板式pecvd用特氣管路套環(huán)狀出氣孔的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)領(lǐng)域,尤其是一種涉及PECVD(等離子增強化學氣相沉積)鍍膜設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前太陽能電池鍍膜設(shè)備平板PECVD,其鍍膜原理為A與B氣體從不同的管路的氣孔中噴出來,進入真空腔體,利用微波管將氣體等離子體化,進行反應(yīng),在硅片表面形成薄膜,如圖1所示:
[0003]圖1中,硅片1的下表面需要鍍膜,微波管2位于硅片1下方;從A氣體管路3和B氣體管路4中分別噴出A氣體和B氣體,利用微波管2將氣體等離子體化,形成A氣體的等離子體和B氣體的等離子體,然后在硅片1下表面形成薄膜5。在垂直于圖1的紙面方向,A氣體管路3和B氣體管路4上均間隔分布有多個出氣孔。A氣體管路3和B氣體管路4均稱為特氣管路。
[0004]而目前的腔體內(nèi)的特氣管路的噴淋孔(出氣孔)直徑只有1_左右,非常小,此種設(shè)計容易在孔上沉積反應(yīng)生成物,導致出氣孔逐漸堵塞,從而氣體流量逐漸減少,最嚴重的結(jié)果為出氣孔完全堵住,氣體完全無法出來。堵孔處的鍍膜厚度將大大降低,從而導致整道的膜厚不均勻度增大,產(chǎn)品質(zhì)量降低,導致設(shè)備的維護周期大大縮短。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,本實用新型提供一種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,能夠解決板式PECVD中特氣管路的出氣孔堵孔問題。本實用新型采用的技術(shù)方案是:
[0006]—種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體,其改進之處在于:
[0007]在出氣孔本體周圍設(shè)一套環(huán),套環(huán)位于出氣孔本體的外側(cè)。
[0008]進一步地,套環(huán)與出氣孔本體同圓心。
[0009]進一步地,套環(huán)的高度為4?7mm,內(nèi)徑為3?6mm,套環(huán)的壁厚為1?1.2mm。
[0010]更進一步地,套環(huán)的高度為5?6_,內(nèi)徑為4?5_。
[0011]進一步地,出氣孔本體的直徑為1?1.2mm。
[0012]本實用新型的優(yōu)點在于:
[0013]1)可有效防止PECVD的特氣管路出氣孔堵塞;使得特氣管道各處的鍍膜厚度均勻。
[0014]2)結(jié)構(gòu)簡單,制作方便,套環(huán)選用不銹鋼材質(zhì),使用壽命長,與特氣管路焊接固定,對現(xiàn)有鍍膜設(shè)備改造方便。
【附圖說明】
[0015]圖1為現(xiàn)有PECVD設(shè)備鍍膜示意圖。
[0016]圖2為本實用新型的結(jié)構(gòu)組成示意圖。
[0017]圖3為本實用新型的俯視示意圖。
【具體實施方式】
[0018]下面結(jié)合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
[0019]本實用新型提出的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,如圖2所示,包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體10,所述出氣孔本體10的直徑優(yōu)選為1?1.2mm ;
[0020]在出氣孔本體10周圍設(shè)一套環(huán)20,套環(huán)20可采用焊接方式固定在特氣管路上,套環(huán)20位于出氣孔本體10的外側(cè);套環(huán)20和特氣管路通常都采用不銹鋼材質(zhì)。
[0021]套環(huán)20與出氣孔本體10同圓心;套環(huán)20的高度優(yōu)選為4?7mm,內(nèi)徑優(yōu)選為3?6_,套環(huán)20的壁厚為1?1.2mm ;
[0022]在太陽能電池鍍膜PECVD過程中,實驗證明,當套環(huán)20的高度為5?6mm,內(nèi)徑為4?5mm時,防堵孔的效果最佳。
[0023]如圖2所示,此套環(huán)20間接增大了出氣孔口徑,且套環(huán)20內(nèi)為正壓區(qū),反應(yīng)區(qū)域30在套環(huán)20上方,使得反應(yīng)生成物沉積在套環(huán)20周圍,而不會沉積在套環(huán)20內(nèi)的出氣孔本體10處,從而防止堵孔。
[0024]采用本實用新型后,太陽能電池鍍膜的膜厚均勻性優(yōu),且穩(wěn)定。鍍膜設(shè)備的維護時間大大延長,維護周期從原來的3?4天延遲到8天以上。
【主權(quán)項】
1.一種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體(10),其特征在于: 在出氣孔本體(10)周圍設(shè)一套環(huán)(20),套環(huán)(20)位于出氣孔本體(10)的外側(cè)。2.如權(quán)利要求1所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,其特征在于: 套環(huán)(20)與出氣孔本體(10)同圓心。3.如權(quán)利要求1所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,其特征在于: 套環(huán)(20)的高度為4?7mm,內(nèi)徑為3?6mm,套環(huán)(20)的壁厚為1?1.2mm。4.如權(quán)利要求3所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,其特征在于: 套環(huán)(20)的高度為5?6_,內(nèi)徑為4?5_。5.如權(quán)利要求1所述的板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,其特征在于: 出氣孔本體(10)的直徑為1?1.2mm。
【專利摘要】本實用新型提供一種板式PECVD用特氣管路套環(huán)狀出氣孔,包括特氣管路上設(shè)置的出氣孔本體,其改進之處在于:在出氣孔本體周圍設(shè)一套環(huán),套環(huán)位于出氣孔本體的外側(cè)。進一步地,套環(huán)與出氣孔本體同圓心。進一步地,套環(huán)的高度為4~7mm,內(nèi)徑為3~6mm,套環(huán)的壁厚為1~1.2mm。更進一步地,套環(huán)的高度為5~6mm,內(nèi)徑為4~5mm。進一步地,出氣孔本體的直徑為1~1.2mm。本實用新型的優(yōu)點在于:可有效防止PECVD的特氣管路出氣孔堵塞;使得特氣管道各處的鍍膜厚度均勻。
【IPC分類】C23C16/511, C23C16/513, C23C16/517, C23C16/455
【公開號】CN205011835
【申請?zhí)枴緾N201520776934
【發(fā)明人】魯科, 喬琦, 陸紅艷, 黃海濤, 陳如龍
【申請人】無錫尚德太陽能電力有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月8日