一種用于hit太陽能電池鍍膜的載板的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，包括載板本體、設(shè)在載板本體四周的框架、設(shè)在載板本體上的螺紋孔、設(shè)在載板本體上的槽口、和螺紋孔相互嚙合的彈簧提拉組件。本實(shí)用新型用于固定硅片沉積的新載板，由彈簧提拉彈片組件壓住硅片四周，硅片由載板托起，使得被放置到由若干個(gè)純金屬的靶材等組成的腔室內(nèi)工作的硅片就不會因載板的變形而受到影響，消除硅片與載板之間的間隙，改善硅片表面鍍層質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
【專利說明】
一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池制備領(lǐng)域，尤其涉及制備HIT太陽能電池鍍膜的載板。
【背景技術(shù)】
[0002]HIT太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，相對傳統(tǒng)單/多晶硅電池，具有更高的發(fā)電效率，更好的穩(wěn)定性和更低的成本。
[0003]透明導(dǎo)電氧化膜是HIT太陽能電池制備過程一道重要的工序，一般在板式PVD進(jìn)行鍍膜，而在PVD鍍膜都要用到圖1所示的載板，如圖1所示在一整塊金屬板或非金屬版上開槽和或孔制成大載板，在槽和或孔中放置硅片。然后將PVD中載板放置在如圖2所示的基板上，并在若干個(gè)純金屬的靶材組成的腔室內(nèi)工作，然后在硅片表面通過某種物理方式(如磁控濺射)鍍上膜層。
[0004]由于載板較大，容易變形，使得硅片與載板之間產(chǎn)生間隙，導(dǎo)致放置在載板上的硅片無法完全接觸到載板而產(chǎn)生縫隙，最終使硅片在鍍膜層過程中部分等離子體穿過膜層而鍍到硅片背面形成短路結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致一些成品硅片在受光產(chǎn)生電流條件下短路，嚴(yán)重影響太陽能電池的制備質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]針對上述問題，本實(shí)用新型提供了一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，用于固定硅片沉積的新載板，消除硅片與載板之間的間隙，改善硅片表面鍍層質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，包括載板本體、設(shè)在載板本體四周的框架、設(shè)在載板本體上的螺紋孔、設(shè)在載板本體上的槽口、和螺紋孔相互嚙合的彈簧提拉組件。
[0007]進(jìn)一步的，所述載板本體為金屬板或非金屬板。
[0008]進(jìn)一步的，所述彈簧提拉組件由螺絲、彈簧和彈片組成，所述螺絲和載板本體上的螺紋孔相嚙合。
[0009]由上述對本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)的描述可知，和現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下優(yōu)占.V.
[0010]本實(shí)用新型一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，彈簧提拉彈片組件壓住硅片四周，硅片由載板托起，使得被放置到由若干個(gè)純金屬的靶材等組成的腔室內(nèi)工作的硅片就不會因載板的變形而受到影響，從而減少了硅片背光面的金屬沉積，這對于穩(wěn)定等離子體，提高HIT太陽能電池的制備質(zhì)量，提高光電轉(zhuǎn)換效率及生產(chǎn)良率有著重大意義。
【附圖說明】
[0011]構(gòu)成本申請的一部分的附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0012]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的載板結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的載板工作腔室結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖3為本實(shí)用新型載板結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖4為本實(shí)用新型安裝彈簧提拉組件的載板結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖5為本實(shí)用新型彈簧提拉組件的的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖6為本實(shí)用新型載板工作腔室結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0019]為了解決如圖1和圖2所述的載板過大，容易變形，使得硅片與載板之間產(chǎn)生間隙，導(dǎo)致放置在載板上的硅片無法完全接觸到載板而產(chǎn)生縫隙，最終使硅片在鍍膜層過程中部分等離子體穿過膜層而鍍到硅片背面形成短路結(jié)構(gòu)的現(xiàn)象，參考圖3-4所示一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括載板本體1、設(shè)在載板本體I四周的框架2、設(shè)在載板本體I上的螺紋孔3、設(shè)在載板本體I上的槽口 4、和螺紋孔3相互嚙合的彈簧提拉組件5，載板本體I為金屬板或非金屬板，彈簧提拉組件5由螺絲50、彈簧51和彈片52組成，所述螺絲50和載板本體I上的螺紋孔3相嚙合，所述槽口 4為在框架2指定的位置用機(jī)械加工或蝕刻方式蝕刻出放置硅片的槽口 4。
[0020]先將預(yù)裝好的彈簧提拉組件5安裝到加工好的螺紋孔3位置上，此時(shí)可先將彈簧提拉組件5彈片的彈片52提至載板本體I未蝕刻區(qū)域，隨后將硅片放置在槽口4中，最后將彈簧提拉彈片組件5的彈片52提至槽口 4壓住硅片，這樣硅片就被限制在由彈簧提拉組件5所形成的載板固定區(qū)域中；如圖5-6所示，硅片由載板本體I托起，載板本體I放置在托板上6，并在若干個(gè)純金屬的靶材7等組成的腔室內(nèi)工作，然后在硅片表面通過磁控濺射鍍上膜層，硅片四周由彈簧提拉彈片組件5壓住，所以放置到載板本體I的硅片就不會因載板本體I的變形而受到影響，從而改善了硅片表面鍍層質(zhì)量，且從實(shí)現(xiàn)自動化角度考慮更有利于硅片兩面同時(shí)鍍上膜層，這對于穩(wěn)定等離子體，提高HIT太陽能電池的制備質(zhì)量。
[0021]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，其特征在于:所述載板包括載板本體、設(shè)在載板本體四周的框架、設(shè)在載板本體上的螺紋孔、設(shè)在載板本體上的槽口、和螺紋孔相互嚙合的彈簧提拉組件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，其特征在于:所述載板本體為金屬板或非金屬板。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于HIT太陽能電池鍍膜的載板，其特征在于:所述彈簧提拉組件由螺絲、彈簧和彈片組成，所述螺絲和載板本體上的螺紋孔相嚙合。
【文檔編號】C23C14/56GK205443442SQ201620013453
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年1月7日
【發(fā)明人】倪鵬玉, 王樹林, 楊與勝, 張明全
【申請人】鈞石(中國)能源有限公司