研磨裝置、研磨構(gòu)件的加工方法、研磨構(gòu)件的修正方法、形狀加工用切削工具以及表面修 ...的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本發(fā)明涉及研磨裝置、研磨構(gòu)件的加工方法、研磨構(gòu)件的修正方法、形狀加工用切削工具以及表面修正用工具。
【背景技術(shù)】
[0002]如專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載那樣，當(dāng)利用研磨構(gòu)件對(duì)被研磨加工物(被研磨加工的對(duì)象物)的被研磨部進(jìn)行研磨時(shí)，研磨構(gòu)件的研磨面的形狀逐漸變化。因此，通常，進(jìn)行修正研磨面而使研磨面恢復(fù)到原來(lái)的形狀的、所謂的修整(dressing)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平11 一 188590號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0007]另外，以往進(jìn)行的修整大多以修正平面狀的研磨面為目的，基本上未考慮到對(duì)與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的各種形狀的研磨面進(jìn)行修整。
[0008]本發(fā)明是鑒于這樣的實(shí)際情況而做出的，其目的在于，提供能夠容易對(duì)具有與平面狀不同的形狀的研磨面進(jìn)行形狀加工、形狀修正的研磨裝置、研磨構(gòu)件的加工方法、研磨構(gòu)件的修正方法。本發(fā)明的目的還在于提供在上述研磨裝置和加工方法中使用的、用于對(duì)研磨面的形狀進(jìn)行加工的形狀加工用切削工具，或者在上述研磨裝置和修正方法中使用的、用于將研磨面修正為與被研磨部的形狀相匹配的形狀的表面修正用工具。
[0009]用于解決問(wèn)題的方案
[0010]用于解決上述問(wèn)題的研磨裝置包括:研磨構(gòu)件，其具有呈與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀的研磨面;形狀加工用切削工具或表面修正用工具，該形狀加工用切削工具或表面修正用工具具有與所述被研磨部的形狀相同的形狀，該形狀加工用切削工具用于將所述研磨面加工成與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀，該表面修正用工具用于將所述研磨面修正為與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀；以及接觸機(jī)構(gòu)，其用于使所述形狀加工用切削工具或表面修正用工具接觸于所述研磨面。
[0011]在該結(jié)構(gòu)中，研磨構(gòu)件具有呈與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀的研磨面。因而，即使被研磨加工物的被研磨部為例如曲面、三角形等那樣的與平面狀不同的形狀，也能夠?qū)υ摫谎心ゲ窟M(jìn)行研磨。
[0012]在此，在該結(jié)構(gòu)中，利用接觸機(jī)構(gòu)使形狀加工用切削工具或表面修正用工具接觸于研磨面，其中，形狀加工用切削工具或表面修正用工具具有與被研磨部的形狀相同的形狀，形狀加工用切削工具用于將研磨面加工成與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀，表面修正用工具用于將所述研磨面修正為與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀。因而，通過(guò)將具有與被研磨加工物的被研磨部的形狀相同的形狀的形狀加工用切削工具或表面修正用工具的形狀復(fù)制到形狀加工用切削工具或表面修正用工具所接觸的研磨面上，從而能夠?qū)⒀心ッ嫘拚蚣庸こ膳c被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀。如上所述，研磨構(gòu)件的研磨面成為與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀，但該研磨面的形狀和形狀加工用切削工具或表面修正用工具的形狀成為一個(gè)為凹、另一個(gè)為凸的關(guān)系，因此，能夠容易對(duì)具有與平面狀不同的形狀的研磨面進(jìn)行形狀加工或形狀修正。
[0013]此外，被研磨加工物的被研磨部的形狀和形狀加工用切削工具或表面修正用工具的形狀不必完全相同，在實(shí)用上不產(chǎn)生問(wèn)題的前提下，彼此的形狀也可以稍微不同。
[0014]另外，形狀加工用切削工具指的是能夠?qū)ρ心?gòu)件的研磨面適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行加工的工具，只要其具有硬度比所述研磨構(gòu)件的研磨面的硬度高的加工部即可，并不受特別限制，作為具體例，能夠使用研磨球(pel let)、電鍍砂輪等帶固定磨粒的加工工具、以及端銑刀、車(chē)刀等切削加工用工具。
[0015]另外，表面修正用工具指的是能夠調(diào)整研磨構(gòu)件的表面或?qū)⒏街谘心?gòu)件的表面的污垢、附著物等去除的工具，作為具體例，能夠使用所述帶固定磨粒的加工工具、硬質(zhì)的刷子等。
[0016]另外，在上述研磨裝置中，優(yōu)選的是，每經(jīng)過(guò)規(guī)定周期，利用所述接觸機(jī)構(gòu)使形狀加工用切削工具或表面修正用工具接觸于研磨面。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于每經(jīng)過(guò)規(guī)定周期對(duì)研磨面進(jìn)行加工或修正，因此能夠適當(dāng)?shù)鼐S持對(duì)被研磨加工物進(jìn)行研磨時(shí)的研磨精度。
[0017]另外，在上述研磨裝置中，優(yōu)選的是，通過(guò)使具有與所述被研磨部的形狀不同的形狀的研磨構(gòu)件表面接觸于所述形狀加工用切削工具或表面修正用工具，從而形成所述研磨構(gòu)件的呈與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀的研磨面。
[0018]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在該研磨裝置上形成與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀的研磨面。因此，與將預(yù)先形成有呈同被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀的研磨面的研磨構(gòu)件安裝于研磨裝置的情況相比，能夠高精度地形成這樣的研磨面的形狀。
[0019]另外，優(yōu)選的是，所述研磨裝置包括用于自下方使所述研磨構(gòu)件旋轉(zhuǎn)的馬達(dá)，優(yōu)選的是，所述研磨裝置包括平臺(tái)，該平臺(tái)能在其上表面載置有研磨構(gòu)件的狀態(tài)下與所述研磨構(gòu)件一體地旋轉(zhuǎn)。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，能夠獲得軸振動(dòng)等較少的穩(wěn)定的研磨構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)，因此能夠進(jìn)行更高精度的加工。
[0020]另外，通過(guò)在所述研磨裝置中使用具有與被研磨部的形狀相同的形狀的、用于將研磨面加工成與被研磨部的形狀相匹配的形狀的形狀加工用切削工具或用于將所述研磨面修正為與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀的表面修正用工具，從而能夠容易對(duì)具有與平面狀不同的形狀的研磨面進(jìn)行形狀加工或修正。
[0021]另外，在用于解決上述問(wèn)題的研磨構(gòu)件的加工或修正方法中，使具有與被研磨部的形狀相同的形狀的形狀加工用切削工具或表面修正用工具接觸于具有研磨面的研磨構(gòu)件的所述研磨面，所述研磨面呈與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀，所述加工用切削工具用于將所述研磨面加工成與被研磨部的形狀相匹配的形狀，所述表面修正用工具用于將所述研磨面修正為與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀。
[0022]在該方法中，準(zhǔn)備了具有呈與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀的研磨面的研磨構(gòu)件。因而，即使被研磨加工物的被研磨部為例如曲面、三角形等那樣的與平面狀不同的形狀，也能夠?qū)υ摫谎心ゲ窟M(jìn)行研磨。
[0023]在此，在該方法中，使具有與被研磨部的形狀相同的形狀的、用于將研磨面加工成與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀的形狀加工用切削工具或用于將所述研磨面修正為與所述被研磨部的形狀相匹配的形狀的表面修正用工具接觸于研磨面。因而，通過(guò)將具有與被研磨加工物的被研磨部的形狀相同的形狀的形狀加工用切削工具或表面修正用工具的形狀復(fù)制到形狀加工用切削工具或表面修正用工具所接觸的研磨面上，從而能夠?qū)⒀心ッ嫘拚蚣庸こ膳c被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀。如上所述，研磨構(gòu)件的研磨面成為與被研磨加工物的被研磨部的形狀相匹配的形狀，但該研磨面的形狀和形狀加工用切削工具或表面修正用工具的形狀成為一個(gè)為凹、另一個(gè)為凸的關(guān)系。因此，能夠容易對(duì)具有與平面狀不同的形狀的研磨面進(jìn)行形狀修正。
[0024]發(fā)明的效果
[0025]根據(jù)本發(fā)明，能夠容易對(duì)具有與平面狀不同的形狀的研磨面進(jìn)行形狀加工或形狀修正。
【附圖說(shuō)明】
[0026]圖1是表示一實(shí)施方式的研磨裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0027]圖2是表示該實(shí)施方式的研磨裝置的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
[0028]圖3是表示在該實(shí)施方式中使形狀加工用切削工具或表面修正用工具接觸于研磨構(gòu)件時(shí)的狀態(tài)的研磨裝置的局部側(cè)視圖。
[0029]圖4是表示在該實(shí)施方式中使形狀加工用切削工具或表面修正用工具離開(kāi)研磨構(gòu)件時(shí)的狀態(tài)的研磨裝置的局部側(cè)視圖。
[0030]圖5是表示該實(shí)施方式的變形例中的研磨裝置的概略結(jié)構(gòu)的俯視圖。
[0031]圖6是表示該實(shí)施方式的其他變形例中的形狀加工用切削工具的構(gòu)造的側(cè)視圖。
[0032]圖7的(A)是表示該實(shí)施方式的其他變形例中的形狀加工用切削工具的構(gòu)造的側(cè)視圖。圖7的(B)是C—C剖面圖。
[0033]圖8是表示該實(shí)施方式的其他變形例中的表面修正用工具的構(gòu)造的側(cè)視圖。
[0034]圖9是表示該實(shí)施方式的其他變形例中