環(huán)境中。在技術(shù)上合適的0形環(huán)非常昂貴。因此，在當(dāng)前情況下采用0形環(huán)是相當(dāng)不經(jīng)濟(jì)的，因?yàn)橐刂粋€(gè)或多個(gè)在整個(gè)加工隧道的長度(通常約5-10米)上延伸的接合部提供0形環(huán)。不僅如此，用螺栓將上下隧道體栓在一起是不切實(shí)際的，因?yàn)檠刂麄€(gè)軌道長度解開上下隧道體上的螺栓非常耗時(shí)(不僅因?yàn)槁菟〝?shù)量，而且因?yàn)榻忾_螺栓需要加工隧道先冷卻下來)，因此妨礙快速修復(fù)加工隧道空間內(nèi)的問題。
[0017]由于嘗試用常規(guī)方法密封接合部既不經(jīng)濟(jì)又不實(shí)際，本發(fā)明提出不同的途徑來解決接合部的存在導(dǎo)致氣體不受控地漏進(jìn)/漏出加工隧道空間的問題。為實(shí)現(xiàn)該途徑，可在設(shè)置接合部時(shí)使其不與側(cè)向隧道壁中提供的或者緊鄰側(cè)向隧道壁的排氣通道交叉。
[0018]側(cè)向隧道壁中的排氣通道的外端或下游端通常可連接至排氣導(dǎo)管，將加工氣體排放到所需地點(diǎn)。確保排氣通道不與接合部交叉，有助于排氣通道與排氣導(dǎo)管之間的流體密封連接(這是因?yàn)榕艢鈱?dǎo)管的上游端現(xiàn)在可簡單地與側(cè)向壁永久性連接，使得它與排氣通道流體連通，而不必考慮隧道體的相對(duì)可移動(dòng)性)。不僅如此，將排氣通道與接合部分開，對(duì)沿接合部的壓降的控制就能獨(dú)立于沿排氣通道的壓降。
[0019]這后一方面對(duì)本文所述的設(shè)備的兩個(gè)著力點(diǎn)十分關(guān)鍵，所述設(shè)備中提供了壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其構(gòu)造成用來平衡接合部相對(duì)兩側(cè)的壓力，使得沿接合部的壓降A(chǔ) P接遵守ΔΡ_Ρ0。當(dāng)沿接合部的壓降成功降至零或者至少接近于零(即“》0”，可量化為“<10帕斯卡”，即“小于10帕斯卡”)時(shí)，沿接合部基本上沒有壓力差來驅(qū)動(dòng)氣體流動(dòng)，因而實(shí)際上也就沒有泄漏。
[0020]所述著力點(diǎn)中的第一個(gè)是，通過對(duì)接合部的縱向非流體密封(即可能發(fā)生泄漏)部分施以壓力控制，可控制沿該接合部的所述部分的壓降。更具體地說，通過控制鄰近該接合部的所述部分的排氣通道內(nèi)的氣體壓力，可平衡排氣通道上游入口的氣體壓力與該接合部外側(cè)的(環(huán)境)壓力，從而平衡該接合部內(nèi)側(cè)的壓力與該接合部外側(cè)的(環(huán)境)壓力。
[0021]所述著力點(diǎn)中的第二個(gè)是，通過對(duì)接合部的縱向非流體密封部分的外側(cè)施以壓力控制，可控制沿該接合部的所述部分的壓降。為此，例如，所述壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可包含輔助容器，該輔助容器限定出用來容納優(yōu)選的惰性加壓緩沖氣體如氮?dú)獾木彌_空間，所述緩沖空間與要控制其壓降的接合部160的所述部分(的外側(cè))流體連通。然后，緩沖空間中緩沖氣體的氣體壓力可與該接合部內(nèi)側(cè)，即加工隧道空間內(nèi)部的(加工氣體)壓力平衡，以實(shí)現(xiàn)沿該接合部的非流體密封部分的零壓降。
[0022]結(jié)合附圖，通過對(duì)本發(fā)明的某些實(shí)施方式的如下具體詳述，可以更好地理解本發(fā)明的這些以及其他特征和優(yōu)點(diǎn)，所述附圖是用來說明而不是限制本發(fā)明。
【附圖說明】
[0023]圖1示意性呈現(xiàn)了根據(jù)本發(fā)明的基片加工設(shè)備的一個(gè)示例性實(shí)施方式的縱向加工隧道段的截面?zhèn)纫晥D；
[0024]圖2示意性呈現(xiàn)了圖1所示的加工隧道段的橫向截面?zhèn)纫晥D，其中上下隧道體處于閉合形態(tài)(無泄漏)；
[0025]圖3示意性呈現(xiàn)了圖1所示的加工隧道段的橫向截面?zhèn)纫晥D，其中上下隧道體處于開放形態(tài)；
[0026]圖4示意性呈現(xiàn)了圖1所示的加工隧道段的橫向截面?zhèn)纫晥D，其中上下隧道體處于閉合但仍然泄漏的構(gòu)造；
[0027]圖5示意性呈現(xiàn)了圖1-3所示的基片加工設(shè)備的第一著力點(diǎn)的橫向截面?zhèn)纫晥D，包括用來平衡接合部相對(duì)兩側(cè)壓力的壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；以及
[0028]圖6示意性呈現(xiàn)了圖1-3所示的基片加工設(shè)備的第二著力點(diǎn)的橫向截面?zhèn)纫晥D，包括用來平衡接合部相對(duì)兩側(cè)壓力的壓力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
[0029]詳細(xì)描述
[0030]下面結(jié)合圖1-3描述根據(jù)本發(fā)明的基片加工設(shè)備的基本示例性實(shí)施方式。示例性實(shí)施方式是作為空間原子層沉積(ALD)設(shè)備構(gòu)建的。但應(yīng)當(dāng)理解，本設(shè)備的應(yīng)用范圍不限于原子層沉積領(lǐng)域。該設(shè)備可替代性地用于執(zhí)行其他基片加工處理如退火的目的。
[0031]現(xiàn)在參考圖1-3。所揭示的設(shè)備100可包括通常為線形或直形的加工隧道102，可通過該加工隧道以單向或雙向方式運(yùn)送基片180，例如硅晶片，所述基片優(yōu)選作為一串基片的一部分。也就是說，基片180可從加工隧道102的入口插入加工隧道，并單向運(yùn)送至出口?；蛘?，加工隧道102可具有封閉端，基片180可作雙向運(yùn)動(dòng)，從加工隧道入口到封閉端，再回到入口。如果希望設(shè)備具有較小占地面積，則所述可選的雙向系統(tǒng)是優(yōu)選的。
[0032]加工隧道102可包括長形(即縱向延伸)下隧道體120和長形上隧道體140。在優(yōu)選的實(shí)施方式中，如圖1-3所示，下隧道體120可包括下隧道壁122和兩個(gè)側(cè)向隧道壁128，所述側(cè)向隧道壁分別在相對(duì)側(cè)面從下隧道壁122向上伸出；上隧道體140則包括上隧道壁142(見圖2)。在可選實(shí)施方式中，所述側(cè)向隧道壁128中的一個(gè)或兩個(gè)可反過來而形成上隧道體140的一部分，從上隧道壁向下伸出。下隧道體120包括兩個(gè)側(cè)向隧道壁128的優(yōu)點(diǎn)在于，它通常具有U形橫向截面隧道壁剖面，當(dāng)下隧道120與上隧道140彼此分離形成開放形態(tài)(見圖3，如下文所述)時(shí)，該剖面限定出縱向延伸的開放溝道，該開放溝道能夠容納基片和基片碎肩:下隧道體的U形壁剖面防止任何基片和基片碎肩在重力作用下無意中滑出。
[0033]下隧道體120和上隧道體140可以不是整體形成，而是可以沿著至少一個(gè)、通常是兩個(gè)縱向延伸的接合部160彼此可分離地接合/連接(見圖2)。所述至少一個(gè)接合部160可使下隧道體120和上隧道體140能夠彼此可移動(dòng)地設(shè)置，使得它們可在閉合形態(tài)與開放形態(tài)之間移動(dòng)。在閉合形態(tài)中(見圖1-2)，隧道壁122、128、142可限定出長形加工隧道空間104。在開放形態(tài)中(見圖3)，隧道體120、140在接合部160的位置至少部分地彼此分離，隧道體可限定出位于其間的至少一個(gè)、通常是兩個(gè)長形進(jìn)出開口或間隙106，使得能夠從加工隧道102側(cè)面進(jìn)出加工隧道內(nèi)部(即到達(dá)在閉合形態(tài)中形成加工隧道空間104的空間)進(jìn)行維護(hù)工作。
[0034]隧道體120、140的相對(duì)移動(dòng)性可通過多種方式實(shí)現(xiàn)。在一個(gè)實(shí)施方式中，例如，下隧道體120和上隧道體140可沿縱向延伸的軸線通過鉸鏈連接，它們可以類似于蛤殼的方式圍繞所述軸線相對(duì)于彼此作樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施方式中，如圖1-3所示，下隧道體120和上隧道體140可彼此完全分離。例如，設(shè)備100可包含一個(gè)或多個(gè)夾具設(shè)備或壓力機(jī)190，例如水力夾具/壓力機(jī)，構(gòu)造用來可選地迫使下隧道體120和上隧道體140合到一起，實(shí)現(xiàn)閉合形態(tài)，以及將它們分離以實(shí)現(xiàn)開放形態(tài)。在圖示實(shí)施方式中，下隧道體120與外界固定連接，而上隧道體140借助于一系列縱向間隔的壓力機(jī)190可移動(dòng)地設(shè)置(圖1)，使其能夠可選地向下壓到下隧道體上(圖2)或者從下隧道體上提起來(圖3)。通常優(yōu)選可完全分離的下隧道體120和上隧道體140，因?yàn)樗鼈兡軌虻玫礁o密的閉合形態(tài):鉸鏈等需要機(jī)械運(yùn)動(dòng)空間，這與實(shí)現(xiàn)下隧道體120與上隧道體140之間的氣密性接合的需要相抵觸。
[0035]至少一個(gè)接合部160可由分別位于下隧道體120和上隧道體140上的兩個(gè)相對(duì)接合表面132、148限定。優(yōu)選平坦的、通常為金屬的接合表面，因?yàn)樗鼈兛梢悦芊夥绞綁旱揭黄?。在下隧道體120包括至少一個(gè)側(cè)向隧道壁128的實(shí)施方式中，此隧道壁128可限定出優(yōu)選平坦的朝上接合表面132，而上隧道體140可限定出優(yōu)選平坦的朝下接合表面148。朝下接合表面148可與上壁122的內(nèi)表面共平面或齊平，并且可構(gòu)造成在隧道體120、140的閉合形態(tài)中與側(cè)向壁128的平坦的朝上接合表面132鄰接。因此，朝下接合表面148可形成為上隧道壁122的內(nèi)/下表面的長形側(cè)向延伸部。使上隧道體140具有完全平坦的下表面的優(yōu)點(diǎn)在于，成功(密封)配合接合表面132、148對(duì)下隧道體120和上隧道體140的精確側(cè)向和/或縱向?qū)R相對(duì)不敏感。
[0036]在閉合形態(tài)中，下隧道壁122和上隧道壁142可水平取向，或者相對(duì)于水平方向有一個(gè)角度(例如使重力能夠驅(qū)動(dòng)基片的運(yùn)輸)，相互平行，以及稍微隔開，例如0.5-1毫米，使得厚例如0.1-1毫米、平行于上隧道壁12