汽化系統(tǒng)的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本發(fā)明涉及使液體材料汽化的汽化系統(tǒng)。
【背景技術】
[0002]以往，例如作為生成成膜工序等半導體制造工序中所用的氣體的裝置，使用將液體材料汽化的汽化系統(tǒng)。
[0003]例如專利文獻I(日本專利公開公報特開2003-273026號)所示，所述汽化系統(tǒng)具備儲存液體材料并加熱所述液體材料使其汽化的汽化器，以及控制向所述汽化器供給的液體材料供給量的供給量控制設備(例如質量流控制器和流量控制閥等)。
[0004]可是，由于所述汽化器和所述供給量控制設備通過配管連接，所以因上述配管使汽化系統(tǒng)難以小型化。此外，雖然考慮了利用配管的長度來減小汽化系統(tǒng)的長度尺寸、而在所述汽化器的上部裝載所述供給量控制設備的結構，但是這需要將配管在汽化系統(tǒng)內彎折，從而使汽化系統(tǒng)的結構復雜化。
[0005]另外，如專利文獻2(國際公開第2010/101077號)所示，也考慮了通過在汽化器的汽化罐的側壁上直接安裝流量控制閥(供給量控制設備)、并將所述汽化罐安裝在氣體面板上的結構。可是，所述結構中，需要在汽化罐的側壁上設置流量控制閥、并形成用于控制流量的復雜的流道。此外，拆下汽化罐時，也需要拆下流量控制閥，使更換作業(yè)等變得繁復。

【發(fā)明內容】

[0006]鑒于上述問題，本發(fā)明的主要目的是提供一種小型化的汽化系統(tǒng)，不必在汽化器的內部形成用于安裝供給量控制設備的流道，并可取消汽化系統(tǒng)中的配管。
[0007]即本發(fā)明的汽化系統(tǒng)包括:使液體材料汽化的汽化器;控制向所述汽化器的液體材料供給量的供給量控制設備；以及歧管塊，其內部形成有流道，并且具有分別安裝所述汽化器和所述供給量控制設備的設備安裝面，所述汽化器和所述供給量控制設備通過安裝在所述設備安裝面上，借助所述流道彼此連接。
[0008]按照上述結構，通過在歧管塊的設備安裝面上安裝汽化器和供給量控制設備，由于上述設備借助歧管塊的流道連接，所以能夠取消汽化器和供給量控制設備之間的配管，從而使汽化系統(tǒng)小型化。此外，因為汽化器和供給量控制設備分別安裝在設備安裝面上，所以不必在汽化器的內部形成用于安裝供給量控制設備的流道，可以簡化汽化器的結構。而且，能夠使汽化器和供給量控制設備在歧管塊上單獨拆卸，可以簡化更換作業(yè)等。此外，由于將汽化器和供給量控制設備安裝在歧管塊上，所以能夠將汽化系統(tǒng)組裝入其他的氣體面板。
[0009]本發(fā)明的汽化系統(tǒng)優(yōu)選還具備把供給所述汽化器的液體材料預熱到規(guī)定的溫度的預熱器，所述預熱器通過安裝到所述設備安裝面上，借助所述流道與所述汽化器和所述供給量控制設備連接。
[0010]按照所述結構，由于對供給汽化器的液體材料進行預熱，因此不會使汽化器的加熱器大型化，從而可以使汽化器小型化。此外，通過將預熱器安裝在設備安裝面上，由于所述預熱器借助流道與所述汽化器和所述供給量控制設備連接，所以不需要具有預熱器的汽化系統(tǒng)的配管，可以使所述汽化系統(tǒng)小型化。
[0011]本發(fā)明的汽化系統(tǒng)優(yōu)選還包括:流體檢測設備，檢測有關由所述汽化器生成的汽化氣體的流量的物理量；以及控制由所述汽化器生成的汽化氣體的流量的流量控制閥，所述流體檢測設備和所述流量控制閥通過安裝在所述設備安裝面上，借助所述流道與所述汽化器連接。
[0012]按照所述結構，通過在歧管塊上安裝流體檢測設備和流量控制閥，在使汽化系統(tǒng)保持汽化氣體的流量控制功能的同時，可以取消汽化器、流量檢測設備和流量控制閥之間的配管，從而使所述汽化系統(tǒng)小型化。
[0013]本發(fā)明的汽化系統(tǒng)優(yōu)選所述歧管塊通過連接第一主體單元和第二主體單元構成，且所述第一主體單元安裝有所述汽化器和所述供給量控制設備，所述第二主體單元安裝有所述流體檢測設備和所述流量控制閥。
[0014]按照所述結構，由于歧管塊是分為所述第一主體單元和所述第二主體單元的結構，所以相比歧管塊由單個單元構成的情況，可以容易形成流道。
[0015]本發(fā)明的汽化系統(tǒng)優(yōu)選所述第一主體單元上設有加熱所述第一主體單元的第一加熱器，所述第二主體單元上設有加熱所述第二主體單元的第二加熱器。
[0016]按照所述結構，由于第一主體單元和第二主體單元分別設有加熱器，所以能夠將第一主體單元和第二主體單元分別控制在最佳的溫度，可以提高汽化效率，并且能夠防止汽化氣體的再液化。此時，優(yōu)選將第二主體單元設為比第一主體單元溫度高的狀態(tài)。此外，由于將歧管塊分為第一主體單元和第二主體單元，所以用于插入加熱器的孔的加工變得容易O
[0017]按照上述結構的本發(fā)明，通過在歧管塊的設備安裝面上安裝汽化器和供給量控制設備，由于上述設備借助歧管塊的流道連接，所以不用在汽化器的內部形成用于安裝供給量控制設備的流道，可取消汽化系統(tǒng)中的配管，從而可以使汽化系統(tǒng)小型化。
【附圖說明】
[0018]圖1是表示本實施方式的汽化系統(tǒng)的結構的示意圖。
[0019]圖2是上述實施方式的主體單元(第一主體單元和第二主體單元)的、從設備安裝面觀察的平面圖。
[0020]附圖標記說明
[0021]100 汽化系統(tǒng)
[0022]B 主體單元(歧管塊)
[0023]BI 第一主體單元
[0024]Blx 設備安裝面
[0025]Hl 第一加熱器
[0026]B2 第二主體單元
[0027]B2x 設備安裝面
[0028]H2 第二加熱器
[0029]2汽化部
[0030]21汽化器
[0031]22供給量控制設備
[0032]23預熱器
[0033]3質量流控制器
[0034]31流體檢測設備
[0035]32流量控制閥
【具體實施方式】
[0036]以下參照【附圖說明】本發(fā)明的汽化系統(tǒng)的一個實施方式。
[0037]本實施方式的汽化系統(tǒng)100用于組裝到例如半導體生產線等中、向進行半導體制造工序的腔室供給規(guī)定流量的氣體，如圖1所示，汽化系統(tǒng)100具備:使液體原料汽化的汽化部2;以及控制由所述汽化部2汽化的、氣體的流量的質量流控制器3。
[0038]所述汽化部2具備:通過熱烘方式使液體材料汽化的汽化器21;控制向所述汽化器21的液體材料供給量的供給量控制設備22;以及將供給到所述汽化器21中的液體材料預熱到規(guī)定的溫度的預熱器23。
[0039]上述汽化器21、供給量控制設備22和預熱器23，安裝在設備安裝面Blx上，所述安裝面Blx設定于內部形成流道的歧管塊亦即主體單元BI(以下，稱第一主體單元BI)的一面上。這里第一主體單元BI是例如不銹鋼等金屬制品，呈具有長邊方向的大體柱狀(具體為大致長方體形狀)，所述設備安裝面Blx是呈具有長邊方向的矩形的面。另外，本實施方式的第一主體單元BI，以其長邊方向朝向上下方向(垂直方向)的方式設置在半導體生產線等上。
[0040]具體地，所述預熱器23、所述供給流量控制設備22和所述汽化器21，在所述設備安裝面Blx上沿長邊方向安裝成一列。此外，所述預熱器23、所述供給流量控制設備22和所述汽化器21，從上游側依次由所述第一主體單元BI內形成的內部流道(Rl?R4)串