|的一烷類(alkane)，例如C3tl至C5tl等烷類的石蠟(wax)。一般而言，該相變化物質(zhì)(即，前述C16至C5tl的烷類)3于該固態(tài)時是占有該密閉空間20的80%至90%。
[0029]此外，該無機類材料是選自一含有一結(jié)晶水合鹽(salt hydrates，MnH2O)的組成物，或一熔解鹽。具體地來說，該結(jié)晶水合鹽可為十水合硫酸鈉(Na2SO4* 1H2O)、三水合醋酸鈉(C2H3NaO2.3H20)，或十二水合硫酸鋁銨(NH4Al(SO4)2.12H20);該熔解鹽可為硝酸鈉(NaNO3)或硝酸鉀(KNO3)。較佳地，于該組成物內(nèi)加入一添加劑以縮減該結(jié)晶水合鹽于熔解過程中所產(chǎn)生的體積變化量。
[0030]此處需進一步補充說明的是，為了進一步防止該相變化物質(zhì)3因分布不均而于熔化時造成該載盤單元2局部變形。在本發(fā)明該實施例中，該載盤單元2還包括多個鎖固件24，及多個第二密封環(huán)25。該基座21的基壁211具有多個自該基壁211的一表面219朝該封板22凸伸而出的凸柱214。每一凸柱214具有一鎖固孔215，及一圍繞該鎖固孔215的第二環(huán)形止漏槽216。所述鎖固件24是貫穿該封板22，以分別對應(yīng)鎖固于所述鎖固孔215，使該封板22與該基座21結(jié)合，且該封板22將所述第二密封環(huán)25分別對應(yīng)夾制于所述第二環(huán)形止漏槽216內(nèi)。
[0031]具體地來說，為了填置該相變化物質(zhì)3于該密閉空間20中，須先將該基座21翻轉(zhuǎn)180°以使該基壁211的表面219朝上，并預(yù)先將呈粉末狀的該相變化物質(zhì)3予以熔化成該液態(tài)。接著，將該液態(tài)的該相變化物質(zhì)3填置于該基壁211與該圍壁212所定義的凹槽內(nèi)，以覆蓋于該基壁211的表面219。進一步地，把所述鎖固件24通過該封板22，并分別對應(yīng)鎖固于所述鎖固孔215，令該封板22與該基座21結(jié)合，從而導(dǎo)致該封板22將該第一密封環(huán)23夾制于該第一環(huán)形止漏槽213內(nèi)，且所述第二密封環(huán)25分別對應(yīng)夾制于所述第二環(huán)形止漏槽216內(nèi)。最后，在該實施例被放置于該連續(xù)式真空鍍膜系統(tǒng)(圖未示)的輸送單元前，令該液態(tài)的相變化物質(zhì)3冷卻凝固成該固態(tài)后，即可供該連續(xù)式真空鍍膜系統(tǒng)做為承載盤使用。
[0032]此外，為了防止一待鍍物(圖未示)被放置于該載盤單元2上時產(chǎn)生滑動。較佳地，該基座21還具有一背向該基座21的表面219的承載面217，且該承載面217自其兩相反側(cè)緣背向該基座21表面219凸伸出有兩個限位條218。當該載盤單元2在該連續(xù)式真空鍍膜系統(tǒng)(圖未示)內(nèi)被該輸送單元帶動時，借由所述限位條218以令放置在該承載面217上的該待鍍物(圖未示)避免產(chǎn)生滑動。然而，此處需補充說明的是，本發(fā)明該實施例并不限于使用所述限位條218以限制該待鍍物移動。于實際實施時，也可以在該承載面217上使用一導(dǎo)熱膠帶以黏結(jié)該待鍍物。
[0033]為進一步證實本發(fā)明該實施例所采用的相變化物質(zhì)3此一技術(shù)特征，可有效地利用其本身于相變化過程中所需的熔解潛熱來帶走累積在該待鍍物上的熱能。申請人此處是以本發(fā)明該實施例做為承載盤，模擬出其在一濺鍍過程中的溫度對時間的溫度變化曲線圖(見圖5)。如圖5所示，該溫度變化曲線圖的邊界條件(boundary condit1n)是以實驗量測該待鍍物置于該實施例上進行濺鍍時，在該待鍍物的一頂面的溫度變化，以回推濺鍍熱源的福射熱流量(radiant heat flux)，且該相變化物質(zhì)3是以正18燒(C18H38)的條件來模擬。此外，為比較本發(fā)明該具體例的散熱效果，申請人也以相同的邊界條件模擬出如圖6所示的溫度變化曲線圖。圖6不同于圖5之處在于，圖6是以一由鋁合金所構(gòu)成的實心的金屬載盤來模擬。
[0034]此處須補充說明的是，于濺鍍過程中所產(chǎn)生的高溫電漿，會在該待鍍物上累積大量的高溫熱能，此高溫熱能是經(jīng)由該載盤單元2傳遞給該相變化物質(zhì)3直接被該相變化物質(zhì)3所吸收，以作為該相變化物質(zhì)3于該吸熱過程所需的熱量。由于該吸熱過程包括自該固態(tài)熔化為該液態(tài)的相變，且該相變化物質(zhì)3需額外吸取大量的潛熱以進行相變，導(dǎo)致該吸熱過程所吸收的熱量將遠大于該金屬載盤所吸去的熱量。因此，如圖5與圖6所示，本發(fā)明該實施例的承載盤上所放置的該待鍍物的溫度上升量(最高溫約為95°C )，明顯小于該金屬載盤上所放置的該待鍍物(最高溫達120°C左右)。由圖5與圖6所顯示的仿真結(jié)果可知，該相變化物質(zhì)3的確進一步提升對該待鍍物的散熱效果。
[0035]綜上所述，本發(fā)明自冷式移動式承載盤借由該相變化物質(zhì)3本身于相變過程中所需的熔解潛熱，以自該載盤單元2吸收熱能，能帶走于濺鍍過程中累積在該待鍍物上的高溫熱能，以借此提升散熱效果并從而改善鍍膜質(zhì)量，所以確實能達成本發(fā)明的目的。
[0036]以上所述者，僅為本發(fā)明的實施例而已，當不能以此限定本發(fā)明實施的范圍，即凡依本發(fā)明權(quán)利要求書及說明書內(nèi)容所作的簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發(fā)明的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于其包含: 一載盤單元，內(nèi)部形成有一密閉空間?’及 一相變化物質(zhì)，填置于該載盤單元的密閉空間中； 其中，該相變化物質(zhì)能自該載盤單元吸收一熱能，以作為至少部分的該相變化物質(zhì)自一固態(tài)熔融成一液態(tài)時所需的潛熱，且該相變化物質(zhì)的熔點為介于18°c至95°C間。
2.如權(quán)利要求1所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該相變化物質(zhì)是選自一有機類材料與一無機類材料其中一者。
3.如權(quán)利要求2所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該有機類材料是一烴類，且該烴類是選自C16至C5tl的一烷類。
4.如權(quán)利要求2所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該無機類材料是選自一含有一結(jié)晶水合鹽的組成物，或一熔解鹽。
5.如權(quán)利要求1所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該載盤單元的密閉空間需大于或等于該相變化物質(zhì)于該液態(tài)時所占有的體積。
6.如權(quán)利要求1所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該相變化物質(zhì)于該固態(tài)時是占有該密閉空間的80 %至90 %。
7.如權(quán)利要求1所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該載盤單元包括一基座，及一封板，該基座具有一基壁與一圍繞該基壁的一周緣以定義出一凹槽的圍壁，該封板蓋設(shè)于該圍壁的一表面以封閉該凹槽并定義出該密閉空間。
8.如權(quán)利要求7所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該載盤單元還包括一第一密封環(huán)，該圍壁的表面形成有一第一環(huán)形止漏槽，該封板蓋設(shè)于該圍壁的表面時，將該第一密封環(huán)夾制于該第一環(huán)形止漏槽內(nèi)。
9.如權(quán)利要求8所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該載盤單元還包括多個鎖固件，及多個第二密封環(huán)，該基座的基壁具有多個自該基壁的一表面朝該封板凸伸而出的凸柱，每一凸柱具有一鎖固孔，及一圍繞該鎖固孔的第二環(huán)形止漏槽，所述鎖固件是貫穿該封板，以分別對應(yīng)鎖固于所述鎖固孔，使該封板與該基座結(jié)合，且該封板將所述第二密封環(huán)分別對應(yīng)夾制于所述第二環(huán)形止漏槽內(nèi)。
10.如權(quán)利要求9所述的自冷式移動式鍍膜承載盤，其特征在于:該基座還具有一背向該基座的表面的承載面，且該承載面自其兩相反側(cè)緣背向該基座的表面凸伸出有兩個限位條。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種自冷式移動式鍍膜承載盤，包含：一載盤單元，及一相變化物質(zhì)。該載盤單元內(nèi)部形成有一密閉空間。該相變化物質(zhì)填置于該載盤單元的密閉空間中。該相變化物質(zhì)能自該載盤單元吸收一熱能，以作為至少部分的該相變化物質(zhì)自一固態(tài)熔融成一液態(tài)時所需的潛熱，且該相變化物質(zhì)的熔點為介于18℃至95℃間。借由該相變化物質(zhì)本身于相變過程所需的熔解潛熱，以自該載盤單元吸收該熱能，能帶走于濺鍍過程中累積在待鍍物上的高溫熱能，以借此提升散熱效果并從而改善鍍膜質(zhì)量。
【IPC分類】C23C14-50
【公開號】CN104818467
【申請?zhí)枴緾N201510008257
【發(fā)明人】葉崇宇, 蘇暉家, 葉承朋, 張倧偉, 黃一原, 黃琬榆, 盧木森
【申請人】凌嘉科技股份有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請日】2015年1月8日