[0068]在上述加工液中，根據(jù)需要，也可以進(jìn)一步含有pH調(diào)節(jié)劑、蝕刻劑、氧化劑、水溶性聚合物、共聚物、其鹽、衍生物、防腐蝕劑、螯合劑、分散助劑、防腐剤、防霉劑等其它成分。
[0069]作為所述pH調(diào)節(jié)劑的例子，能夠使用公知的酸、堿或它們的鹽。作為能夠用作pH調(diào)節(jié)劑的酸的例子，例如可列舉出:鹽酸、硫酸、硝酸、氫氟酸、硼酸、碳酸、次磷酸、亞磷酸和磷酸等無機(jī)酸、甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、2-甲基丁酸、正己酸、3，3_ 二甲基丁酸、2-乙基丁酸、4-甲基戊酸、正庚酸、2-甲基己酸、正辛酸、2-乙基己酸、苯甲酸、乙醇酸、水楊酸、甘油酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、馬來酸、鄰苯二甲酸、蘋果酸、酒石酸、檸檬酸、乳酸、二甘醇酸、2-呋喃羧酸、2，5-呋喃二羧酸、3-呋喃羧酸、2-四氫呋喃羧酸、甲氧基乙酸、甲氧基苯基乙酸以及苯氧基乙酸等有機(jī)酸。
[0070]作為能夠用作pH調(diào)節(jié)劑的堿的例子，可列舉出:脂肪族胺、芳香族胺等胺、氫氧化季銨等有機(jī)堿、氫氧化鉀等堿金屬的氫氧化物、堿土金屬的氫氧化物以及氨等。
[0071]另外，也可以使用所述酸的銨鹽、堿金屬鹽等鹽代替所述酸或與所述酸組合來作為PH調(diào)節(jié)劑。需要說明的是，這樣的pH調(diào)節(jié)劑是用于將加工液的pH值調(diào)整到因被研磨加工物K的種類而異的最適值。
[0072]作為上述蝕刻劑的例子，可列舉出:硝酸、硫酸、磷酸等無機(jī)酸；乙酸、檸檬酸、酒石酸、甲磺酸等有機(jī)酸;氫氧化鉀、氫氧化鈉等無機(jī)堿;氨、胺、季銨氫氧化物等有機(jī)堿等。
[0073]作為所述氧化劑的例子，可列舉出:過氧化氫、過乙酸、過碳酸鹽、過氧化尿素、高氯酸鹽、過硫酸鹽等，除此以外，還可列舉出硫酸、硝酸、磷酸等含氧酸以及其鹽等。
[0074]作為所述水溶性聚合物、共聚物、其鹽、衍生物的例子，可列舉出:聚丙烯酸鹽等聚羧酸、聚磺酸、聚苯乙烯磺酸等聚磺酸、黃原膠、藻酸鈉等多糖類;羥乙基纖維素、羧甲基纖維素等纖維素衍生物;聚乙二醇、聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、山梨糖醇酐單油酸酯、具有單種或多種氧化烯單元的氧化烯系聚合物、非離子性表面活性劑、陰離子性表面活性劑等。作為非離子性表面活性劑的例子，可列舉出:聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯烷基苯基醚、山梨糖醇酐單油酸酯、具有單種或多種氧化烯單元的氧化烯系聚合物等。作為陰離子性表面活性劑的例子，例如可列舉出:烷基磺酸系化合物、烷基苯磺酸系化合物、烷基萘磺酸系化合物、甲基牛磺酸系化合物、烷基二苯基醚二磺酸系化合物、α-烯烴磺酸系化合物、萘磺酸縮合物、磺基琥珀酸二酯系化合物等。
[0075]作為所述防腐蝕劑的例子，可列舉出:胺類、吡啶類、四苯基鱗鹽、苯并三唑類、三唑類、四唑類、苯甲酸等單環(huán)化合物、具有稠環(huán)的多環(huán)化合物、雜環(huán)式化合物等。
[0076]作為所述螯合劑的例子，可列舉出:葡糖酸等羧酸系螯合劑、乙二胺、二亞乙基三胺、三亞乙基四胺等胺系螯合劑、乙二胺四乙酸、氨三乙酸(nitrilotriacetic acid)、輕乙基乙二胺三乙酸、三亞乙基四胺六乙酸、二亞乙基三胺五乙酸等多胺多羧酸系螯合劑、2-氨基乙基膦酸、1-羥基乙叉基-1，1-二膦酸、氨基三(亞甲基膦酸)、乙二胺四(亞甲基膦酸)、二亞乙基三胺五(亞甲基膦酸)、乙烷-1，1-二膦酸、乙烷-1，I，2_三膦酸、甲烷羥基膦酸、1-膦酸基丁烷-2，3，4-三羧酸等有機(jī)膦酸系螯合劑、苯酚衍生物、I，3-二酮等。
[0077]作為所述分散助劑的例子，可列舉出焦磷酸鹽、六偏磷酸鹽等縮合磷酸鹽等。
[0078]作為所述防腐劑的例子，可列舉出次氯酸鈉等。
[0079]作為所述防霉劑的例子，可列舉出噁唑烷-2，5-二酮等噁唑啉等。
[0080]順便說一句，若在能夠適當(dāng)?shù)鼐S持研磨精度的范圍內(nèi)盡可能地增大研磨構(gòu)件10的直徑，則能夠在研磨構(gòu)件10的外周面同時(shí)對(duì)多個(gè)被研磨加工物K的端部KE進(jìn)行研磨，因此能夠提高生產(chǎn)率。另外，若盡可能地增大研磨構(gòu)件10的直徑，則即使研磨構(gòu)件10的旋轉(zhuǎn)速度相同，也能夠在外周獲得較大的線速度，因此，在進(jìn)行研磨加工時(shí)，即使使研磨構(gòu)件10的旋轉(zhuǎn)速度較低，也能夠獲得足夠的線速度。因此，例如能夠抑制加工液的飛散等。
[0081 ]如之前的圖1所示，在研磨構(gòu)件1的徑向的外周面附近的、與研磨面11相對(duì)的位置設(shè)有接觸機(jī)構(gòu)40。
[0082]在該接觸機(jī)構(gòu)40設(shè)有工具41。該工具41呈棒狀且其頂端的加工部具有與端部KE的形狀相同的形狀，更詳細(xì)而言具有與端部KE的曲率相同的曲率。而且，工具41能夠作為用于將研磨面11加工成與端部KE的形狀相匹配的形狀的形狀加工用切削工具，或作為用于將研磨面11修正為與端部KE的形狀相匹配的形狀的表面修正用工具發(fā)揮功能。此外，作為工具41的材質(zhì)，能夠選擇最適于對(duì)研磨面11進(jìn)行加工或修正的材質(zhì)。另外，被研磨加工物K的端部KE的形狀和工具41的形狀不必完全相同，在實(shí)用上不產(chǎn)生問題的前提下，彼此的形狀也可以稍微不同。
[0083]在上述接觸機(jī)構(gòu)40還設(shè)有:保持部42，工具41以能夠拆卸的方式固定于該保持部42;以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)43，其用于使保持部42沿與研磨構(gòu)件10的旋轉(zhuǎn)軸正交的方向(圖1所示的箭頭M方向)往復(fù)移動(dòng)。此外，作為移動(dòng)機(jī)構(gòu)43的動(dòng)力源，能夠使用電力、液壓等。另外，通過利用具備CPU、RAM以及ROM等的控制裝置進(jìn)行的自動(dòng)驅(qū)動(dòng)、對(duì)研磨裝置進(jìn)行操作的操作者的開關(guān)操作等來對(duì)接觸機(jī)構(gòu)40進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
[0084]圖3和圖4示出接觸機(jī)構(gòu)40的動(dòng)作方式。
[0085]如圖3所示，若利用接觸機(jī)構(gòu)40使保持部42朝向研磨構(gòu)件10的旋轉(zhuǎn)中心(沿箭頭Ml的朝向)移動(dòng)，則工具41與研磨面11相接觸。更詳細(xì)而言，將工具41按壓于研磨面11。
[0086]在將工具41按壓于研磨面11時(shí)，能夠進(jìn)行恒定壓力加工，但更優(yōu)選的是，進(jìn)行恒定尺寸加工(以恒定尺寸切入的加工)。恒定壓力加工是主要為了提高表面粗糙度而使用的加工方法，是以恒定的按壓力將工具41按壓于研磨面11并對(duì)研磨面11進(jìn)行研磨的加工方法。另一方面，恒定尺寸加工是主要為了對(duì)形狀進(jìn)行精加工而使用的加工方法，是使工具41以恒定的尺寸切入研磨面11并對(duì)研磨面11進(jìn)行磨削的加工方法。如上所述，由于恒定尺寸加工適合于對(duì)形狀進(jìn)行精加工的加工，因此，適合于使用工具41對(duì)研磨面11的形狀進(jìn)行修正或加工時(shí)的加工方法，與進(jìn)行恒定壓力加工的情況相比，能夠精度良好地對(duì)形狀進(jìn)行修正、加工。
[0087]此外，作為使用工具41對(duì)研磨面11的形狀進(jìn)行修正或加工時(shí)的加工方法，還能夠進(jìn)行上述恒定壓力加工，在該情況下，例如能夠進(jìn)行以提高被研磨加工物K的表面粗糙度的精度為目的的加工，能夠主要進(jìn)行適于工具41作為表面修正用工具對(duì)研磨面11進(jìn)行修正時(shí)的加工。
[0088]如圖4所示，若利用接觸機(jī)構(gòu)40使保持部42向離開研磨構(gòu)件10的旋轉(zhuǎn)中心的方向(沿箭頭M2的朝向)移動(dòng)，則工具41離開研磨面11。
[0089]工具41基本上配置在離開研磨面11的圖4的位置。并且，每經(jīng)過規(guī)定周期例如在研磨時(shí)間的累積值超過了預(yù)先設(shè)定的值的情況下，或在操作者操作了開關(guān)的情況下，在驅(qū)動(dòng)研磨構(gòu)件10而使研磨構(gòu)件10旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，使工具41向與研磨面11相接觸的圖3的位置移動(dòng)。
[0090]此外，在工具41處于接觸于研磨面11的狀態(tài)時(shí)，可以向工具41與研磨面11之間的接觸部供給水、加工液。在該情況下，能夠?qū)霉ぞ?1對(duì)研磨面11的加工或修正進(jìn)行輔助、對(duì)接觸部進(jìn)行冷卻。
[0091]對(duì)于所使用的加工液的種類，能夠根據(jù)形狀加工用切削工具或表面修正用工具的種類，或者根據(jù)研磨構(gòu)件的材質(zhì)來任意地選擇適當(dāng)?shù)姆N類。例如，在使用切削加工用工具的情況下，能夠使用切削加工用的加工液。在使用帶固定磨粒的加工工具的情況下，能夠使用磨削加工用加工液。在使用硬質(zhì)的刷子的情況下，能夠使用清洗液等。
[0092]根據(jù)以上說明的本實(shí)施方式，能夠獲得以下的作用效果。
[0093](I)研磨裝置具備研磨構(gòu)件10，其中，研磨構(gòu)件10具有呈與被研磨加工物K的端部KE的形狀相匹配的形狀的研磨面11。因而，即使被研磨加工物K的端部KE是與平面狀不同的形狀即曲面形狀，也能夠?qū)υ摱瞬縆E進(jìn)行研磨。
[0094