薄型工件載具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型有關(guān)一種加工對象定位載具，特別是指一種可對薄型工件產(chǎn)生較佳的機(jī)械定位效果，薄型工件可制得較佳的平面精度，同時(shí)省去對薄型工件與載體之間的黏著動(dòng)作和減少因黏著的后續(xù)清洗作業(yè)、并減少加工后的異常狀況，也可使載體供與薄型工件接觸的加工部長效維持應(yīng)有的平整度，以及可以有效延長使用壽命的薄型工件載具。
【背景技術(shù)】
[0002]按，各式單晶晶片一種廣被使用做為建構(gòu)大多數(shù)半導(dǎo)體組件的基材，此晶片的制造是以晶棒的生成開始，經(jīng)過一連串的切割、研磨與拋光制程而成為多個(gè)晶片。
[0003]亦即，在半導(dǎo)體晶片的制作過程中，通常會使用到機(jī)械研磨或化學(xué)機(jī)械拋光加工流程，將晶片的表面加以平坦化，其制程基本上將數(shù)量不等的晶片置放于一載臺上，同時(shí)藉由一旋轉(zhuǎn)的加工盤施壓應(yīng)力于晶片加工面上，并且向晶片定量地供應(yīng)砥粒漿料以進(jìn)行研磨或拋光。
[0004]再者，類似晶片等薄型工件在進(jìn)行研磨或拋光時(shí)，相對較不容易利用夾具加以固定；已知為了增加對薄型工件的定位效果，多直接將薄型工件黏著方式黏在載具上，或是先于載具上鋪設(shè)一多孔性軟式墊片之類的介質(zhì)，再將薄型工件放置在載具表面的介質(zhì)上。
[0005]然而，黏著方式作法僅能夠在薄型工件的黏著面(下表面)產(chǎn)生固定效果，且有下列缺點(diǎn)。
[0006](I)黏著用的膠厚薄不一，導(dǎo)致研磨加工后的薄型工件厚薄不均。
[0007](2)當(dāng)于加工盤高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，或是因?yàn)槟Σ廉a(chǎn)生高溫時(shí)，都可能降低黏著效果導(dǎo)致薄型工件位移或是脫落，造成工件或機(jī)臺的損毀。
[0008](3)經(jīng)過將薄型工件黏著、移除之后，因黏著材質(zhì)的厚度差異，或工件上的黏著材質(zhì)清洗不完全，造成工件不良，影響良率且將嚴(yán)重影響載臺的平整度，進(jìn)而降低載臺的使用壽命O
[0009]上述事項(xiàng)均造成黏著方式拋光制程成本無法大幅降低的主因。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0010]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題主要提供一種可對薄型工件產(chǎn)生較佳的機(jī)械定位效果，薄型工件可制得較佳的平面精度，省去對薄型工件與載體之間的黏著動(dòng)作和減少因黏著的后續(xù)清洗作業(yè)、并減少加工后的異常狀況，也可使載體供與薄型工件接觸的加工部長效維持應(yīng)有的平整度，可以有效延長使用壽命的薄型工件載具。
[0011 ] 本實(shí)用新型所采用的技術(shù)手段如下所述。
[0012]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的薄型工件載具，基本上包括有一載體以及一覆板；其中:該載體具有一供乘載薄型工件的承載面，且于該承載面上設(shè)有至少一供與薄型工件接觸的加工部；該覆板固設(shè)于該載體的承載面上，該覆板設(shè)有至少一與該至少一加工部對應(yīng)，且供所對應(yīng)的加工部外露的定位穿孔。
[0013]利用上述結(jié)構(gòu)特征，本實(shí)用新型的薄型工件載具，于使用時(shí)，可將薄型工件分別對應(yīng)置入覆板的定位穿孔的方式定位于載體上，可由定位穿孔的孔壁對薄型工件產(chǎn)生較佳的機(jī)械定位效果，尤適合應(yīng)用于薄型工件進(jìn)行研磨、拋光的定位；以及，可省去對薄型工件與載體之間的黏著動(dòng)作和減少因黏著的后續(xù)作業(yè)、并減少加工后的異常狀況，使載體供與薄型工件接觸的加工部長效維持應(yīng)有的平整度，從而得以有效延長整體薄型工件載具的使用壽命O
[0014]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述載體的加工部相對凸出該載體的承載面，且該載體的加工部對應(yīng)深入該覆板的定位穿孔。
[0015]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述定位穿孔為多邊形。
[0016]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述定位穿孔為圓形。
[0017]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述定位穿孔的內(nèi)圈設(shè)有至少一平切面。
[0018]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述載體的加工部相對凸出該載體的承載面，且該載體的加工部對應(yīng)深入該覆板的定位穿孔；以及，所述覆板于各定位穿孔的內(nèi)圈設(shè)有至少一平切面。
[0019]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述覆板黏著固定于該載體的承載面。
[0020]依據(jù)上述結(jié)構(gòu)特征，所述載體的加工部相對凸出該載體的承載面，且該載體的加工部對應(yīng)深入該覆板的定位穿孔；所述覆板于各定位穿孔的內(nèi)圈設(shè)有至少一平切面；以及，所述覆板黏著固定于該載體的承載面。
[0021]所述覆板選擇由工程塑料、玻璃纖維或金屬其中一種材料加工制成。
[0022]所述載體可為金屬材料。
[0023]所述金屬材料由鋁塊加工制成。
[0024]所述載體可為陶瓷材料。
[0025]所述陶瓷材料由氧化鋁或碳化硅其中一種材料加工制成。
[0026]本實(shí)用新型所產(chǎn)生的有益效果如下。
[0027]具體而言，本實(shí)用新型的薄型工件載具，尤適合應(yīng)用于薄型工件進(jìn)行研磨、拋光的定位，除可由定位穿孔的孔壁對薄型工件產(chǎn)生較佳的機(jī)械定位效果，以及可省去對薄型工件與載體之間的黏著動(dòng)作和減少作業(yè)時(shí)間、增加產(chǎn)量并減少加工后的異常狀況，使載體供與薄型工件接觸的加工部長效維持應(yīng)有的平整度，有效延長整體薄型工件載具的使用壽命之外，尚可利用凸出承載面的加工部設(shè)計(jì)，使覆板與載體之間同樣可由定位穿孔的孔壁產(chǎn)生較佳的機(jī)械定位效果，相對提升整體薄型工件載具的可靠度。
【附圖說明】
[0028]圖1為本實(shí)用新型第一實(shí)施例的薄型工件載具結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0029]圖2為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的薄型工件載具結(jié)構(gòu)剖視圖。
[0030]圖3為本實(shí)用新型第二實(shí)施例的薄型工件載具的結(jié)構(gòu)分解圖。
[0031]圖4為本實(shí)用新型第三實(shí)施例的覆板結(jié)構(gòu)平面示意圖。
[0032]圖號說明:
[0033]10薄型工件
[0034]20薄型工件載具
[0035]21 載體
[0036]211承載面
[0037]212加工部
[0038]22 覆板
[0039]221定位穿孔
[0040]222 平切面。
【具體實(shí)施方式】
[0041]本實(shí)用新型主要提供一種可