專利名稱：熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，具體地說(shuō)是一種多晶硅還原爐、熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域。
二背景技術(shù)：
多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中，還原爐負(fù)責(zé)多晶硅的生產(chǎn)，熱氫化爐負(fù)責(zé)四氯化硅向三氯氫硅的轉(zhuǎn)化，都是通過(guò)將反映氣體通入高溫爐中加熱反映，反應(yīng)后的尾氣溫度很高，還原爐尾氣溫度可達(dá)到700-800度，而熱氫化爐的尾氣溫度更高，可達(dá)到800-1000度，高溫尾氣需要用換熱器降溫后才能送入下一個(gè)尾氣處理單元。因此尾氣換熱器就是在高溫冷熱不斷換熱沖擊中工作運(yùn)行，屬于高負(fù)荷的工作設(shè)備，同時(shí)隨著換熱器運(yùn)行時(shí)間的加長(zhǎng)，換熱器在不斷換熱沖擊中和其他問(wèn)題導(dǎo)致?lián)Q熱能力均會(huì)出現(xiàn)下降，換熱效率下降使得爐子加熱溫度必須降低，帶來(lái)加熱爐能耗的增加；同時(shí)各種物料長(zhǎng)時(shí)間沖擊腐蝕和冷熱沖擊應(yīng)力腐蝕換熱器，會(huì)導(dǎo)致?lián)Q熱出現(xiàn)泄漏情況，尤其是水換熱的換熱器更是危險(xiǎn)，泄漏的物料和水容易劇烈化學(xué)反應(yīng)，會(huì)產(chǎn)生重大的安全事故和工藝質(zhì)量事故。解決以上換熱器高溫?zé)釠_擊和換熱效率問(wèn)題，維持換熱器穩(wěn)定安全運(yùn)行的重要措施，就是利用尾氣冷卻后的冷凝液(氯硅烷)對(duì)高溫尾氣進(jìn)行噴淋冷卻，將尾氣溫度在進(jìn)入換熱器前溫度降低至400度以下，保證換熱器處于中低溫區(qū)域運(yùn)行，減少了高負(fù)荷熱沖擊和換熱效率下降問(wèn)題。三、實(shí)用新型的內(nèi)容本實(shí)用新型的目的為解決現(xiàn)有生產(chǎn)中尾氣噴淋冷卻，而提供一種多晶硅還原爐、熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置。
本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一種 快速、高效、簡(jiǎn)易的噴淋裝置:本實(shí)用新型的目的是這樣來(lái)實(shí)現(xiàn)的:熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，它包括噴淋法蘭、L型管道組成，噴淋法蘭和L型管道底部法蘭連接，在L型管道前、后端分別設(shè)置法蘭，前法蘭連接爐子高溫尾氣管段，后法蘭連接換熱器；噴淋管上安裝有流量調(diào)節(jié)閥，尾氣噴淋前溫度計(jì)、冷卻后溫度計(jì)、噴淋管集成于噴淋法蘭內(nèi)。本實(shí)用新型熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，通過(guò)利用冷凝液霧化噴淋冷卻高溫尾氣，可直接將高溫尾氣瞬間冷卻至400度以下，使得換熱器工作環(huán)境溫度處在比較安全的中低溫度范圍內(nèi)，不再使得換熱器單獨(dú)承受高溫?fù)Q熱負(fù)荷，最大限度的減少了換熱器換熱負(fù)荷和熱沖擊問(wèn)題；該噴淋裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，溫度計(jì)、閥門、噴淋單元集成于一個(gè)法蘭中，現(xiàn)場(chǎng)安裝改造簡(jiǎn)單，整個(gè)管段除了法蘭之外僅有一道連接焊縫，最大化減少了高溫運(yùn)行管道焊接漏點(diǎn)風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)運(yùn)行操作和拆裝等維護(hù)工作方便快捷。
四
附圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。其中:1---噴淋法蘭、2—L型管道、3—噴淋管、V—流量調(diào)節(jié)閥、A—高溫尾氣、Tl 冷卻后溫度計(jì)、T2 尾氣噴淋如溫度計(jì)、Β 氣娃燒冷凝液、C 中溫尾氣。五具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。參照附圖，本實(shí)用新型熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，它包括噴淋法蘭1、L型管道2組成，噴淋法蘭I和L型管道2底部法蘭連接，在L型管道2前、后端分別設(shè)置法蘭，前法蘭連接爐子高溫尾氣A管段，后法蘭連接換熱器；噴淋管3上安裝有流量調(diào)節(jié)閥V，尾氣噴淋前溫度計(jì)Τ2、冷卻后溫度計(jì)Tl、噴淋管3集成于噴淋法蘭I內(nèi)。噴淋裝置工作流程:冷凝液B通過(guò)噴淋管3霧化噴淋后、快速冷卻高溫尾氣Α，后兩股物料匯合成中溫尾氣C，中溫尾氣C即可進(jìn)入換熱器；調(diào)節(jié)閥V和溫度計(jì)Tl連鎖，控制中溫尾氣C的運(yùn)行溫度，結(jié)合溫度計(jì)Τ2，可以監(jiān)控整個(gè)噴淋冷卻過(guò)程。
權(quán)利要求1.一種熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，它包括噴淋法蘭(1)、L型管道(2)組成，其特征在于:噴淋法蘭(I)和L型管道(2)底部法蘭連接，在L型管道(2)前、后端分別設(shè)置法蘭，前法蘭連接爐子高溫尾氣(A)管段，后法蘭連接換熱器；噴淋管(3)上安裝有流量調(diào)節(jié)閥(V)，尾氣噴淋前溫度計(jì)(T2)、冷卻后溫度計(jì)(Tl)和噴淋管(3)集成于噴淋法蘭(I)內(nèi)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，具體地說(shuō)是一種多晶硅還原爐、熱氫化爐尾氣快速噴淋冷卻裝置，本實(shí)用新型將氯硅烷冷凝液通過(guò)噴淋管道霧化噴淋后，快速冷卻高溫尾氣成中溫尾氣后再進(jìn)入換熱器，使得換熱器工作環(huán)境溫度處在比較安全的中低溫度范圍內(nèi)，不再使得換熱器單獨(dú)承受高溫?fù)Q熱負(fù)荷，最大限度的減少了換熱器換熱負(fù)荷和熱沖擊問(wèn)題；該噴淋裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔，溫度計(jì)、閥門、噴淋單元集成于一個(gè)法蘭中，噴淋冷卻效率高，現(xiàn)場(chǎng)安裝改造簡(jiǎn)單、運(yùn)行操作、拆裝等維護(hù)工作方便快捷。
文檔編號(hào)C01B33/107GK202912706SQ20122061422
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年11月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月6日
發(fā)明者何克周, 胡俊輝, 薛濤, 張玉泉, 李波, 王相君 申請(qǐng)人:陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司