樣在對基片進行沉積膜層時輸送軸的位于第一殼體內(nèi)的一端縮回至第二殼體內(nèi)，即在基片進行沉積膜層時不會在輸送軸和膠圈上沉積膜層，通過第二殼體和封堵部對輸送軸和膠圈進行保護，有效地避免了輸送軸和膠圈容易受到污染的問題，進而有效地解決了膠圈沉積膜層的問題，有效地縮短了現(xiàn)有技術在滾輪回縮上所用的時間。同時，這樣就不需要加工現(xiàn)有技術中的密封小腔室，從而有效地降低了真空腔室的加工難度，還有效地提高了設備的工作效率。
【附圖說明】
[0016]構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構成對本發(fā)明的不當限定。在附圖中:
[0017]圖1示出了現(xiàn)有技術中的化學氣相沉積裝置的局部結(jié)構示意圖；
[0018]圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的化學氣相沉積裝置的實施例的結(jié)構示意圖；
[0019]圖3示出了圖2的化學氣相沉積裝置的局部結(jié)構示意圖；
[0020]圖4不出了圖2的化學氣相沉積裝置的局部俯視不意圖；
[0021]圖5示出了圖2的化學氣相沉積裝置的部分結(jié)構示意圖；
[0022]圖6示出了圖5的化學氣相沉積裝置的輸送軸處縮回位置時的結(jié)構示意圖；
[0023]圖7示出了圖5的化學氣相沉積裝置的輸送軸處伸出位置時的結(jié)構示意圖；
[0024]圖8示出了圖7的化學氣相沉積裝置的立體結(jié)構示意圖；以及
[0025]圖9不出了圖5的化學氣相沉積裝置的A放大不意圖。
[0026]其中，上述附圖包括以下附圖標記:
[0027]1、傳動軸；2、膠圈；3、傳動軸氣缸；4、密封蓋氣缸；5、側(cè)壁小腔室；6、腔室側(cè)壁；7、密封蓋；10、輸送軸；11、徑向凸部；20、膠圈；30、第二殼體；40、封堵部；50、驅(qū)動機構；51、第一擺動部；52、連接部；53、第二擺動部；54、移動部；61、第一固定部；62、第二固定部；63、第三固定部；64、第四固定部；65、彈性體；71、均氣裝置；73、加熱裝置；74、真空腔室；81、銷軸。
【具體實施方式】
[0028]需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本發(fā)明。
[0029]如圖2至圖5所示，本實施例的化學氣相沉積裝置包括:第一殼體、輸送軸10、膠圈20、第二殼體30、封堵部40以及驅(qū)動機構50，第一殼體具有第一內(nèi)腔，輸送軸10穿設在第一殼體上并伸入至第一內(nèi)腔中，膠圈20設置在輸送軸10的位于第一殼體內(nèi)的一端上，第二殼體30具有第二內(nèi)腔以及與第二內(nèi)腔連通的開口面，第二殼體30固定在第一殼體內(nèi)，并套設在輸送軸10的位于第一殼體內(nèi)的一端上，封堵部40可開合地設置在開口面處，封堵部40與輸送軸10通過驅(qū)動機構50連接，輸送軸10的位于第一殼體內(nèi)的一端具有伸出開口面的伸出位置以及縮回至第二殼體30內(nèi)的縮回位置，輸送軸10的伸縮帶動驅(qū)動機構50驅(qū)動封堵部40開閉。
[0030]應用本實施例的化學氣相沉積裝置，當需要通過輸送軸10對基片進行輸送時，輸送軸10朝向封堵部40的一側(cè)移動，輸送軸10的移動帶動驅(qū)動機構50驅(qū)動封堵部40慢慢打開，進而開啟封堵部40，這時輸送軸10處于伸出位置，這樣就可以對基片進行輸送。當需要對基片進行沉積膜層時，輸送軸10向遠離封堵部40的一側(cè)移動，輸送軸10的移動帶動驅(qū)動機構50驅(qū)動封堵部40慢慢關閉，進而關閉封堵部40，這時輸送軸10處于縮回位置，使得輸送軸10的位于第一殼體內(nèi)的一端位于第二殼體30內(nèi)，這樣在對基片進行沉積膜層時輸送軸10的位于第一殼體內(nèi)的一端縮回至第二殼體30內(nèi)，即在基片進行沉積膜層時不會在輸送軸10和膠圈上沉積膜層，通過第二殼體30和封堵部40對輸送軸10和膠圈進行保護，有效地避免了輸送軸10和膠圈容易受到污染的問題，進而有效地解決了膠圈沉積膜層的問題，有效地縮短了現(xiàn)有技術在滾輪回縮上所用的時間。同時，這樣就不需要加工現(xiàn)有技術中的密封小腔室，從而有效地降低了真空腔室的加工難度，還有效地提高了設備的工作效率。
[0031]在本實施例中，輸送軸10為多個，多個輸送軸10相對于基片的中心對稱分布且位于基片的沿輸送方向的兩側(cè)，基片搭設在多個輸送軸10上的膠圈上，輸送軸10位于伸出位置時輸送軸10轉(zhuǎn)動便可對基片進行輸送。
[0032]如圖6和圖7所示，在本實施例中，驅(qū)動機構50包括第一擺動部51、連接部52以及第二擺動部53，第一擺動部51的中部鉸接在第二殼體30上，第一擺動部51的第一端與輸送軸10驅(qū)動連接；連接部52的第一端與第一擺動部51的第二端鉸接；第二擺動部53的第一鉸接部與第二殼體30鉸接，第二擺動部53的第二鉸接部與連接部52的第二端鉸接，封堵部40固定在第二擺動部53的固定部上。
[0033]打開封堵部40時，輸送軸10朝向封堵部40的一側(cè)移動帶動第一擺動部51的第一端繞著第一擺動部51的中部朝向封堵部40的一側(cè)擺動，同時第一擺動部51的第二端向遠離封堵部40的一側(cè)擺動，進而帶動連接部52運動，連接部52運動帶動第二擺動部53繞著第一鉸接部轉(zhuǎn)動，從而慢慢打開封堵部40。關閉封堵部40時，輸送軸10向遠離封堵部40的一側(cè)移動帶動第一擺動部51的第一端繞著第一擺動部51的中部向遠離封堵部40的一側(cè)擺動，同時第一擺動部51的第二端朝向封堵部40的一側(cè)擺動，進而帶動連接部52運動，連接部52運動帶動第二擺動部53繞著第一鉸接部轉(zhuǎn)動，從而慢慢關閉封堵部40。上述驅(qū)動機構50的結(jié)構簡單，加工方便，安裝簡便，成本低廉。
[0034]在本實施例中，驅(qū)動機構50還包括移動部54，移動部54的第一端與第一擺動部51的第一端鉸接，移動部54的第二端與輸送軸10驅(qū)動連接。輸送軸10移動帶動移動部54移動，進而帶動第一擺動部51的第一端擺動。優(yōu)選地，第一擺動部51為擺動柱，連接部52為連接桿，第二擺動部53為擺動塊，移動部54為移動柱，移動柱與第一擺動部51通過