[0056] 圖1所示的基板支架11簡單而言由多個支架單元21、和固定有支架單元21的載 體31構(gòu)成主體，對多炔基板41進行保持?；逯Ъ?1以所保持的基板41垂直直立的狀 態(tài)或者它的第一主面42a朝下的狀態(tài)，通過立式濺射方式或者向上濺射方式進行濺射，對 基板41的第一主面42a進行成膜。
[0057] 以下，在對基板41進行說明后，再對基板支架11的各結(jié)構(gòu)（載體31、以及支架單 元21)進行說明。
[0058]〔基板〕
[0059] 如圖1所示，基板41具有一對主面42 (第一主面42a以及第二主面42b)，對該第 一主面42a進行整面成膜。
[0060] 這里，作為基板41，可例舉例如智能手機等中作為覆蓋玻璃等使用的玻璃基板。
[0061] 對玻璃基板的制造方法沒有特別的限定，可用迄今公知的方法進行制造。例如， 可將迄今公知的玻璃原料熔解制成熔融玻璃后通過浮法、熔融法、流孔下拉（Slotdown drawing)法、再曳引法、上拉法等成形為板狀而制造。
[0062] 此外，對玻璃基板的組成沒有特別限制，例如可使用迄今公知的堿玻璃（鈉鈣玻 璃等）、無堿玻璃等。此時，對玻璃基板的熱收縮率、耐化學(xué)品性等特性沒有特別限定，可根 據(jù)其用途進行適當(dāng)選擇。
[0063] 基板41只要具有第一主面42a以及第二主面42b則對其形狀沒有特別限定，優(yōu) 選矩形。這里，矩形是指實質(zhì)上的大致矩形，也包括如圖1(A)所示的周邊部的角被切去 (cornercut)的形狀。
[0064] 對基板41的主面42的大小沒有限定，但例如在為矩形的情況下，優(yōu)選 10mmX30mm~1000mmX1500mm，更優(yōu)選 30mmX50mm~800mmX1000mm。
[0065] 此外，對基板41的厚度（圖1(B)中上下方向的長度）沒有特別限定，但例如優(yōu)選 0? 5~5mm，更優(yōu)選0? 7~3mm。
[0066] 另外，基板41的主面42可以是經(jīng)研磨處理的研磨面，也可以是未經(jīng)研磨處理的非 蝕刻面（原坯面），可根據(jù)用途適當(dāng)選擇。
[0067] 此外，基板41如圖3所示，可以是帶保護層的基板。
[0068]圖3是表示本發(fā)明的基板支架保持帶保護層的基板的狀態(tài)的一例的剖視圖。如圖 3所示，作為帶保護層的基板的基板41由具有第一主面44a以及第二主面44b的基板主體 43和保護層45構(gòu)成。基板主體43是第一主面44a進行整面成膜的構(gòu)件，實質(zhì)上與上述的 基板41相同。保護層45被設(shè)置在基板主體43的第二主面44b側(cè)，在作為帶保護層的基板 的基板41中構(gòu)成第二主面42b。
[0069] 對于這樣的帶保護層的基板，在之后進行進一步詳述。
[0070]〔載體〕
[0071] 如圖1所示，載體31是具有面積大于后述單元基體24的主面25 (第一主面25a 以及第二主面25b)的單元固定面32的構(gòu)件。在載體31的單元固定面32上以單元固定面 32和單元基體24的第二主面25b對面相向的方式，固定1個以上的支架單元21。
[0072] 作為載體31的材質(zhì)，只要具有能夠維持一直對基板41進行保持的垂直狀態(tài)或者 水平狀態(tài)的程度的強度則沒有特別限定，從工業(yè)上獲得難易度的觀點考慮，可適當(dāng)例舉例 如金屬、玻璃等。
[0073] 在采用金屬作為載體31的材質(zhì)的情況下，對其種類沒有特別限制，可例舉例如不 鎊鋼、錯合金等。
[0074] 在采用玻璃作為載體31的材質(zhì)的情況下，對其制造方法沒有特別限定，可用迄今 公知的方法制造。例如，可將迄今公知的玻璃原料熔解制成熔融玻璃后通過浮法、熔融法、 流孔下拉法、再曳引法、上拉法等成形。
[0075] 此外，對玻璃的組成沒有特別限制，例如可使用迄今公知的堿玻璃（鈉鈣玻璃 等）、無堿玻璃等。此時，對玻璃的熱收縮率、耐化學(xué)品性等特性也沒有特別限定。
[0076] 載體31只要具有單元固定面32則對其形狀沒有限定，但優(yōu)選矩形。這里，矩形是 指實質(zhì)上的大致矩形，也包括周邊部的角被切去（cornercut)的形狀。
[0077] 載體31的單元固定面32的大小只要面積大于后述單元基體24的主面25 (另外， 該主面25是面積小于基板41的主面42的面）則沒有特別限定，此外，雖然根據(jù)所使用的 派射裝置的種類而不同，但例如在矩形的情況下，優(yōu)選400mmX500mm~1200mmX1500mm， 更優(yōu)選 500mmX600mm~1 500mmX1800mm。
[0078] 此外，對載體31的厚度（圖1(B)中上下方向的長度）沒有特別限定，但從剛性以 及重量的觀點考慮，優(yōu)選0. 7~8mm，更優(yōu)選1. 5~5mm。
[0079] 另外，載體31的單元固定面32可以是經(jīng)研磨處理的研磨面，也可以是未經(jīng)研磨處 理的非蝕刻面（原坯面）。
[0080]〔支架單元〕
[0081] 如圖1所示，支架單元21由單元基體24和密合層27構(gòu)成。單元基體24是具有 面積小于基板41的主面42的主面25 (第一主面25a以及第二主面25b)的板狀構(gòu)件。
[0082] 密合層27是固定在單元基體24的第一主面25a上的、具有對基板41的第二主面 42b以自由剝離的方式進行附著的剝離性表面28的層。
[0083] 支架單元21以其單元基體24的第二主面25b和載體31的單元固定面32對面相 向的方式被固定在單元固定面32上。通過使基板41的第二主面42b附著在這樣的支架單 元21所具有的密合層27的剝離性表面28上，基板41被保持在基板支架11上。
[0084] 圖1 (A)的例是配置多個支架單元21保持多炔基板41的例。圖1 (A)中，每炔基 板41分別被1個支架單元21所保持，但保持1炔基板41所使用的支架單元21的數(shù)量只 要能夠保持基板41則沒有特別限定。當(dāng)然，根據(jù)需要也可用多個支架單元21來保持1塊 基板41。例如，在基板41的尺寸較大的情況等情況中，通過使用多個支架單元21可以進行 穩(wěn)定保持。
[0085] 多個支架單元21在載體31上的配置可以是在俯視載置有基板41的基板支架11 時基板41之間沒有重疊且所有基板41容納在基板支架11內(nèi)、即載體31的尺寸內(nèi)的方式。 在僅有1炔基板41的情況下，容納在載體31的尺寸內(nèi)即可。
[0086] 由于基板41的第一主面42a沒有被基板支架11的各部分所把持或被覆，因此可 對第一主面42a的整面進行成膜。
[0087] 此時，只要支架單元21的單元基體24的第二主面25b與單元固定面32之間的"固 定"的附著力強于后述的密合層27與基板41的第二主面42b之間的附著力（剝離強度）、 并和單元基體24的第一主面25a與密合層27之間的附著力（剝離強度）相同或在其以上 即可。
[0088] 對實現(xiàn)如上所述的單元基體24的第二主面25b與單元固定面32之間的"固定"的 固定方法沒有特別限定，例如可使用耐熱性粘接劑或具有耐熱性的kapton(注冊商標(biāo)）雙 面膠粘帶等迄今公知的固定方法。
[0089] 通過上述固定方法，多個支架單元21能夠以任意的配置固定在載體31的單元固 定面32上，且配置的改變也容易。
[0090]如上所述，由于在根據(jù)圖4以及圖5進行說明的現(xiàn)有基板支架的情況下，各部分是 固定的，形狀和結(jié)構(gòu)不變，因此為了應(yīng)對尺寸和形狀不同的玻璃基板，每次都需要重新制造 另外的基板支架，生產(chǎn)性非常差。
[0091] 與此相對，本發(fā)明中，由于支架單元21的配置是任意的，且容易進行改變，因此如 后述的圖2所示，即使在同時配置尺寸或形狀不同的多炔基板41的情況下，也能夠不降低 生產(chǎn)性地靈活應(yīng)對。
[0092]圖2是表示本發(fā)明的基板支架保持基板的狀態(tài)的另一例的主視圖。在這樣的情況 下，也能夠容易地將支架單元21的配置改變?yōu)榛?1之間不重疊的配置方式。因此，不需 要重新制造另外的基板支架，生產(chǎn)性非常優(yōu)異。
[0093] 此外，由于根據(jù)圖4以及圖5進行說明的現(xiàn)有基板支架不能進行整面成膜，因此為 了進行整面成膜，采用了在平板狀的載體上使用雙面膠粘帶等來固定基板的方法。但是，由 于該方法在對多炔基板分別進行成膜時每次都需要準(zhǔn)備雙面膠粘帶并粘接的工序，因此工 序數(shù)顯著增加，生產(chǎn)性非常差。此外，在剝離基板41時雙面膠粘帶等粘合劑有時還會殘留 在基板41上。
[0094] 與此相對，本發(fā)明的基板41只需承載在預(yù)先配置在載體31上的支架單元21的密 合層27的剝離性表面28上即可被保持。此外，由于包括支架單元21在內(nèi)的基板支架11 能夠重復(fù)使用，因此工序數(shù)減少，生產(chǎn)性非常優(yōu)異。
[0095] 另外，由于基板41只需承載在剝離性表面28上即可被保持，因此減少了機械或人 手對接觸基板41的不必要的接觸，異物變得難以附著在基板41上。此外，由于本身不使用 雙面膠粘帶等，因此還解決了雙面膠粘帶等粘合劑殘留的問題。
[0096] 而且，如后所述，作為密合層27,可以使用通過使規(guī)定的固化性有機硅樹脂組合物 固化而形成的固化有機硅樹脂層，但例如如果在載體31這樣的大型載體的整面涂布該組 合物使其固化，則不但非常花費工夫，而且成本高，生產(chǎn)性非常差。
[0097] 然而，在本發(fā)明中，僅在比載體31小型的單元基體24的第一主面25a上形成密合 層27即可。即，由于形成密合層27的面積小于在大型的載體整面上形成密合層的情況，因 此容易以所希望的厚度均勻地進行制造。此外，用于形成密合層27所需的材料也少量即 可，因而成本低。而且，在使固化性有機硅樹脂組合物固化時也不需要大型裝置，生產(chǎn)性非 常優(yōu)異。
[0098] 另外，在本發(fā)明中，即使基板支架11的一部分發(fā)生問題，也僅修復(fù)或更換有問題 的支架單元21即可，不需要更換整個基板支架11。從這樣的觀點考慮，生產(chǎn)性非常優(yōu)異。
[0099] 如圖1 (B)所示，支架單元21的厚度T優(yōu)選0? 1~10mm，更優(yōu)選0? 5~5mm，進一 步優(yōu)選0. 7~3_。
[0100] 在將附著在剝離性表面28上的基板41剝離的情況下，通常在要被剝離的基板41 的第二主面42b和單元固定面32的間隙中插入指尖或器具（均未圖示）來進行剝離。此 時，如果支架單元21的厚度T過薄，則指尖等難以插入間隙，有時剝離的操作（handling) 性差。
[0101] 另一方面，在支架單元21的厚度T厚的情況下，剝離的操