專利名稱：多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅領(lǐng)域，尤其是涉及多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)。屬多晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接材料。高純度多晶硅是光電轉(zhuǎn)換電池、集成電路等半導(dǎo)體器件的基礎(chǔ)材料。隨著世界半導(dǎo)體工業(yè)的迅猛發(fā)展、超大規(guī)格集成電路的大量應(yīng)用、光伏電池的大量需求，整個(gè)世界對(duì)多晶硅的需求量在逐年增加。而生產(chǎn)多晶硅的過(guò)程中，還原爐等設(shè)備的尾氣出口溫度高達(dá)1000°C左右，且具有高溫腐蝕性，為了把該溫度降低到可以使用，通過(guò)U型多晶硅高溫尾氣熱交換器來(lái)實(shí)現(xiàn)。通常都是在熱交換器的高溫腐蝕尾氣氣體的入口處焊接金屬防沖板，該結(jié)構(gòu)無(wú)法控制氣體的流速和分布，且運(yùn)行一段時(shí)間后，金屬防沖板會(huì)被腐蝕爛掉，氣體就會(huì)直接沖擊換熱管束，會(huì)在換熱管表面產(chǎn)生無(wú)定型硅，從而影響換熱效果輕則停爐拆開(kāi)換熱器更換管束，重則腐蝕掉換熱管，使物料串通與水產(chǎn)生爆炸反應(yīng)的嚴(yán)重事故。多晶硅高溫尾氣熱交換器作為多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的主要輔助設(shè)備，對(duì)多晶硅的生產(chǎn)起到極其重要的作用，而多晶硅高溫尾氣熱交換器的高溫尾氣防沖件又是保護(hù)該設(shè)備的核心，目前的防沖件普遍存在如下問(wèn)題I、金屬防沖件無(wú)法耐高溫腐蝕，壽命短；2、金屬防沖板無(wú)法調(diào)節(jié)氣體的流速，使換熱不充分；3、氣體無(wú)法均勻通過(guò)換熱管表面，出口尾氣溫度過(guò)高。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種石墨碳的能耐高溫和流速調(diào)節(jié)，以及能使氣體均勻通過(guò)換熱管表面的多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括圓柱堵頭、螺旋孔排管和固定連接件，圓柱堵頭與螺旋孔排管一端的內(nèi)孔螺紋連接，固定連接件與螺旋孔排管另一端的內(nèi)孔螺紋連接，所述螺旋孔排管是在管壁開(kāi)設(shè)多排螺旋孔。本實(shí)用新型多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，所述螺旋孔排管采用石墨材質(zhì)。本實(shí)用新型的有益效果是I、由于不同客戶對(duì)高溫尾氣出口溫度要求不同，通過(guò)調(diào)整圓柱堵頭和螺旋孔排管的相對(duì)位置，可以控制高溫尾氣防沖件有效螺旋孔的數(shù)量，即可控制高溫尾氣進(jìn)氣的流速。以滿足出口溫度的要求。2、針對(duì)原有金屬防沖板易被腐蝕，無(wú)法長(zhǎng)期使用，采用耐高溫的石墨材質(zhì)，解決了耐高溫耐腐蝕的情況。3、針對(duì)原有金屬防沖板進(jìn)氣無(wú)法均勻分布的情況，采用石墨管，在其壁上開(kāi)設(shè)多排螺旋孔，使氣體均勻分布。通過(guò)上述高溫尾氣防沖件結(jié)構(gòu)調(diào)整，可以最大的保證U型多晶硅高溫尾氣熱交換器的壽命，還能滿足高溫尾氣的不同進(jìn)氣要求，實(shí)現(xiàn)高溫尾氣均勻分布換熱，進(jìn)而達(dá)到理想的換熱效果。

圖I為本實(shí)用新型多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圓柱堵頭示意圖。圖3為圖2的俯視圖。 圖4為螺旋孔排管示意圖。圖5為圖4的俯視圖。 圖6為固定連接件示意圖。圖7為圖6的俯視圖。圖中圓柱堵頭I、螺旋孔排管2、固定連接件3、螺旋孔4。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1，圖I為本實(shí)用新型多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)示意圖。由圖I可以看出，本實(shí)用新型多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，包括圓柱堵頭I (見(jiàn)圖2和圖3)、螺旋孔排管2 (見(jiàn)圖4和圖5)和固定連接件3 (見(jiàn)圖6和圖7)，圓柱堵頭I與螺旋孔排管2 —端的內(nèi)孔螺紋連接，固定連接件3與螺旋孔排管2另一端的內(nèi)孔螺紋連接，所述螺旋孔排管2是在管壁開(kāi)設(shè)多排螺旋孔。所述螺旋孔排管2采用石墨材質(zhì)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述結(jié)構(gòu)包括圓柱堵頭(I)、螺旋孔排管(2)和固定連接件(3)，圓柱堵頭(I)與螺旋孔排管(2)—端的內(nèi)孔螺紋連接，固定連接件(3)與螺旋孔排管(2)另一端的內(nèi)孔螺紋連接，所述螺旋孔排管(2)是在管壁開(kāi)設(shè)多排螺旋孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，其特征在于所述螺旋孔排管(2)采用石墨材質(zhì)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多晶硅高溫尾氣熱交換器之高溫尾氣防沖件可調(diào)結(jié)構(gòu)，所述結(jié)構(gòu)包括圓柱堵頭(1)、螺旋孔排管(2)和固定連接件(3)，圓柱堵頭(1)與螺旋孔排管(2)一端的內(nèi)孔螺紋連接，固定連接件(3)與螺旋孔排管(2)另一端的內(nèi)孔螺紋連接，所述螺旋孔排管(2)是在管壁開(kāi)設(shè)多排螺旋孔。本實(shí)用新型使防沖件能夠耐高溫耐腐蝕，并能控制高溫尾氣進(jìn)氣的流速以及使高溫尾氣氣體均勻分布，達(dá)到理想的換熱效果，提高了多晶硅高溫尾氣熱交換器的使用壽命。
文檔編號(hào)C01B33/035GK202625860SQ201220272380
公開(kāi)日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月11日
發(fā)明者李子林, 朱敏, 孫惺惺, 茅志權(quán), 惠澤 申請(qǐng)人:江蘇雙良新能源裝備有限公司