一種具有ag+ar+af鍍膜的視窗保護面板的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，屬于視窗表面處理技術(shù)領(lǐng)域。為了解決現(xiàn)有視窗保護面板不能同時兼具高透光率、低色差和高耐磨的問題，提供一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，該方法包括選基材、加工AG膜層、鍍AR膜層、鍍Al2O3膜和鍍AF膜層，最終得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。本發(fā)明實現(xiàn)既具有高透光率的效果，又具有低色差值的效果，且各膜層之間的結(jié)合力好，同時還兼具防指紋、防眩光和抗污的高性能要求。鍍AR膜和鍍Al2O3膜及鍍AF膜都在真空鍍膜腔內(nèi)進行，減少了中間過程轉(zhuǎn)換，簡化了工藝操作，提高了效率。
【專利說明】
一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，屬于視窗表面處理技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學技術(shù)的迅速發(fā)展，在諸如手機、掌上電腦、車載導航儀、筆記本電腦等電子產(chǎn)品上廣泛地應(yīng)用了觸摸屏(視窗保護面板)，各種視窗保護屏對鍍膜的性能也提出了特殊的光學需求。如現(xiàn)有的保護面板(如顯示器保護屏、手機視窗保護屏等)一般采用一些玻璃或PMMA等基板表面進行的表面再加工后使具有一些特殊的效果。具體來說，防眩光玻璃視窗保護屏具有防眩光效果、減反射玻璃具有高透光率和低反射的效果以及防指紋玻璃具有抗指紋、抗臟污的效果。也有通過使同時兼具上述幾種效果的視窗保護屏。如中國專利(公開號:CN103950248A)公開的一種防眩光減反射抗指紋玻璃的制備方法，該方法具體為先提供玻璃基材I;然后在玻璃基材I的表面噴涂防眩光膜層2;將噴涂有防眩光膜層2的玻璃基材I置于150°C?400°C溫度下烘烤20分鐘?60分鐘；利用真空鍍膜線在防眩光膜層2上濺鍍AR減反射膜層3，其減反射膜層3具體為依次濺鍍第一 T12層30、第一 S12層31、第二T12層32和第二 S12層33;最后在AR減反射膜層3上噴涂防指紋膜層4;將噴涂有防指紋膜層4的玻璃基材I置100 °C?180 °C溫度下烘烤20分鐘?60分鐘。該方法得到得防眩光減反射抗指紋玻璃雖然也具有防眩光減反射及抗指紋和抗污的效果，但由于其防指紋層是通過噴涂形成，存在結(jié)合力不足的問題，容易使膜層之間形成空隙或脫落現(xiàn)象，從而影響產(chǎn)品的透光率和色差性能差的問題，同時采用T12與S12交替形成的膜層在色差表現(xiàn)方面也不是很理想，而表面耐磨性能的好壞也會影響到增透膜層是否被磨損而影響透光率和色差的性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明針對以上現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，使該視窗保護面板同時兼具高透光率、低色差和高耐磨的效果。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案得以實現(xiàn)的，一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，該方法包括以下步驟:
[0005]A、選基材:根據(jù)視窗保護面板的尺寸大小，選取相應(yīng)的透光基材進行加工成相應(yīng)尺寸大小的透光基板；
[0006]B、加工AG膜層:將透光基板的上表面進行加工處理使在透光基板的上表面上形成AG膜層，用于下一步鍍膜；
[0007]C、鍍AR膜層:經(jīng)過步驟B鍍膜之后，放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，先在AG膜層的表面蒸鍍ZrO2膜，再在ZrO2膜的表面蒸鍍Si3N4膜;再在Si3N4膜的表面蒸鍍S12膜，重復上述步驟若干次，使形成排列次序為uZrO2膜-Si3N4膜-S12膜”的重復交替鍍設(shè)方式形成的AR膜層；
[0008]D、鍍Al2O3膜:鍍AR膜層結(jié)束后，在AR膜層的表面蒸鍍Al2O3膜；
[0009]F、鍍AF膜層:再控制溫度在350°C?450°C的條件下使在Al2O3膜的表面鍍上AF膜層，得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。
[0010]本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，通過蒸鍍ZrO2膜、Si3N4膜與S12膜，并使它們之間形成uZrO2膜-Si3N4膜-S12膜”的重復交替鍍膜的方式，不僅具有高透光率和低反射性能的效果，最重要的是采用“Zr02膜-Si3N4膜-S12膜”交替形成的增透膜層還能夠使形成的視窗保護面板具有低色差值的效果；另一方面，由于S12膜本來可以作為過渡材料使用能夠起到一定的粘結(jié)作用，也能夠提高膜層之間的結(jié)合力，從而使形成的膜層具有更好的穩(wěn)定性，不易出現(xiàn)空隙或脫落現(xiàn)象，保證了透光率的性能以及色差效果;而通過在增透膜層外表面鍍AI2O3膜既能夠提高耐磨性能；同時，通過蒸鍍的方式在350°C?450°(:的條件下能夠使AF膜層更好的粘結(jié)在Al2O3膜的表面，使各膜層之間不易出現(xiàn)孔隙等現(xiàn)象，從而實現(xiàn)兼具高透光率、低色差和高耐磨的效果；同時，還兼具防眩光和防指紋及防污的效果。
[0011]在上述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法中，作為優(yōu)先，步驟C中所述鍍AR膜層具體為:
[0012]a、經(jīng)過步驟B鍍膜之后，將具有AG膜層的透光基板放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，抽真空后，向鍍膜腔室內(nèi)通入氧氣和氬氣，再打開冗池靶源，在AG膜層的表面蒸鍍ZrO2膜;鍍ZrO2膜結(jié)束后，先關(guān)閉ZrO2靶源以及停止氧氣通入，再打開硅靶源，并通入氮氣，使在ZrO2膜的表面蒸鍍Si3N4膜;鍍Si3N4膜結(jié)束后，直接停止氮氣通入，并關(guān)閉硅靶源，再重新通入氧氣和打開S12靶源，使在Si3N4膜的表面蒸鍍S12膜，整個鍍膜過程中保護氬氣通入。
[0013]b、重復步驟a兩次，使最終形成的AR膜層中各膜的排列次序為uZrO2膜-Si3N^-S12膜-ZrO2膜-Si3N4膜-S12膜-ZrO2膜-Si3N4膜-S12膜”。通過采用該結(jié)構(gòu)的增透膜層不僅能夠使產(chǎn)品具有低色差值和高透光率的效果。
[0014]在上述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法中，作為優(yōu)選，步驟C中所述鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度為90°C?110°C，且真空度為1.5x10—3Pa?2.0x10—3Pa。目的是為了使鍍膜過程中提高穩(wěn)定性，使鍍膜材料均勻的蒸鍍表面，形成厚度較均勻，從而也能夠提高對色差的要求和透光率的性能。
[0015]在上述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法中，作為優(yōu)選，步驟F中鍍AF膜層之后還包括在溫度為70°C?90°C，且濕度為80%以上的條件下放置處理30分鐘?70分鐘。目的是為了使防指紋膜層更好的附著在增透膜層的表面，提高附著力的作用，從而使不易出現(xiàn)脫落或局部出現(xiàn)孔隙的現(xiàn)象，提高透光率和對色差的要求。
[0016]在上述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法中，作為優(yōu)選，步步驟B中所述透光基板采用鋼化玻璃加工而成，且步驟B中所述AG膜層具體為:通過在透光基板的上表面進行蝕刻處理后得到相應(yīng)的AG膜層。通過直接在透光基板的表面進行蝕度處理后，使表面具有一定的霧度、光澤度和粗糙度，從而能夠達到防眩光的要求，同時，由于表面具有一定的粗糙度，又能夠使增透膜層與AG膜層之間具有更好的結(jié)合力，也保證了增透膜層的光學性能，有利于提高透光率和對色差的要求。作為進一步的優(yōu)選，所述AG膜層的表面粗糙度<0.03。提高膜層之間的結(jié)合力。
[0017]在上述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法中，作為另一種實施方式，步驟B中所述透光基板采用鋼化玻璃、PMMA或PC材料制成;且步驟B中所述AG膜層具體為:通過在透光基板上表面噴涂防眩光藥液使在透光基板的上表面形成一層薄膜，再通過UV固化，得到相應(yīng)的AG膜層。同樣能夠?qū)崿F(xiàn)防眩光的效果。作為進一步的優(yōu)選，所述防眩光藥液有效成分為二氧化硅，且二氧化硅的質(zhì)量含量為0.0lwt %?5.0wt %。使防眩光藥液中有效成分為二氧化硅，既能夠保證具有較好的防眩光效果，同時由于二氧化硅成分在后續(xù)的鍍膜過程中能夠使防眩光膜層與增透膜層和基板之間更好的結(jié)合，提高結(jié)合力，使不易出現(xiàn)脫落或出現(xiàn)縫隙的現(xiàn)象，作為優(yōu)選，所述防眩光藥液包括以下成分的質(zhì)量百分比:
[0018]二氧化娃:0.0lwt % ?5.0wt % ；鹽酸:0.4wt % ?0.5wt % ;硝酸:0.2wt % ?
3.其余為溶劑。所述溶劑如甲醇、乙醇或異丙醇等揮發(fā)性溶劑均可采用，還可以在防眩光藥液中加入少量的助劑，如粘合劑等。
[0019]綜上所述，本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點:
[0020]1.本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，通過采用鍍ZrO2膜、Si3N4膜與鍍S12膜交替進行的方式使形成交替膜，實現(xiàn)既具有高透光率的效果，又具有低色差值的效果，同時，還能夠使各膜層之間的結(jié)合力好，膜層之間基本上不會出現(xiàn)脫落或縫隙現(xiàn)象，也間接提高了透光率和低色差值的性能，實現(xiàn)了整體性能的提高，除達到以上效果的同時還兼具防指紋、防眩光和抗污的高性能要求。
[0021 ] 2.本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，由于鍍AR膜的整個過程和鍍Al2O3膜及鍍AF膜的整個過程都在真空鍍膜腔內(nèi)進行，減少了中間的轉(zhuǎn)換過程，大大的簡化了工藝，也有利于形成高精度的膜層結(jié)構(gòu)，提高和保證產(chǎn)品的整體性能。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明得到的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2是比較例I中得到的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖中，1、透光基板；2)6膜層；3)1?膜層；31、2“2膜；32、513仏膜；33、5102膜；4、Al2O3膜;5、AF 膜層。
【具體實施方式】
[0025]下面通過具體實施例和附圖，對本發(fā)明的技術(shù)方案作進一步具體的說明，但是本發(fā)明并不限于這些實施例。
[0026]實施例1
[0027]本實施例中具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板采用以下方法制造得到:
[0028]根據(jù)視窗保護面板的尺寸大小，其的視窗保護面板可以是手機視窗保護屏，也可以是電腦顯示屏，選取透光的鋼化玻璃進行加工成相應(yīng)尺寸大小的透光基板I，再進行清洗，采用弱堿性的碳酸氫鈉水溶液進行堿洗10分鐘，然后，采用清水沖洗干凈后干燥進行，干燥后用于下一步驟；
[0029]將透光基板I的上表面采用蝕刻液進行蝕刻處理，通過檢測使鋼化玻璃的上表面的霧度達到8%，粗糙度Ra達到彡0.03，其中，蝕刻液為HF和HCl的水溶液，且HF的質(zhì)量含量為12%，HCl的含量為5%，其余為水，達到要求后，具有AG膜層2的透光基板I;
[0030]然后，在AG膜層2的表面蒸鍍AR膜層3，具體為:將具有AG膜層2的透光基板I放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，然后，進行抽真空和加熱，使鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度達到90°C，真空度達到2.0x10—3Pa,再通入氬氣和氧氣，控制氬氣的通入流量為lOsccm，氧氣的流量為40SCCm，然后，打開2抑2靶源進行蒸鍍使在AG膜層2的表面蒸鍍上一層ZrO2膜31，鍍ZrO2膜31結(jié)束后，先關(guān)閉ZrO2靶源以及停止氧氣通入，再打開硅靶源，并通入氮氣，使氮氣的流量為20SCCm，使在ZrO2膜31的表面蒸鍍Si3N4膜32;然后，停止氮氣通入，并關(guān)閉硅靶源，重新通入氧氣，使氧氣的流量為20SCCm，并打開5102靶源，使在Si3N4膜32的表面蒸鍍S12膜33，整個鍍膜過程中始終保持氬氣通入，重復上述蒸鍍ZrO2膜31、Si3N4膜32與S12膜33的步聚2次，使最終形成的AR膜層3中各膜的排列次序為uZrO2膜31-Si3N4膜32-Si02膜33-Zr02膜31-Si3N4膜32-Si02膜33-Zr02膜31-Si3N4膜32-Si02膜33”；無需另外取出半成品材料，直接在真空鍍膜機的同一鍍膜室內(nèi)進行蒸鍍，即將蒸鍍AR膜層3時最后一次鍍S12膜33對應(yīng)的S12靶源關(guān)閉，再打開Al2O3靶源進行蒸鍍使在AR膜層3的表面蒸鍍一層Al2O3膜4，蒸鍍結(jié)束后，將Al2O3靶源關(guān)閉，并停止通入氧氣，先將鍍膜腔室內(nèi)的溫度升溫至350°C，再打開AF膜5對應(yīng)的靶源，使在Al2O3膜4的表面鍍上一層AF膜層5，再關(guān)閉氬氣和AF膜5對應(yīng)的靶源，排真空及冷卻后，取出相應(yīng)的半成品放入溫度為90°C，且濕度為80%以上的條件下放置處理30分鐘，處理結(jié)束后，冷卻，得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。
[0031]實施例2
[0032]本實施例中具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的具體制備方法同實施例1一致，這里不再贅述，區(qū)別僅在于其中的鍍AR膜層3、鍍Al2O3膜4和鍍AF膜層5與實施例1不同，具體的鍍膜方式如下:
[0033]在AG膜層2的表面蒸鍍AR膜層3，具體為:將具有AG膜層2的透光基板I放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，然后，進行抽真空和加熱，使鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度達到110°C，真空度達到1.5x10—3Pa,再通入氬氣和氧氣，控制氬氣的通入流量為lOsccm，氧氣的流量為40SCCm，然后，打開2抑2靶源進行蒸鍍使在AG膜層2的表面蒸鍍上一層ZrO2膜31，使ZrO2膜31的厚度為10.5nm，鍍ZrO2膜31結(jié)束后，先關(guān)閉ZrO2靶源以及停止氧氣通入，再打開硅靶源，并通入氮氣，使氮氣的流量為20SCCm，使在ZrO2膜31的表面蒸鍍Si3N4膜32，Si3N4膜32的厚度為12.2nm;然后，停止氮氣通入，并關(guān)閉娃革E源，重新通入氧氣，使氧氣的流量為20sccm，并打開3102靶源，使在Si3N4膜32的表面蒸鍍S12膜33，S12膜33的厚度為15.lnm，整個鍍膜過程中始終保持氬氣通入，重復上述蒸鍍ZrO2膜31、Si3N4膜32與S12膜33的步聚2次，但各層的厚度不同，使最終形成的AR膜層3中各膜的排列次序為“厚度為10.5nm的ZrO2膜31-厚度為12.2nm的Si3N4膜32-厚度為15.Inm的S12膜33-厚度為20nm的ZrO2膜31-厚度為30.87nm的Si3N4膜32-厚度為1nm的S12膜33-厚度為11.5nm的ZrO2膜31-厚度為18.6nm的Si3N4膜32-厚度為85.4nm的S12膜33”；無需另外取出半成品材料，直接在真空鍍膜機的同一鍍膜室內(nèi)進行蒸鍍，即將蒸鍍AR膜層3時最后一次鍍S12膜33對應(yīng)的S12靶源關(guān)閉，再打開Al2O3靶源進行蒸鍍使在AR膜層3的表面蒸鍍一層Al2O3膜4，使Al2O3膜4的厚度為Ιμπι，蒸鍍結(jié)束后，將Al2O3靶源關(guān)閉，并停止通入氧氣，先將鍍膜腔室內(nèi)的溫度升溫至350°C，再打開AF膜5對應(yīng)的靶源，使在Al2O3膜4的表面鍍上一層AF膜層5，再關(guān)閉氬氣和AF膜5對應(yīng)的靶源，排真空及冷卻后，取出相應(yīng)的半成品放入溫度為70°C，且濕度為80%以上的條件下放置處理30分鐘，處理結(jié)束后，冷卻，得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。將得到的進行相關(guān)性能的測試，具體測試結(jié)果為產(chǎn)品對波長為400nm-700nm波長范圍段的反射率<0.5%，也就是實現(xiàn)透光率達到99.5%以上，實現(xiàn)高透光率的效果，色差值能夠保證在-1I，-2^Lb*^2的高要求，具有高精度的效果。同時，本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板兼具抗指紋和抗臟效果，其初始水滴角在120度以上，最高能夠達到130度以上，具有抗指紋和抗臟的特性。另外，在抗摩擦試驗中，通過采用直徑為20mm的000#鋼絲絨加500g壓力來回摩擦能夠達到2500次以上，頻率達到50次/分鐘。
[0034]實施例3
[0035]本實施例中具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的具體制備方法同實施例2—致，這里不再贅述，區(qū)別僅在于其中的鍍AR膜層中各膜的交替重復次數(shù)不同，具體的AR鍍膜方式如下:
[0036]在AG膜層2的表面蒸鍍AR膜層3，具體為:將具有AG膜層2的透光基板I放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，然后，進行抽真空和加熱，使鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度達到100°C，真空度達到1.8x10—3Pa,再通入氬氣和氧氣，控制氬氣的通入流量為lOsccm，氧氣的流量為40SCCm，然后，打開2抑2靶源進行蒸鍍使在AG膜層2的表面蒸鍍上一層ZrO2膜31，使ZrO2膜31的厚度為10.5nm，鍍ZrO2膜31結(jié)束后，先關(guān)閉ZrO2靶源以及停止氧氣通入，再打開硅靶源，并通入氮氣，使氮氣的流量為20SCCm，使在ZrO2膜31的表面蒸鍍Si3N4膜32，Si3N4膜32的厚度為7.2nm;然后，停止氮氣通入，并關(guān)閉硅靶源，重新通入氧氣，使氧氣的流量為20sCCm，并打開3池靶源，使在Si3N4膜32的表面蒸鍍S12膜33 ,S12膜33的厚度為30.5nm，整個鍍膜過程中保持氬氣通入，重復上述蒸鍍ZrO2膜31、Si3N4膜32與S12膜33的步聚2次，但各層的厚度不同，使最終形成的AR膜層3中各膜的排列次序為“厚度為10.5nm的ZrO2膜31-厚度為7.2nm的Si3N4膜32-厚度為30.5nm的S12膜33-厚度為14.Inm的ZrO2膜31-厚度為36.5nm的Si3N4膜32-厚度為11.6nm的S12膜33-厚度為15.Inm的ZrO2膜31-厚度為28.9nm的Si3N4膜32-厚度為175.3nm的S12膜33-厚度為7.1nm的ZrO2膜31-厚度為99.5nm的Si3N4膜32-厚度為155.3nm的S12膜33-厚度為 16.4nm的ZrO2膜31-厚度為89.7nm的Si3N4膜32-厚度為78.9nm的S12膜33”；無需另外取出半成品材料，直接在真空鍍膜機的同一鍍膜室內(nèi)進行蒸鍍，SP將蒸鍍AR膜層3時最后一次鍍S12膜33對應(yīng)的S12靶源關(guān)閉，繼續(xù)后續(xù)的操作，其中，后續(xù)的操作同實施例3—致，最終得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。將得到的進行相關(guān)性能的測試，具體測試結(jié)果為產(chǎn)品對波長為400nm-700nm波長范圍段的反射率<0.5%，也就是實現(xiàn)透光率達到99.5%以上，實現(xiàn)高透光率的效果，色差值能夠保證在-l<La*<I，-2<Lb*<2的高要求，具有高精度的效果。同時，本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板兼具抗指紋和抗臟效果，其初始水滴角在120度以上，最高能夠達到130度以上，具有抗指紋和抗臟的特性。另外，在抗摩擦試驗中，通過采用直徑為20mm的000#鋼絲絨加500g壓力來回摩擦能夠達到2500次以上，頻率達到50次/分鐘。
[0037]實施例4
[0038]本實施例中具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板采用以下方法制造得到:
[0039]根據(jù)視窗保護面板的尺寸大小，其的視窗保護面板可以是手機視窗保護屏，也可以是電腦顯示屏，選取透光的鋼化玻璃板材進行加工成相應(yīng)尺寸大小的透光基板I，再進行清洗，采用弱堿性的碳酸氫鈉水溶液進行堿洗10分鐘，然后，采用清水沖洗干凈后干燥進行，干燥后用于下一步驟；
[0040]然后在透光基板I的上表面噴涂防眩光藥液使在透光基板I的上表面形成一層薄膜，再通過UV固化，UV的能量為150mJ/cm3，得到相應(yīng)的具有AG膜層2的透光基板I;其中，防眩光藥液中二氧化硅的含量為5.0wt%，甲醇的含量為15.0wt%，異丙醇的含量為35wt%，其余為助劑，質(zhì)量濃度為0.5wt %的鹽酸溶液的含量為0.5wt%,質(zhì)量濃度為0.3wt %的圓03溶液的含量為0.2wt%，其余為乙醇。當然還可以加入少量的粘合劑等。溶劑能夠有效揮發(fā)，且加入的鹽酸和硝酸能夠更有效的與基板上的成分進行反應(yīng)或部分腐蝕，從而使防眩光膜層與玻璃基板之間形成更好的結(jié)合。
[0041]然后，在AG膜層2的表面蒸鍍AR膜層3，具體為:將具有AG膜層2的透光基板I放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，然后，進行抽真空和加熱，使鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度達到100°C，真空度達到1.5x10—3Pa,再通入氬氣和氧氣，控制氬氣的通入流量為lOsccm，氧氣的流量為40SCCm，然后，打開2抑2靶源進行蒸鍍使在AG膜層2的表面蒸鍍上一層ZrO2膜31，使ZrO2膜31的厚度為10.5nm，鍍ZrO2膜31結(jié)束后，先關(guān)閉ZrO2靶源以及停止氧氣通入，再打開硅靶源，并通入氮氣，使氮氣的流量為20SCCm，使在ZrO2膜31的表面蒸鍍Si3N4膜32，Si3N4膜32的厚度為
12.2nm;然后，停止氮氣通入，并關(guān)閉娃革E源，重新通入氧氣，使氧氣的流量為20sccm，并打開3102靶源，使在Si3N4膜32的表面蒸鍍S12膜33，S12膜33的厚度為15.lnm，整個鍍膜過程中保持氬氣通入，重復上述蒸鍍ZrO2膜31、Si3N4膜32與S12膜33的步聚2次，但各層的厚度不同，使最終形成的AR膜層3中各膜的排列次序為“厚度為10.5nm的ZrO2膜31-厚度為12.2nm的Si3N4膜32-厚度為15.Inm的S12膜33-厚度為20nm的ZrO2膜31-厚度為30.87nm的Si3N4膜32-厚度為1nm的S12膜33-厚度為11.5nm的ZrO2膜31-厚度為18.6nm的Si3N4膜32-厚度為85.4nm的S12膜33”；無需另外取出半成品材料，直接在真空鍍膜機的鍍膜室內(nèi)進行蒸鍍，即將蒸鍍AR膜層3時最后一次鍍S12膜33對應(yīng)的S12靶源關(guān)閉，再打開Al2O3靶源進行蒸鍍使在AR膜層的表面蒸鍍一層Al2O3膜4，使Al2O3膜4的厚度為3μπι，蒸鍍結(jié)束后，將Al2O3靶源關(guān)閉，并停止通入氧氣，先將鍍膜腔室內(nèi)的溫度升溫至450 V，再打開AF膜5對應(yīng)的靶源，使在Al2O3膜4的表面鍍上一層AF膜層5，再關(guān)閉氬氣和AF膜對應(yīng)的靶源，排真空及冷卻后，取出相應(yīng)的半成品放入溫度為80°C，且濕度為80%以上的條件下放置處理70分鐘，處理結(jié)束后，冷卻，得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。將得到的進行相關(guān)性能的測試，具體測試結(jié)果為產(chǎn)品對波長為400nm-700nm波長范圍段的反射率<0.5%，也就是實現(xiàn)透光率達到99.5%以上，實現(xiàn)高透光率的效果，色差值能夠保證在-1彡La乂I，-2彡Lb%2的高要求，具有高精度的效果。同時，本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板兼具抗指紋和抗臟效果，其初始水滴角在120度以上，最高能夠達到130度以上，具有抗指紋和抗臟的特性。另外，在抗摩擦試驗中，通過采用直徑為20mm的000#鋼絲絨加500g壓力來回摩擦能夠達到2500次以上，頻率達到50次/分鐘。
[0042]實施例5
[0043]本實施例的本實施例中具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的具體制備方法同實施例4 一致，這里不再贅述，區(qū)別僅在于其中透光基板I采用PC材料或PMMA材料制成，且其中的防眩光藥液中二氧化硅的含量為0.0lwt %，甲醇的含量為20.0wt%，異丙醇的含量為40wt %，其余為助劑，質(zhì)量濃度為0.5wt %的鹽酸溶液的含量為0.4wt %，質(zhì)量濃度為
0.2^%的順03溶液的含量為0.3的％，其余為乙醇。將得到的進行相關(guān)性能的測試，具體測試結(jié)果為產(chǎn)品對波長為400nm-700nm波長范圍段的反射率<0.5%，也就是實現(xiàn)透光率達到99.5 %以上，實現(xiàn)高透光率的效果，色差值能夠保證在-1I，_2<Lb*< 2的高要求，具有高精度的效果。同時，本具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板兼具抗指紋和抗臟效果，其初始水滴角在120度以上，最高能夠達到130度以上，具有抗指紋和抗臟的特性。另外，在抗摩擦試驗中，通過采用直徑為20mm的000#鋼絲絨加500g壓力來回摩擦能夠達到2500次以上，頻率達到50次/分鐘。
[0044]比較例I
[0045]本實施例中具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的具體制備方法同實施例2—致，這里不再贅述，區(qū)別僅在于其中的鍍AR膜層3與實施例2不同，具體的鍍膜方式如下:
[0046]在AG膜層2的表面蒸鍍AR膜層3，具體為:將具有AG膜層2的透光基板I放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，然后，進行抽真空和加熱，使鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度達到110°C，真空度達到1.5x10—3Pa,再通入氬氣和氧氣，控制氬氣的通入流量為lOsccm，氧氣的流量為40SCCm，然后，打開2抑2靶源進行蒸鍍使在AG膜層2的表面蒸鍍上一層ZrO2膜31，使ZrO2膜31的厚度為9.8nm，鍍ZrO2膜31結(jié)束后，先關(guān)閉ZrOdMJg，并打開3丨02靶源，使在ZrO2膜31的表面蒸鍍S12膜33，Si02膜33的厚度為35.lnm，整個鍍膜過程中始終保持氬氣通入，重復上述蒸鍍ZrO2膜31與S12膜33的步聚2次，但各層的厚度不同，使最終形成的AR膜層3中各膜的排列次序為“厚度為9.8nm的ZrO2膜31-厚度為35.1nm的S12膜33-厚度為39.5nm的ZrO2膜31-厚度為12.2nm的S12膜33-厚度為42.4nm的ZrO2膜31-厚度為80.3nm的S12膜33” ；無需另外取出半成品材料，直接在真空鍍膜機的同一鍍膜室內(nèi)進行蒸鍍，即將蒸鍍AR膜層3時最后一次鍍S12膜33對應(yīng)的S12靶源關(guān)閉，再打開Al2O3靶源進行蒸鍍使在AR膜層3的表面蒸鍍一層Al2O3膜4，使Al2O3膜4的厚度為Ιμπι，蒸鍍結(jié)束后，將Al2O3靶源關(guān)閉，并停止通入氧氣，先將鍍膜腔室內(nèi)的溫度升溫至350°C，再打開AF膜5對應(yīng)的靶源，使在Al2O3膜4的表面鍍上一層AF膜層5，再關(guān)閉氬氣和AF膜5對應(yīng)的靶源，排真空及冷卻后，取出相應(yīng)的半成品放入溫度為70°C，且濕度為80%以上的條件下放置處理30分鐘，處理結(jié)束后，冷卻，得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。將得到的進行相關(guān)性能的測試，具體測試結(jié)果為產(chǎn)品對波長為400nm-700nm范圍段的透光率彡98.4%，色差值在-3彡La%3，-4彡Lb%4。可見，單獨采用ZrO2膜31與S12膜33交替鍍設(shè)作為增透膜層，雖然具有較好的透光率，但在色差值性能方面還是相對較差，精度較差，也說明了本發(fā)明通過再加入Si3N4膜32對色差值性能有較大的影響，能夠?qū)崿F(xiàn)低色差和高精度的效果，也說明了通過本發(fā)明的鍍AR膜層3的鍍膜方式能夠有效提尚色差的性能，實現(xiàn)了尚精度的優(yōu)點。
[0047]本發(fā)明中所描述的具體實施例僅是對本發(fā)明精神作舉例說明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替代，但并不會偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
[0048]盡管對本發(fā)明已作出了詳細的說明并引證了一些具體實施例，但是對本領(lǐng)域熟練技術(shù)人員來說，只要不離開本發(fā)明的精神和范圍可作各種變化或修正是顯然的。
【主權(quán)項】
1.一種具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，該方法包括以下步驟: A、選基材:根據(jù)視窗保護面板的尺寸大小，選取相應(yīng)的透光基材進行加工成相應(yīng)尺寸大小的透光基板(I); B、加工AG膜層(2):將透光基板(I)的上表面進行加工處理使在透光基板(I)的上表面上形成AG膜層(2)，用于下一步鍍膜； C、鍍AR膜層(3):經(jīng)過步驟B鍍膜之后，放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，先在AG膜層⑵的表面蒸鍍ZrO2膜(31)，再在ZrO2膜(31)的表面蒸鍍Si3N4膜(32);再在Si3N4膜(32)的表面蒸鍍S12膜(33)，重復上述步驟若干次，使形成排列次序為uZrO2膜(31 )-Si3N4膜(32)-S12膜(33)”的重復交替鍍設(shè)方式形成的AR膜層(3); D、鍍Al2O3膜(4):鍍AR膜層(3)結(jié)束后，在AR膜層(3)的表面蒸鍍Al2O3膜(4); F、鍍AF膜層(5):再控制溫度在350 0C?450 V的條件下使在Al2O3膜(4)的表面鍍上AF膜層(5)，得到相應(yīng)的具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，步驟C中所述鍍AR膜層(3)具體為: a、經(jīng)過步驟B鍍膜之后，放入真空鍍膜機中的鍍膜腔室內(nèi)，抽真空后，向鍍膜腔室內(nèi)通入氧氣和氬氣，再打開ZrO2靶源，在AG膜層(2)的表面蒸鍍ZrO2膜(31);鍍ZrO2膜(31)結(jié)束后，先關(guān)閉ZrO2靶源以及停止氧氣通入，再打開硅靶源，并通入氮氣，使在ZrO2膜(31)的表面蒸鍍Si3N4膜(32);鍍Si3N4膜(32)結(jié)束后，停止氮氣通入，并關(guān)閉硅靶源，再重新通入氧氣和打開S12靶源，使在Si3N4膜(32)的表面蒸鍍S12膜(33)，整個鍍膜過程中保持氬氣通入。 b、重復步驟a兩次，使最終形成的AR膜層3中各膜的排列次序為“ZrO2膜(31)-Si識膜(32)-Si02膜(33)-Zr02 膜(31)-Si3N4 膜(32)-Si02 膜(33)-Zr02 膜(31)-Si3N4 膜(32)-Si02 膜(33)”。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，步驟C中所述鍍膜腔室內(nèi)的環(huán)境溫度為90°C?110°C，且真空度為1.5x10—3Pa?2.0x10 一3Pa04.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，步驟F中鍍AF膜層(5)之后還包括在溫度為700C?90 °C，且濕度為80 %以上的條件下放置處理30分鐘?70分鐘。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，步驟B中所述透光基板(I)采用鋼化玻璃加工而成，且步驟B中所述AG膜層(2)具體為:通過在透光基板(I)的上表面進行蝕刻處理后得到相應(yīng)的AG膜層(2)。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，所述AG膜層(2)的表面粗糙度<0.03。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，步驟B中所述透光基板(I)采用鋼化玻璃、PMMA或PC材料制成;且步驟B中所述AG膜層(2)具體為:通過在透光基板(I)上表面噴涂防眩光藥液使在透光基板(I)的上表面形成一層薄膜，再通過UV固化，得到相應(yīng)的AG膜層(2)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述具有AG+AR+AF鍍膜的視窗保護面板的制造方法，其特征在于，所述防眩光藥液有效成分為二氧化硅，且二氧化硅的質(zhì)量含量為0.01wt%?5.0wt%。
【文檔編號】C23C14/24GK106086791SQ201610396804
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月4日 公開號201610396804.7, CN 106086791 A, CN 106086791A, CN 201610396804, CN-A-106086791, CN106086791 A, CN106086791A, CN201610396804, CN201610396804.7
【發(fā)明人】王先玉, 夏永光
【申請人】浙江星星科技股份有限公司