一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場及其組裝方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場及其組裝方法，所述一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和靶系統(tǒng)，所述驅(qū)動系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，所述磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和靶系統(tǒng)之間，所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，所述軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，所述軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，所述內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，所述靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。本發(fā)明提供的真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場不僅結構簡單，而且能使靶材刻蝕范圍加大，降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】
一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場及其組裝方法
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及磁場領域，尤其涉及一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場及其組裝方法。
【背景技術】
[0002]目前市場真空行業(yè)中真空陰極磁場控制方式種類繁多，靶材使用率較低，結構復雜，一般方法是用固定式永磁體或電磁線圈控制磁場方式，靶材磁場約束采用電磁線圈方式的磁場約束能力弱，離化率低，所以生產(chǎn)成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于目前真空陰極磁場存在的上述不足，本發(fā)明提供一種靶材刻蝕范圍大，生產(chǎn)成本低的真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場。
[0004]為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術方案:
[0005]一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和靶系統(tǒng)，所述驅(qū)動系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，所述磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和靶系統(tǒng)之間，所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，所述軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，所述軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，所述內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，所述靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。
[0006]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述驅(qū)動系統(tǒng)包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。
[0007]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述軸承回轉(zhuǎn)體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)，所述第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。
[0008]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述磁場系統(tǒng)還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。
[0009]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述旋轉(zhuǎn)座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上。
[0010]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述旋轉(zhuǎn)座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉(zhuǎn)座板上。
[0011]—種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法，所述真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和靶系統(tǒng)，所述驅(qū)動系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，所述磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和靶系統(tǒng)之間，所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，所述軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，所述軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，所述內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，所述靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，其特征在于:所述真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法包含以下步驟:
[0012]把驅(qū)動系統(tǒng)和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上；
[0013]把從動齒輪套入軸承座中；
[0014]把軸承回轉(zhuǎn)體固定到軸承座上；
[0015]把內(nèi)極板固定在內(nèi)磁座上；
[0016]把內(nèi)極板固定在連接板上；
[0017]把連接板固定在從動齒輪上；
[0018]將靶材固定在靶座上。
[0019]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述驅(qū)動系統(tǒng)包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合，所述把驅(qū)動系統(tǒng)和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上步驟具體可包含以下步驟:
[0020]將電機和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上；
[0021]將主動齒輪固定在電機軸端。
[0022]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述軸承回轉(zhuǎn)體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)，所述第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上，所述把軸承回轉(zhuǎn)體固定到軸承座上步驟具體可包含以下步驟:
[0023]把第一滾動軸承裝入軸承座中；
[0024]依次裝入軸承定位內(nèi)環(huán)、軸承定位外環(huán)和第二滾動軸承；
[0025]把軸承壓蓋固定到軸承座上。
[0026]依照本發(fā)明所述另一個方面，所述磁場系統(tǒng)還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中，所述旋轉(zhuǎn)座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，所述把連接板固定在從動齒輪上之后還包含以下步驟:
[0027]把永磁體分別鑲嵌到外極板和外磁座中；
[0028]把外極板固定在外磁鋼座上；
[0029]將第一支撐柱一端擰緊到外磁鋼座上；
[0030]將第一支撐柱另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上；
[0031 ] 將第二支撐柱一端擰緊到靶座上；
[0032]將第二支撐柱另一端用螺釘固定到旋轉(zhuǎn)座板上。
[0033]本發(fā)明實施的優(yōu)點:一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和革E系統(tǒng)，驅(qū)動系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和革E系統(tǒng)之間，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，連接座固定在從動齒輪上，磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，靶材固定在靶座下面，這樣驅(qū)動系統(tǒng)可以帶動內(nèi)磁座和內(nèi)極板一起不停的旋轉(zhuǎn)，從而使靶材刻蝕范圍加大，降低了生產(chǎn)成本；旋轉(zhuǎn)座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，第一支撐柱一端固定到外磁座上，第一支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，第二支撐柱一端固定到靶座上，第二支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，旋轉(zhuǎn)座板上還設有把手，把手固定在旋轉(zhuǎn)座板上，因此本發(fā)明真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場結構也簡單，維修也方便。
【附圖說明】
[0034]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0035]圖1為本發(fā)明真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的立體示意圖；
[0036]圖2為本發(fā)明真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的爆炸式結構示意圖；
[0037]圖3為本發(fā)明真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0038]下面將結合附圖對本發(fā)明作進一步說明。
[0039]如圖1、圖2、圖3所示，一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，包括驅(qū)動系統(tǒng)101、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)102、磁場系統(tǒng)103和靶系統(tǒng)104，驅(qū)動系統(tǒng)101位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)102上，磁場系統(tǒng)103位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)102和靶系統(tǒng)104之間，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)102包括旋轉(zhuǎn)座板201、軸承座202和軸承回轉(zhuǎn)體203，軸承座202固定在旋轉(zhuǎn)座板201上，軸承回轉(zhuǎn)體203固定在軸承座202上，軸承回轉(zhuǎn)體203包括從動齒輪204和連接座205，連接座205固定在從動齒輪204上，磁場系統(tǒng)103包括內(nèi)磁座206和內(nèi)極板207，內(nèi)極板207分別固定在內(nèi)磁座206和連接座205上，靶系統(tǒng)104包括靶座208和靶材209，靶材209固定在靶座208下面，這樣驅(qū)動系統(tǒng)101可以帶動內(nèi)磁座206和內(nèi)極板207 —起不停的旋轉(zhuǎn)，從而使靶材刻蝕范圍加大，降低生產(chǎn)成本。
[0040]在實際應用中，驅(qū)動系統(tǒng)101可包括電機210和主動齒輪211，電機210固定在旋轉(zhuǎn)座板201上，主動齒輪211固定在電機210軸端，并與從動齒輪204緊扣吻合，軸承回轉(zhuǎn)體203還包括軸承壓蓋212、第一滾動軸承213、第二滾動軸承222、軸承定位內(nèi)環(huán)214和軸承定位外環(huán)215，第一滾動軸承213、第二滾動軸承222、軸承定位內(nèi)環(huán)214和軸承定位外環(huán)215都位于軸承壓蓋212上，軸承壓蓋212固定在軸承座202上，磁場系統(tǒng)103還可包括永磁體216、外磁座217和外極板218，永磁體216分別在外磁座217和外極板218中，旋轉(zhuǎn)座板201上設有第一支撐柱220和第二支撐柱221，第一支撐柱220 —端固定到外磁座217上，第一支撐柱220的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板201上，第二支撐柱221 —端固定到靶座208上，第二支撐柱221的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板201上，旋轉(zhuǎn)座板201上還設有把手219，把手219固定在旋轉(zhuǎn)座板201上，安裝時首先把從動齒輪204套入軸承座202中，把第一滾動軸承213裝入軸承座202中，再依次裝入軸承定位內(nèi)環(huán)214、軸承定位外環(huán)215和第二滾動軸承222，裝配到位后，用螺釘把軸承壓蓋212固定到軸承座202上壓緊軸承內(nèi)圈，由于內(nèi)極板207分別用螺釘固定在內(nèi)磁座206和連接座205上，連接座205用螺釘固定到從動齒輪204上壓緊軸承外圈，所以裝配成為一整體件再后用螺釘固定到旋轉(zhuǎn)座板102上面，外極板218用螺釘固定在外磁座217上，將第一支撐柱220 —端擰緊固定到外磁座217上，安裝后保證高度一致，第一支撐柱220另一端用螺釘固定到旋轉(zhuǎn)座板201上面；將第二支撐柱221一端擰緊固定到靶座208上，安裝后保證高度一致，第二支撐柱221另一端用螺釘固定到旋轉(zhuǎn)座板201上面，最后將把手219用螺釘固定在旋轉(zhuǎn)座板201上面。由此可見，本發(fā)明真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場結構十分簡單，維修方便，提高了生產(chǎn)效率。
[0041]需要測試時，啟動電機210，主動齒輪211帶動從動齒輪204旋轉(zhuǎn)，使軸承回轉(zhuǎn)體203、永磁體216、外磁座217、內(nèi)磁座206、外極板218和內(nèi)極板207也一起旋轉(zhuǎn)，在真空狀態(tài)下，引弧電極與陰極表面在通斷瞬間引燃電弧放電，靶材209離化率高，磁場約束力強，膜層致密性好，靶材209刻蝕面積大，利用固體靶材209，沒有熔池，靶材209可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻。
[0042]本發(fā)明真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和靶系統(tǒng)，所述驅(qū)動系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，所述磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和靶系統(tǒng)之間，所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，所述軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，所述軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，所述內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，所述靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，所述真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法包含以下步驟:
[0043]把驅(qū)動系統(tǒng)和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上；
[0044]把從動齒輪套入軸承座中；
[0045]把軸承回轉(zhuǎn)體固定到軸承座上；
[0046]把內(nèi)極板固定在內(nèi)磁座上；
[0047]把內(nèi)極板固定在連接板上；
[0048]把連接板固定在從動齒輪上；
[0049]把靶材固定在靶座上。
[0050]為了更清楚的理解本發(fā)明的組裝方法，以下介紹本發(fā)明具體的操作步驟和實現(xiàn)效果O
[0051]步驟S1:把驅(qū)動系統(tǒng)和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上；
[0052]在實際應用中，步驟SI驅(qū)動系統(tǒng)可包括電機和主動齒輪，先把電機直接用螺釘固定在旋轉(zhuǎn)座板上，或者把電機用螺釘固定在電機固定板上，再將電機固定板用螺釘或電焊接固定在旋轉(zhuǎn)板上，然后把主動齒輪用螺釘固定在電機軸端，最后把軸承座用螺釘或電焊接固定在旋轉(zhuǎn)座板上，這樣電機可以帶動主動齒輪旋轉(zhuǎn)。
[0053]步驟S2:把從動齒輪套入軸承座中；
[0054]在實際應用中，步驟S2把從動齒輪與主動齒輪緊扣吻合后，直接用力壓入軸承座中套住，這樣拆裝方便。
[0055]步驟S3:把軸承回轉(zhuǎn)體固定到軸承座上；
[0056]在實際應用中，步驟S3軸承回轉(zhuǎn)體還可包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)，第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)在軸承壓蓋上，軸承壓蓋固定在軸承座上，把第一滾動軸承裝入軸承座中，然后依次把軸承定位內(nèi)環(huán)、軸承定位外環(huán)和第二滾動軸承裝入軸承中，最后把軸承壓蓋用螺釘固定到軸承座上，這樣電機可以帶動從動齒輪旋轉(zhuǎn)。
[0057]步驟S4:把內(nèi)極板固定在內(nèi)磁座上；
[0058]在實際應用中，步驟S4把內(nèi)極板用螺釘或強力膠固定在內(nèi)磁座上。
[0059]步驟S5:把內(nèi)極板固定在連接板上；
[0060]在實際應用中，步驟S5把內(nèi)極板和內(nèi)磁座一體件用螺釘固定在連接板上。
[0061]步驟S6:把連接板固定在從動齒輪上；
[0062]在實際應用中，步驟S6把內(nèi)極板、內(nèi)磁座和連接板一體件用螺釘固定在從動齒輪上之后，這樣電機可以帶動軸承回轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)，由于磁場系統(tǒng)還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中，所述旋轉(zhuǎn)座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，第一支撐柱一端固定到外磁座上，第一支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，第二支撐柱一端固定到靶座上，第二支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，因此，再把永磁體分別鑲嵌到外極板和外磁座中，然后把外極板用螺釘或強力膠固定在外磁座上，最后把第一支撐柱一端的外螺紋桿擰緊固定到外磁座的內(nèi)螺紋孔中，或用螺釘固定到外磁座上，另一端用螺釘或電焊接固定到旋轉(zhuǎn)座板上，把第二支撐柱一端的外螺紋桿擰緊到靶座的內(nèi)螺紋孔中，或用螺釘固定到靶座上，另一端用螺釘或電焊接固定到旋轉(zhuǎn)座板上，這樣電機可以帶動磁場系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)。
[0063]步驟S7:將靶材固定靶座上；
[0064]在實際應用中，步驟S7將靶材用螺釘固定在靶座上，或在靶座上設有卡件將靶材固定在靶座上，或在靶座上設仿型靶材套將靶材固定在靶座上，最后將把手用螺釘或電焊接固定在旋轉(zhuǎn)座板上，這樣形成一整套本發(fā)明裝置，結構結單，維修方便，而且磁場可以不停的旋轉(zhuǎn)在靶材上，使靶材刻蝕范圍加大，大大降低了生產(chǎn)成本。
[0065]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本領域技術的技術人員在本發(fā)明公開的技術范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和靶系統(tǒng)，其特征在于:所述驅(qū)動系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，所述磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和靶系統(tǒng)之間，所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，所述軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，所述軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，所述內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，所述靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。2.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，其特征在于:所述驅(qū)動系統(tǒng)包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。3.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，其特征在于:所述軸承回轉(zhuǎn)體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)，所述第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。4.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，其特征在于:所述磁場系統(tǒng)還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。5.按照權利要求1至4之一所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上。6.按照權利要求5所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉(zhuǎn)座板上。7.—種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法，所述真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場包括驅(qū)動系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、磁場系統(tǒng)和靶系統(tǒng)，所述驅(qū)動系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)上，所述磁場系統(tǒng)位于旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)和靶系統(tǒng)之間，所述旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)包括旋轉(zhuǎn)座板、軸承座和軸承回轉(zhuǎn)體，所述軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述軸承回轉(zhuǎn)體固定在軸承座上，所述軸承回轉(zhuǎn)體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統(tǒng)包括內(nèi)磁座和內(nèi)極板，所述內(nèi)極板分別固定在內(nèi)磁座和連接座上，所述靶系統(tǒng)包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，其特征在于:所述真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法包含以下步驟: 把驅(qū)動系統(tǒng)和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上； 把從動齒輪套入軸承座中； 把軸承回轉(zhuǎn)體固定到軸承座上； 把內(nèi)極板固定在內(nèi)磁座上； 把內(nèi)極板固定在連接板上； 把連接板固定在從動齒輪上； 把靶材固定在靶座上。8.按照權利要求7所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法，其特征在于:所述驅(qū)動系統(tǒng)包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉(zhuǎn)座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合，所述把驅(qū)動系統(tǒng)和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上步驟具體可包含以下步驟: 將電機和軸承座固定在旋轉(zhuǎn)座板上； 將主動齒輪固定在電機軸端。9.按照權利要求7所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法，其特征在于:所述軸承回轉(zhuǎn)體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)，所述第一滾動軸承、軸承定位內(nèi)環(huán)、第二滾動軸承和軸承定位外環(huán)都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上，所述把軸承回轉(zhuǎn)體固定到軸承座上步驟具體可包含以下步驟: 把第一滾動軸承裝入軸承座中； 依次裝入軸承定位內(nèi)環(huán)、軸承定位外環(huán)和第二滾動軸承； 把軸承壓蓋固定到軸承座上。10.按照權利要求7至9之一所述的一種真空陰極旋轉(zhuǎn)永磁體動態(tài)磁場的組裝方法，其特征在于:所述磁場系統(tǒng)還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中，所述旋轉(zhuǎn)座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上，所述把連接板固定在從動齒輪上之后還包含以下步驟: 把永磁體分別鑲嵌到外極板和外磁座中； 把外極板固定在外磁鋼座上； 將第一支撐柱一端固定到外磁鋼座上； 將第一支撐柱另一端固定到旋轉(zhuǎn)座板上； 將第二支撐柱一端固定到靶座上； 將第二支撐柱另一端用螺釘固定到旋轉(zhuǎn)座板上。
【文檔編號】C23C14/35GK105986234SQ201510052402
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月2日
【發(fā)明人】王叔暉, 孟慶學
【申請人】上海法德機械設備有限公司