一種鈦鋁合金靶材、以及使用該靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于新材料技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，本發(fā)明涉及一種鈦鋁合金靶材，以及使用該靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法。
【背景技術(shù)】
[0002]人們的日常生活總是離不開裝飾品的點(diǎn)綴，它既可以讓一個(gè)家庭裝潢變的更加高貴，也可以使人居住的生活環(huán)境色彩斑斕、熠熠生輝，讓人心曠神怡。隨著技術(shù)的發(fā)展，多彩多樣衛(wèi)浴、不銹鋼板產(chǎn)品已普及于人們的生活。
[0003]鈦鋁合金的密度低，比強(qiáng)度高，比剛度高，耐熱性好，具有高的抗高溫蠕變性能和抗氧化能力，是綜合性能最好的輕質(zhì)高溫合金。然而現(xiàn)有的鈦鋁合金靶中鈦鋁兩者的質(zhì)量比一般為8: 2、7:3或5: 5，隨著鋁的含量在小變大的過程中膜層是由淺黃、棕黃變成黑黃的，由于鋁的含量大，所以在制備玫瑰金顏色時(shí)無法達(dá)到理想的效果，要么要預(yù)鍍很久(一般需要空鍍10爐以上)才能出顏色，要么出來的顏色發(fā)蒙發(fā)黑(鋁的含量大)，因此難以讓消費(fèi)者滿意。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]鑒于此，為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供了一種新的鈦鋁合金靶材，以及使用該靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，使用該鈦鋁靶材無需預(yù)鍍太長時(shí)間就可以制備出玫瑰金顏色的膜層，且膜層不發(fā)蒙發(fā)黑。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采取了以下技術(shù)方案:
[0006]—種鈦鋁合金靶材，按重量百分比計(jì)，所述靶材包括82-86%的鈦、14-18%
[0007]的招，以及少量微量元素。
[0008]在其中一些實(shí)施例中，所述靶材中的鈦的含量為84.2%，鋁的含量為15.6%。
[0009]在其中一些實(shí)施例中，所述鈦的純度大于2N5，所述鋁的純度大于3N5。
[0010]在其中一些實(shí)施例中，所述鈦和鋁的粒徑為20-60微米。
[0011]在其中一些實(shí)施例中，所述微量元素為Fe、Zr、N1、Cu、Si中的一種或幾種。
[0012]本發(fā)明還提供了使用上述鈦鋁合金靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，采取了以下技術(shù)方案:
[0013]—種制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，使用上述鈦鋁合金靶材，包括以下步驟:采用熔煉或者熱等靜壓成型工藝成錠子，在鈦鋁合金靶材的靶面機(jī)加工成碗狀面、錐面或者馬鞍型面，在鈦鋁合金靶弧源電流60-120A、工作真空0.3-1.0Pa、偏壓50-120V的條件下，用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X2-10分鐘，即可得玫瑰金鍍膜。
[0014]在其中一些實(shí)施例中，在制備氮化鈦鋁之前，先使用鈦靶制備氮化鈦0.5-5分鐘。
[0015]在其中一些實(shí)施例中，使用鈦靶制備氮化鈦3分鐘。
[0016]在其中一些實(shí)施例中，用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X的時(shí)間為4-7分鐘。
[0017]在其中一些實(shí)施例中，所述鈦鋁合金靶弧源電流為65-70A、工作真空為0.5-0.8Pa、偏壓為 60-80V。
[0018]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:
[0019]1、本發(fā)明的鈦鋁合金靶材，通過合理的鈦鋁成分比例配置，使得膜層不發(fā)黑發(fā)蒙。
[0020]2、本發(fā)明的玫瑰金顏色的鍍膜方法中，在靶材的靶面設(shè)置了沿磁場方向的
[0021]碗狀面、錐面或者馬鞍型面，能使得離化率更高，有力于快速成色，無需太多次的預(yù)鍍就可以制備出玫瑰金顏色的膜層，膜層不發(fā)蒙發(fā)黑、紅度大、可保持色調(diào)的穩(wěn)定。
【附圖說明】
[0022]圖1為本發(fā)明實(shí)施例1中的具有碗狀濺射面的鈦鋁合金靶材的剖面圖；
[0023]圖2為本發(fā)明實(shí)施例1中的玫瑰金的反射光譜圖；
[0024]圖3為本發(fā)明實(shí)施例2中的具有錐角濺射面的鈦鋁合金靶材的剖面圖；
[0025]圖4為本發(fā)明實(shí)施例3中的具有馬鞍型濺射面的鈦鋁合金靶材的剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0027]以下實(shí)施例中，除了特殊說明外，原料均來源于市售。
[0028]以下實(shí)施例中，所述鈦的純度大于2N5，所述鋁的純度大于3N5，所述鈦和鋁的粒徑為20-60微米。
[0029]實(shí)施例1
[0030]一種鈦鋁合金靶材，按重量百分比計(jì)，所述靶材包括82%的鈦、17.9%的鋁，余量為微量元素Fe、Zr、N1、Cu、Si等。
[0031]使用上述鈦鋁合金靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，包括以下步驟:
[0032]采用熔煉成型工藝成錠子工藝，在鈦鋁合金靶材的靶面機(jī)加工成沿磁場方向的碗狀面，鈦鋁合金靶材9個(gè)靶一爐布置(一個(gè)爐體內(nèi)安裝9個(gè)弧靶)，在鈦鋁合金靶弧源電流60A、工作真空0.8Pa、偏壓60V的條件下，先用鈦靶制備氮化鈦3分鐘，再用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X4?7分鐘，即可在衛(wèi)浴或者不銹鋼產(chǎn)品上形成玫瑰金色鍍膜，且膜層不發(fā)蒙發(fā)黑、紅度大，無需預(yù)鍍太久便可保持色調(diào)的穩(wěn)定。
[0033]實(shí)施例2
[0034]—種鈦鋁合金靶材，按重量百分比計(jì)，所述靶材包括84.2%的鈦、15.6%的鋁，余量為微量元素Fe、Zr、N1、Cu、Si等。
[0035]使用上述鈦鋁合金靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，包括以下步驟:
[0036]采用熔煉成型工藝成錠子，在鈦鋁合金靶材的靶面機(jī)加工成沿磁場方向的錐角面，鈦鋁合金靶材18個(gè)靶布置一爐(一個(gè)爐體內(nèi)安裝18個(gè)弧靶)，在鈦鋁合金靶弧源電流70A、工作真空0.5Pa、偏壓80V的條件下，用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X2?3分鐘，即可在衛(wèi)浴或者不銹鋼產(chǎn)品上形成玫瑰金色鍍膜，且膜層不發(fā)蒙發(fā)黑、紅度大，無需預(yù)鍍太久便可保持色調(diào)的穩(wěn)定。
[0037]實(shí)施例3
[0038]—種鈦鋁合金靶材，按重量百分比計(jì)，所述靶材包括83.3%的鈦、16.4%的招，余量為微量元素Fe、Zr、N1、Cu、Si等。
[0039]使用上述鈦鋁合金靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，包括以下步驟:
[0040]采用熱等靜壓成型工藝成錠子，在鈦鋁合金靶材的靶面機(jī)加工成沿磁場方向的馬鞍型面，鈦鋁合金靶材36個(gè)靶布置一爐(一個(gè)爐體內(nèi)安裝36個(gè)弧靶)，在鈦鋁合金靶弧源電流100A、工作真空0.5Pa、偏壓100V的條件下，用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X2?3分鐘，即可在衛(wèi)浴或者不銹鋼產(chǎn)品上形成玫瑰金色鍍膜，且膜層不發(fā)蒙發(fā)黑、紅度大，無需預(yù)鍍太久便可保持色調(diào)的穩(wěn)定。
[0041]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鈦鋁合金靶材，其特征在于，按重量百分比計(jì)，所述靶材包括82-86%的鈦、14-18%的招，以及少量微量元素。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鈦鋁合金靶材，其特征在于，所述靶材中的鈦的含量為84.2%，鋁的含量為15.6%ο3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鈦鋁合金靶材，其特征在于，所述鈦的純度大于2N5，所述鋁的純度大于3N5。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鈦鋁合金靶材，其特征在于，所述鈦和鋁的粒徑為20-60微米。5.一種玫瑰金顏色的鍍膜方法，其特征在于，使用上述鈦鋁合金靶材，包括以下步驟:采用熔煉或熱等靜壓成型工藝成錠子，在鈦鋁合金靶材的靶面設(shè)置沿磁場方向的碗狀面、錐面或者馬鞍型面，在鈦鋁合金靶弧源電流60-120A、工作真空0.3-l.0Pa、偏壓50-120V的條件下，用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X2-10分鐘，即可得玫瑰金鍍膜。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玫瑰金顏色的鍍膜方法，其特征在于，直接制備氮化鈦鋁或者在制備氮化鈦鋁之前，先使用鈦靶制備氮化鈦0.5-5分鐘。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玫瑰金顏色的鍍膜方法，其特征在于，用鈦鋁合金靶充氮?dú)庵苽涞佷X的時(shí)間為4-7分鐘。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玫瑰金顏色的鍍膜方法，其特征在于，所述鈦鋁合金靶弧源電流為65-70A、工作真空為0.5-0.8Pa、偏壓為60-80V。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種鈦鋁合金靶材、以及使用該靶材制備玫瑰金顏色的鍍膜方法，按重量百分比計(jì)，所述靶材包括82-86％的鈦、14-18％的鋁，以及少量微量元素。本發(fā)明的鈦鋁合金靶材，通過合理的鈦鋁成分比例配置，使得膜層不發(fā)黑發(fā)蒙；本發(fā)明的玫瑰金鍍膜的制備方法中，在靶材的靶面設(shè)置了沿磁場方向的碗狀面、錐面或者馬鞍型面，能使得離化率更高，有利于快速成色，無需太多次的預(yù)鍍就可以制備出玫瑰金顏色的膜層，膜層不發(fā)蒙發(fā)黑、紅度大、可保持色調(diào)的穩(wěn)定。
【IPC分類】C23C14/30, C23C14/06, C22C14/00
【公開號】CN105018885
【申請?zhí)枴緾N201510404563
【發(fā)明人】黃華凜
【申請人】廣東迪奧應(yīng)用材料科技有限公司
【公開日】2015年11月4日
【申請日】2015年7月10日