一種真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種鍍膜厚度調(diào)節(jié)裝置，具體涉及一種鍍膜厚度自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的真空鍍膜裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本較高，在實(shí)際使用過程中，容易出現(xiàn)機(jī)械故障，需要人員定期維護(hù)，最主要的是，在鍍膜過程中，鍍膜厚度不能自由調(diào)節(jié)，工作效率較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種鍍膜厚度可以自由調(diào)節(jié)，工作效率大大提高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，機(jī)械故障少，使用壽命長(zhǎng)的真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。
[0004]技術(shù)方案:為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所述的一種真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，它包括陽極罩，在所述陽極罩一端設(shè)有導(dǎo)軌，在所述導(dǎo)軌上設(shè)有擋板，所述擋板在導(dǎo)軌上作直線運(yùn)動(dòng)，在所述擋板一側(cè)中部設(shè)有滾珠絲桿，在所述滾珠絲桿端部設(shè)有步進(jìn)電機(jī)，在所述滾珠絲桿上設(shè)有真空箱體，在所述真空箱體與滾珠絲桿的連接處設(shè)有磁流體密封裝置。
[0005]所述擋板為鈦合金擋板。
[0006]在所述陽極罩上設(shè)有等離子體發(fā)射窗口。
[0007]所述真空箱體的一側(cè)為大氣側(cè)，另一側(cè)為真空側(cè)，所述磁流體密封裝置安裝在真空箱的大氣側(cè)。
[0008]本發(fā)明通過步進(jìn)電機(jī)和磁流體密封裝置調(diào)節(jié)動(dòng)能從大氣端到真空端，再由滾珠絲桿帶動(dòng)鈦合金擋板沿水平方向在導(dǎo)軌上作往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而達(dá)到了調(diào)節(jié)等離子陽極罩窗口大小的目的控制濺射等離子體的產(chǎn)額大小來調(diào)節(jié)鍍膜膜層厚度。
[0009]有益效果:本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點(diǎn)是:本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，采用導(dǎo)軌及設(shè)在導(dǎo)軌上的鈦合金擋板，可以用來控制陽極罩的等離子體發(fā)射窗口的大小，從而實(shí)現(xiàn)鍍膜厚度的自由調(diào)節(jié)，采用步進(jìn)電機(jī)、磁流體密封裝置和滾珠絲桿，實(shí)現(xiàn)擋板的自由精確調(diào)節(jié)，大大提高工作效率，本裝置機(jī)械故障少，使用壽命長(zhǎng)，符合實(shí)際使用要求。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
[0012]如圖1所示，本發(fā)明所述的一種真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，它包括陽極罩1，在所述陽極罩I 一端設(shè)有導(dǎo)軌2，在所述導(dǎo)軌2上設(shè)有擋板3，所述擋板3在導(dǎo)軌2上作直線運(yùn)動(dòng)，在所述擋板3 —側(cè)中部設(shè)有滾珠絲桿4，在所述滾珠絲桿4端部設(shè)有步進(jìn)電機(jī)5，在所述滾珠絲桿4上設(shè)有真空箱體6，在所述真空箱體6與滾珠絲桿4的連接處設(shè)有磁流體密封裝置7 ;所述擋板3為鈦合金擋板；在所述陽極罩I上設(shè)有等離子體發(fā)射窗口 8 ;所述真空箱體6的一側(cè)為大氣側(cè)，另一側(cè)為真空側(cè)，所述磁流體密封裝置7安裝在真空箱6的大氣偵U。本發(fā)明整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，采用導(dǎo)軌及設(shè)在導(dǎo)軌上的鈦合金擋板，可以用來控制陽極罩的等離子體發(fā)射窗口的大小，從而實(shí)現(xiàn)鍍膜厚度的自由調(diào)節(jié)，采用步進(jìn)電機(jī)、磁流體密封裝置和滾珠絲桿，實(shí)現(xiàn)擋板的自由精確調(diào)節(jié)，大大提高工作效率，本裝置機(jī)械故障少，使用壽命長(zhǎng)，符合實(shí)際使用要求。
[0013]本發(fā)明提供了一種思路及方法，具體實(shí)現(xiàn)該技術(shù)方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍，本實(shí)施例中未明確的各組成部分均可用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:它包括陽極罩(1)，在所述陽極罩(I) 一端設(shè)有導(dǎo)軌(2)，在所述導(dǎo)軌(2)上設(shè)有擋板(3)，所述擋板(3)在導(dǎo)軌(2)上作直線運(yùn)動(dòng)，在所述擋板(3) —側(cè)中部設(shè)有滾珠絲桿(4)，在所述滾珠絲桿(4)端部設(shè)有步進(jìn)電機(jī)(5)，在所述滾珠絲桿(4)上設(shè)有真空箱體￠)，在所述真空箱體(6)與滾珠絲桿(4)的連接處設(shè)有磁流體密封裝置(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述擋板(3)為鈦合金擋板。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:在所述陽極罩(I)上設(shè)有等離子體發(fā)射窗口(8)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述真空箱體(6)的一側(cè)為大氣側(cè)，另一側(cè)為真空側(cè)，所述磁流體密封裝置(7)安裝在真空箱(6)的大氣側(cè)。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種真空鍍膜用陽極罩自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，它包括陽極罩，在所述陽極罩一端設(shè)有導(dǎo)軌，在所述導(dǎo)軌上設(shè)有擋板，所述擋板在導(dǎo)軌上作直線運(yùn)動(dòng)，在所述擋板一側(cè)中部設(shè)有滾珠絲桿，在所述滾珠絲桿端部設(shè)有步進(jìn)電機(jī)，在所述滾珠絲桿上設(shè)有真空箱體，在所述真空箱體與滾珠絲桿的連接處設(shè)有磁流體密封裝置。本發(fā)明鍍膜厚度可以自由調(diào)節(jié)，工作效率大大提高，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，機(jī)械故障少，使用壽命長(zhǎng)。
【IPC分類】C23C14/54
【公開號(hào)】CN105624635
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410621527
【發(fā)明人】曹俊
【申請(qǐng)人】無錫康力電子有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請(qǐng)日】2014年11月6日