本發(fā)明涉及一種使用有機硅作為原料的光纖母材的制造方法。

背景技術：

光纖用預型件(光纖母材)例如通過VAD法等使SiO₂煙灰堆積在靶上并對其進行燒結(jié)而制造。有作為SiO₂煙灰的原料，使用有機硅代替以往的SiCl₄，使用燃燒器等使有機硅在氫氧火焰中(反應場)燃燒，由此生成SiO₂煙灰的技術(例如，參照專利文獻1～3)。通過使用有機硅，與SiCl₄時相比具有不會產(chǎn)生有害的鹽酸，并且，需要的氫比以往少等優(yōu)點。

在此，為了提高SiO₂煙灰的生成速度，需要大量供給有機硅原料。但是，大量的有機硅(高濃度的有機硅氣體)難以完全燃燒。因此，在上述反應場中，有機硅的反應變得不充分，雜質(zhì)凝膠或雜質(zhì)微粒等附著于燃燒器，或者碳附著于煙灰，或者在煙灰上形成缺陷。因此，通過預先將有機硅與氧氣預混合來提高有機硅的反應性。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本公開專利公報“日本特開2000－63126號公報(2000年2月29日公開)”

專利文獻2：日本國公表專利公報“日本特表2014－520747號公報(2014年8月25日公表)”

專利文獻3：日本公開專利公報“日本特開2013－177297號公報(2013年9月9日公報)”

技術實現(xiàn)要素：

然而，在如上所述的現(xiàn)有技術中，存在如下所述的問題。即，含有有機硅的氣體的溫度有可能因與較低溫的氧氣的預混合而下降。在形成SiO₂煙灰的反應之前含有有機硅的氣體的溫度下降則有機硅由于蒸汽壓低而液化。如此地有機硅液化則在點火狀態(tài)下液滴有時可能從燃燒器飛出，因此較為危險。另外，起因于因附著于燃燒器的噴嘴的液滴而發(fā)生的氣流紊亂，反應后的玻璃微粒在煙灰上未均勻地堆積，光纖母材的品質(zhì)變差。而且，在最壞的情況下，大量的液滴臨時遮擋噴嘴，從而阻礙氣體的流出，火焰在燃燒器管內(nèi)逆行，有可能在燃燒器內(nèi)部引起爆炸的問題。

本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于抑制有機硅在形成SiO₂煙灰的反應前液化，進而提高反應的安全性和穩(wěn)定性地制造光纖母材。

本發(fā)明的光纖母材的制造方法包括：預混合工序，在含有氣態(tài)或霧狀的有機硅的含原料氣體中預混合氧氣；以及，煙灰生成工序，將在所述含原料氣體中預混合有所述氧氣的預混合原料氣體與燃燒用氣體分別供給于燃燒器，使其在火焰中反應而生成SiO₂煙灰，其特征在于，在所述預混合工序中，將根據(jù)所述預混合原料氣體中的所述有機硅的量而確定的所述有機硅的液化溫度以上的溫度的所述氧氣進行預混合。

根據(jù)本發(fā)明，可抑制有機硅在形成SiO₂煙灰的反應前液化，提高反應的安全性和穩(wěn)定性地制造光纖母材。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的光纖母材制造用的SiO₂煙灰生成裝置的構成的概略圖。

圖2是表示上述SiO₂煙灰生成裝置所具備的燃燒器的出口附近的立體圖。

圖3是表示為了將OMCTS氣化所需的預混合原料氣體中所含的OMCTS以外的氣體的流量的表。

圖4是表示OMCTS的溫度與蒸汽壓的關系的圖。

[符號的說明]

2a 含原料氣體

5a 預混合用氧氣

7a 預混合原料氣體

20 燃燒器

22a 密封氣體

30 反應場

具體實施方式

以下，對本發(fā)明的實施方式詳細地說明。

＜SiO₂煙灰的生成裝置＞

在本實施方式中，使SiO₂煙灰堆積在靶上而制造光纖母材。因此，首先，基于圖1和圖2對SiO₂煙灰的生成裝置的構成的一個例子進行說明。圖1是表示本實施方式中的SiO₂煙灰生成裝置100的構成的概略圖。圖2是表示SiO₂煙灰生成裝置100所具備的燃燒器20的立體圖。

SiO₂煙灰生成裝置100如圖1所示，具備原料氣體調(diào)制部10和燃燒器20。

原料氣體調(diào)制部10具備液體原料罐1、氣化器2、載氣供給部3、第1配管4、氧氣供給部5、第2配管6、預混合室7和第3配管8。

液體原料罐1中儲存有液體的有機硅1a。作為本實施方式中使用的有機硅1a，例如可以舉出環(huán)狀硅氧烷、聚甲基硅氧烷等有機硅氧烷。在有機硅的選擇中，考慮原料的保存性和輸送性、沸點以及反應性等。即，有機硅原料優(yōu)選在常溫下為液態(tài)、沸點低、反應性高。作為本實施方式中使用的有機硅，優(yōu)選八甲基環(huán)四硅氧烷(OMCTS)或六甲基二硅氧烷(HMDSO)。在以下的說明中，對使用OMCTS作為有機硅的情況進行說明，但也可以使用其它有機硅氧烷，還可以使用其它有機硅。

氣化器2為對從液體原料罐1供給的液體的有機硅1a進行加熱，使其為氣態(tài)或霧狀的裝置。以下，也有時將氣態(tài)或霧狀的有機硅1a稱為有機硅氣體1a或者原料氣體1a。另外，氣體也可以包含一部分霧狀。

另外，氣化器2中從載氣供給部3供給載氣3a，對載氣也進行加熱。載氣3a可以以氣體的狀態(tài)供給，也可以以液體的狀態(tài)供給。載氣3a為不與有機硅反應的氣體，例如為氬(惰性氣體)、氮(惰性氣體)、氧或氦(惰性氣體)等氣體?；蛘撸部梢詾閷⑺鼈兓旌隙傻臍怏w。另外，載氣3a優(yōu)選為氬與氧的混合氣體、氮與氧的混合氣體或氧。通過使用氬與氧的混合氣體、氮與氧的混合氣體作為載氣3a，可以更安全地運送原料氣體。另外，若可通過其它理由確保安全性，則也可以使用氧作為載氣3a。若使用氧作為載氣，則能更高效地使原料氣體燃燒。

在此，供給于氣化器2的液體的有機硅1a和載氣3a的供給量可使用未圖示的質(zhì)量流量控制器等控制。另外，供給量的控制也可以使用其它的流量控制裝置。

氣化器2在本實施方式中將有機硅1a與載氣3a加熱至200℃。氣化器2中的加熱溫度只要基于有機硅1a的沸點、量等各種條件確定即可，并不限于200℃。以下將混合有有機硅氣體1a與載氣3a的氣體稱為含原料氣體2a。從氣化器2經(jīng)由第1配管4向預混合室7供給200℃的含原料氣體2a。在此，第1配管4以加熱在管內(nèi)流動的氣體的方式構成，防止含原料氣體2a的溫度降低，具體而言防止成為200℃以下。第1配管4中的加熱通過在第1配管4配置加熱器(例如，纏繞加熱帶)或者由熱管形成第1配管4來進行。也可以利用這些以外的裝置對管內(nèi)的氣體進行加熱。對于以下說明的在第2配管6、第3配管8、第4配管22b和燃燒器20內(nèi)流動的氣體的加熱也同樣地使用加熱器、熱管或者其它裝置進行。

預混合室7是在含原料氣體2a中將預混合用氧氣5a進行預混合。預混合用氧氣5a從氧氣供給部5經(jīng)由第2配管6向預混合室7供給。在此，第2配管6以加熱在管內(nèi)流動的氣體的方式構成，將預混合用氧氣5a在加熱的狀態(tài)下進行預混合。對于該加熱，在后面詳細地說明。以下將預混合有預混合用氧氣5a的含原料氣體2a稱為預混合原料氣體7a。預混合原料氣體7a從預混合室7通過第3配管8送至燃燒器20。第3配管8以加熱在管內(nèi)流動的氣體的方式構成，防止預混合原料氣體7a的溫度降低。

燃燒器20為光纖母材制造用的燃燒器，如圖1和圖2所示為多管燃燒器。在本實施方式中，將燃燒器20作為多管燃燒器進行說明，但并不限于多管燃燒器，例如也可以為具有多個噴嘴的多噴嘴燃燒器等。

燃燒器20從中心依次具備與第3配管8連接的使預混合原料氣體7a流動的原料氣體管21、使密封氣體22a流動的密封氣體管22、使燃燒用氧氣(燃燒用氣體)23a流動的氧氣管23和使氫氣(燃燒用氣體)24a流動的氫氣管24。另外，氧氣管23與氫氣管24可以為彼此相反的配置。另外，原料氣體管21可以不設置于燃燒器20的中心部而設置于其它位置。燃燒用氧氣23a和氫氣24a是在有機硅氣體1a反應而形成SiO₂煙灰的反應場30中形成火焰(氫氧火焰)的原料。另外，本實施方式中的反應場30為氫氧火焰中，但并不限于此。

密封氣體22a是用于隔開預混合原料氣體7a與燃燒用氧氣23a和氫氣24a的氣體。即，密封氣體22a防止預混合原料氣體7a中的有機硅氣體1a在燃燒器20的出口附近反應。由此，可以防止有機硅氣體1a反應而在燃燒器20的出口附近堆積SiO₂煙灰，堵塞該出口。發(fā)生有機硅氣體1a的反應的位置可以通過改變密封氣體22a的流速來控制。在本實施方式中，由于密封氣體22a，有機硅氣體1a的反應在從燃燒器20的出口離開的位置發(fā)生。

因此，作為密封氣體22a，只要為對于有機硅氣體1a的反應惰性的氣體即可，可使用例如氦、氮或者氬的氣體或?qū)⑺鼈兓旌隙傻臍怏w。另外，也可以為在此未例示的氣體。

密封氣體22a通過第4配管22b導入于燃燒器20，送至密封氣體管22。在此，第4配管22b以加熱在管內(nèi)流動的氣體的方式構成，密封氣體22a在被加熱的狀態(tài)下導入于燃燒器20。對于該加熱，在后面詳細地說明。另外，燃燒器20以加熱在燃燒器20內(nèi)流動的氣體的方式構成，防止在燃燒器20內(nèi)流動的氣體的溫度降低。

(預混合氧和密封氣體的加熱)

例如在預混合用氧氣5a為常溫時，在預混合室7中向含原料氣體2a預混合預混合用氧氣5a，則混合后的預混合原料氣體7a的溫度降低。另外，密封氣體22a流動的密封氣體管22以包圍原料氣體管21的方式形成。因此，例如在常溫的密封氣體22a在密封氣體管22內(nèi)流動時，會吸取在其內(nèi)側(cè)的原料氣體管21中流動的預混合原料氣體7a的溫度。由此，若預混合原料氣體7a的溫度成為其中所含的有機硅1a的液化溫度以下，則預混合原料氣體7a中的有機硅1a發(fā)生液化。

因此，在SiO₂煙灰生成裝置100中，以預混合用氧氣5a的溫度和密封氣體22a的溫度成為根據(jù)預混合原料氣體7a中的有機硅1a的量而被確定的有機硅1a的液化溫度以上的方式對預混合用氧氣5a和密封氣體22a進行加熱。

另外，在本實施方式的SiO₂煙灰生成裝置100中，在將燃燒用氧氣23a和氫氣24a送出至燃燒器20之前未加熱，但也可以為進行加熱的構成。

(有機硅的液化溫度)

接著，基于圖3對預混合原料氣體7a中的有機硅氣體1a的液化溫度進行說明。圖3是表示屬于有機硅1a的OMCTS的各供給量和預混合原料氣體7a的各溫度下的將該OMCTS完全氣化所需的預混合原料氣體7a中的OMCTS以外的氣體(以下稱為其它氣體)的流量的表。

供給于氣化器2的液體的有機硅1a的流量和載氣3a的流量可通過質(zhì)量流量控制器等控制。另外，供給于預混合室7的預混合用氧氣5a的流量也可通過質(zhì)量流量控制器等控制。因此，可控制預混合原料氣體7a中所含的有機硅氣體1a與其它氣體的比例。在此，“比例”本質(zhì)上是指摩爾比。然而，進行控制的“比例”和表示為“比例”的參數(shù)也可以為液體、氣體的質(zhì)量流量或者體積流量。

若預混合原料氣體7a中的上述“比例”被確定，則有機硅1a的液化溫度如下求出。

有機硅1a的分壓Pp可以由預混合原料氣體7a中的有機硅1a的體積與其它氣體的體積之比求出。該分壓Pp是指有機硅1a完全氣化時的分壓。

在此，預混合原料氣體7a中的有機硅1a的液化溫度為有機硅1a的蒸汽壓與上述分壓Pp變相等的溫度。例如，本實施方式的作為有機硅1a的OMCTS在某溫度下的蒸汽壓為圖4所示的值。如圖4所示，OMCTS為100℃時，蒸汽壓成為0.087atm。即，預混合原料氣體7a中的有機硅1a的分壓為0.087atm時，有機硅原料的液化溫度為100℃。因此，預混合原料氣體7a中的有機硅1a的分壓為0.087atm時，若預混合原料氣體7a的溫度為100℃以下，則有機硅1a液化。

＜光纖母材的制造方法＞

本實施方式的光纖母材的制造方法如下所述。

首先，在含有氣態(tài)或霧狀的有機硅的含原料氣體2a中將預混合用氧氣5a進行預混合(預混合工序)。接著，將在含原料氣體2a中預混合有預混合用氧氣5a的預混合原料氣體7a、密封氣體22a、燃燒用氧氣23a和氫氣24a供給于燃燒器20，然后，使預混合原料氣體7a中的有機硅1a在氫氧火焰中反應而生成SiO₂煙灰(煙灰生成工序)。

在煙灰生成工序后，對SiO₂煙灰進行用于透明化的加熱(加熱工序)，制造光纖母材。另外，加熱工序可以使用公知的技術。

在此，在預混合工序中，將根據(jù)預混合原料氣體7a中的有機硅1a的量而確定的有機硅的液化溫度以上的溫度的預混合用氧氣5a預混合。如此，通過使預混合用氧氣5a的溫度為根據(jù)預混合原料氣體7a中的有機硅1a的量而確定的有機硅1a的液化溫度以上，獲得以下效果：可以抑制因使預混合用氧氣5a進行預混合所致的預混合原料氣體7a的溫度下降，可以抑制預混合原料氣體7a中的有機硅1a成為比液化溫度低的溫度而發(fā)生液化。因此，可以防止因有機硅1a液化所致的不良情況。

特別是在預混合工序中，優(yōu)選預混合110℃以上的預混合用氧氣5a。含原料氣體2a如上所述在200℃下被氣化，因此，通過預混合110℃以上的預混合用氧氣5a，預混合原料氣體7a至少成為110℃以上。在此，在要增加進行反應的有機硅1a時，若預混合原料氣體7a小于110℃，則在送出至燃燒器20時需要大量預混合原料氣體7a中的其它氣體，不現(xiàn)實。但是若預混合110℃以上的預混合用氧氣5a，預混合原料氣體7a至少成為110℃以上，則其它氣體成為在現(xiàn)實中可實現(xiàn)的提供量。

另外，在有機硅1a為OMCTS時，根據(jù)圖4推定110℃的蒸汽壓為0.129atm。因此，在預混合原料氣體7a中的OMCTS的分壓為0.129atm以下時，通過預混合110℃以上的預混合用氧氣5a，能夠可靠地防止因預混合氧所致的有機硅的液化。

而且，在供給煙灰生成工序中的密封氣體之際，將密封氣體以根據(jù)預混合原料氣體7a中的有機硅1a的量而確定的有機硅1a的液化溫度以上的溫度供給于燃燒器20。如此，通過使供給于燃燒器20的密封氣體22a的溫度為根據(jù)預混合原料氣體7a中的有機硅的量而確定的有機硅1a的液化溫度以上，獲得以下效果：可以抑制因?qū)⒚芊鈿怏w供給于燃燒器所致的預混合原料氣體7a的溫度的下降，與上述同樣地可以抑制預混合原料氣體7a中所含的有機硅的液化，可以防止因有機硅液化所致的不良情況。

因此，通過使用本實施方式的光纖母材的制造方法，可以抑制有機硅在形成SiO₂煙灰的反應前液化，能夠提高反應的安全性和穩(wěn)定性而制造光纖母材。另外，由于有機硅以氣態(tài)或霧狀供于反應，因此，反應性高，可以提高SiO₂煙灰的品質(zhì)。因此，可以使用通過本實施方式的光纖母材的制造方法制造的光纖母材安全且有效地生產(chǎn)高品質(zhì)的光纖。

特別是在供給密封氣體時，優(yōu)選將預混合用氧氣5a的溫度以上的溫度的密封氣體22a供給于燃燒器20。若密封氣體22a的溫度小于預混合原料氣體7a的溫度，則會吸取在燃燒器20內(nèi)流動的預混合原料氣體7a的溫度。但是，若使密封氣體22a的溫度與預混合用氧氣5a(有機硅1a的液化溫度以上的溫度)相同，則可以防止在燃燒器20內(nèi)流動的預混合原料氣體7a的降低，可以防止預混合原料氣體7a中的有機硅1a的液化。

另外，上述中，燃燒用氧氣23a和氫氣24a在供給于燃燒器20時未被加熱，但也可以加熱。

本實施方式的光纖母材的制造方法例如可利用于VAD法、ST法、OVD法等。

光纖可以將如上制造的光纖母材拉絲(拉絲工序)而制造。拉絲工序可以使用公知的技術。

[實施例]

使用上述說明的SiO₂煙灰生成裝置100，如下驗證了生成SiO₂煙灰時的有機硅1a液化的防止。

(實施例1)

使用OMCTS作為有機硅1a、使用氬作為載氣3a和密封氣體22a。將22g/min的質(zhì)量流量的液體OMCTS(有機硅1a)和2.5slm的載氣3a供給于氣化器2。將OMCTS和載氣3a用氣化器2加熱至200℃，作為由氣化的OMCTS和載氣3a構成的含原料氣體2a。

將加熱至150℃的預混合用氧氣5a以9slm預混合于含原料氣體2a，由此形成預混合原料氣體7a，將預混合原料氣體7a送入燃燒器20。

此時，氣體的OMCTS換算為流量時約為1.66slm，預混合原料氣體7a中的OMCTS以外的氣體(以下，稱為其它氣體)為11.5slm。因此，若使燃燒器內(nèi)的壓力為1atm，則預混合原料氣體7a中的OMCTS的分壓約為0.126atm。OMCTS的蒸汽壓成為0.126atm的溫度約為109℃。即，此時的預混合原料氣體7a中的OMCTS的液化溫度約為109℃。

另外，將加熱至150℃的密封氣體22a導入于密封氣體管22。

在以上的條件下在氫氧焰中生成SiO₂煙灰，結(jié)果預混合原料氣體7a中的OMCTS在氫氧焰中反應之前未發(fā)生液化?？梢缘贸鼋Y(jié)論這是因為預混合用氧氣5a和密封氣體為150℃，因此，預混合原料氣體7a中的OMCTS即使受到預混合用氧氣5a的溫度或者密封氣體22a的溫度的影響也不會小于此時的液化溫度(約109℃)。

(比較例1)

使預混合用氧氣5a和密封氣體22a的溫度為100℃，除此以外，在與實施例1同樣的條件下生成SiO₂煙灰。

在該比較例1中，預混合原料氣體7a中的OMCTS在氫氧焰中反應之前發(fā)生液化?？梢缘贸鼋Y(jié)論這是因為預混合用氧氣5a的溫度和密封氣體22a的溫度為100℃，由此預混合原料氣體7a中的OMCTS受到預混合用氧氣5a的溫度或者密封氣體22a的溫度的影響而變得低于此時的液化溫度(約109℃)。

(實施例2)

以下的條件以外，與實施例1同樣的條件下生成SiO₂煙灰。使用24.5g/min的質(zhì)量流量(＝1.85slm)的OMCTS。在預混合原料氣體7a中，以其它氣體的流量為12.7slm的方式混合載氣3a和預混合用氧氣5a。使密封氣體22a和預混合用氧氣5a的溫度分別為110℃。

此時的預混合原料氣體7a中的OMCTS的分壓為0.127atm，液化溫度約為109℃。

在以上的條件下生成SiO₂煙灰，結(jié)果預混合原料氣體7a中的OMCTS在氫氧焰中反應之前未發(fā)生液化?？梢缘贸鼋Y(jié)論這是因為預混合用氧氣5a的溫度和密封氣體22a的溫度為110℃，因此，預混合原料氣體7a中的OMCTS即使受到預混合用氧氣5a的溫度或者密封氣體22a的溫度的影響也不會小于此時的液化溫度。

(實施例3)

以下的條件以外，與實施例1同樣的條件下生成SiO₂煙灰。使用20.1g/min的質(zhì)量流量(＝1.52slm)的OMCTS。在預混合原料氣體7a中，以其它氣體的流量為10.5slm的方式混合載氣3a和預混合用氧氣5a。另外，使密封氣體22a和預混合用氧氣5a的溫度分別為110℃。

此時的預混合原料氣體7a中的OMCTS的分壓為0.126atm，液化溫度約為109℃。

在以上的條件下生成SiO₂煙灰，結(jié)果預混合原料氣體7a中的OMCTS在反應場30中反應之前未發(fā)生液化?？梢缘贸鼋Y(jié)論這是因為預混合用氧氣5a的溫度和密封氣體22a的溫度為110℃，因此，預混合原料氣體7a中的OMCTS的溫度即使受到預混合用氧氣5a的溫度或者密封氣體22a的溫度的影響也不會小于此時的液化溫度。

由實施例1～3和比較例1的結(jié)果可以確認，有機硅1a的液化溫度基于有機硅1a(例如OMCTS)的供給量和預混合原料氣體7a中的其它氣體的供給量確定，即，根據(jù)預混合原料氣體7a中的有機硅1a的量而確定，通過將預混合用氧氣5a和密封氣體22a加熱至有機硅1a的液化溫度以上，可以防止預混合原料氣體7a中的有機硅1a的液化。

〔總結(jié)〕

本發(fā)明的光纖母材的制造方法的構成為包含：預混合工序，在含有氣態(tài)或霧狀的有機硅的含原料氣體中預混合氧氣而生成預混合原料氣體；以及，煙灰生成工序，將上述預混合原料氣體與燃燒用氣體供給于燃燒器，使有機硅在火焰中反應而生成SiO₂煙灰；其中，預混合工序是將根據(jù)上述預混合原料氣體中的上述有機硅的量而確定的上述有機硅的液化溫度以上的溫度的上述氧氣進行預混合。

根據(jù)上述方法，含有有機硅的含原料氣體與預混合的氧氣的溫度成為根據(jù)預混合原料氣體中的有機硅的量而確定的有機硅的液化溫度以上。因此，可以抑制因預混合氧所致的預混合原料氣體的溫度的下降，可以抑制預混合原料氣體中的有機硅成為比液化溫度低的溫度而發(fā)生液化這樣的現(xiàn)象。因此，可以防止因有機硅液化所致的不良情況。

因此，根據(jù)上述方法，可以抑制有機硅在形成SiO₂煙灰的反應前液化，可提高反應的安全性和穩(wěn)定性地制造光纖母材。另外，有機硅以氣態(tài)或霧狀供于反應，因此，反應性高，可以提高SiO₂煙灰的品質(zhì)。因此，可以使用通過上述方法制造的光纖母材安全且有效地生產(chǎn)高品質(zhì)的光纖。

另外，上述的光纖母材的制造方法優(yōu)選將隔開上述預混合原料氣體與上述燃燒用氣體的密封氣體以上述有機硅的上述液化溫度以上的溫度供給于上述燃燒器。

通過使用密封氣體，可以防止有機硅在燃燒器端面(出口)反應而生成煙灰，可以控制發(fā)生反應的位置。在此，若供給于燃燒器的密封氣體為常溫左右，則供給于相同燃燒器的預混合原料氣體的溫度降低，有機硅有可能液化。但是，根據(jù)上述方法，供給于燃燒器的密封氣體的溫度成為根據(jù)預混合原料氣體中的有機硅的量而確定的有機硅的液化溫度以上。因此，可以抑制因?qū)⒚芊鈿怏w供給于燃燒器所致的預混合原料氣體的溫度的降低，可以抑制預混合原料氣體中所含的有機硅成為比液化溫度低的溫度而液化這樣的現(xiàn)象。因此，可以防止因有機硅液化所致的不良情況。

如此，根據(jù)上述方法，可以更可靠地抑制有機硅在形成SiO₂煙灰的反應前液化，提高反應的安全性和穩(wěn)定性而制造光纖母材。

另外，上述的光纖母材的制造方法優(yōu)選在上述預混合工序中將110℃以上的上述氧氣預混合。

通常含原料氣體例如在200℃這樣的高溫下被氣化，因此，通過將110℃以上的氧氣預混合，預混合原料氣體至少成為110℃以上。在此，若要增加反應的有機硅時，預混合原料氣體低于110℃，則在送出至燃燒器時需要大量預混合原料氣體中的有機硅以外的氣體(其它氣體)，不現(xiàn)實。但是，通過上述方法，若預混合110℃以上的氧氣而預混合原料氣體至少為110℃以上，則其它氣體成為現(xiàn)實中可實現(xiàn)的提供量。因此，可以方便地制造光纖母材。

另外，在有機硅為八甲基環(huán)四硅氧烷時，可推定110℃的蒸汽壓為0.129atm。因此，在預混合原料氣體中的八甲基環(huán)四硅氧烷的分壓為0.129atm以下時，通過預混合110℃以上的氧氣，可以可靠地防止因預混合所致的有機硅的液化。

另外，優(yōu)選將預混合的上述氧氣的溫度以上的溫度的上述密封氣體供給于上述燃燒器。

在此，若密封氣體的溫度小于預混合原料氣體的溫度，則會吸取在相同燃燒器內(nèi)流動的預混合原料氣體的溫度。但是，通過上述方法，若使密封氣體的溫度與預混合的氧氣(有機硅的液化溫度以上的溫度)相同，則可以防止在燃燒器內(nèi)流動的預混合原料氣體的降低，可以防止預混合原料氣體中的有機硅的液化。

另外，在上述的光纖母材的制造方法中，對上述含原料氣體而言，作為載氣，優(yōu)選為氬與氧的混合氣體、氮與氧的混合氣體或含有氧的氣體。

根據(jù)上述構成，作為運送有機硅的載氣，可以使用氬與氧的混合氣體、氮與氧的混合氣體或者氧。

與配管的粗細相比，有機硅(原料氣體)的供給量少時，流速慢(所送體積小)，因此，供給變得不穩(wěn)定，即，有時難以控制。因此，即使稀釋原料氣體也使體積增大，從而在原料氣體中混合載氣以便穩(wěn)定地供給原料氣體。

通過使用氬或氮作為載氣，可以安全地運送原料氣體。但是，另一方面，預混合原料氣體中不太期望過度增加與反應沒有關系的氬或氮的比例。因此，優(yōu)選在載氣中混合作為載氣所需的氣體流量之內(nèi)的不會產(chǎn)生回火(火焰在燃燒器內(nèi)逆流的現(xiàn)象)程度的氧(其余為氬或氮)。不產(chǎn)生回火的氧量由燃燒界限濃度、配管內(nèi)的原料流量(流速)等確定。

因此，根據(jù)上述構成，通過使用氬與氧的混合氣體、氮與氧的混合氣體作為載氣，可以更安全地運送原料氣體。另外，若可通過其它理由確保安全性，則也可以使用氧作為載氣。若使用氧作為載氣，則可更高效地使原料氣體燃燒。

另外，在上述的光纖母材的制造方法中，上述密封氣體優(yōu)選為氬。

氬為作為密封氣體通常所使用的惰性氣體，由于容易獲得，因此，可容易地制造光纖母材。

另外，在上述的光纖母材的制造方法中，可使用具有多個噴嘴的多噴嘴燃燒器、多管燃燒器作為上述燃燒器。

另外，在上述的光纖母材的制造方法中，例如可以使用八甲基環(huán)四硅氧烷、六甲基二硅氧烷作為上述有機硅。

另外，使用上述的光纖母材的制造方法制造的光纖母材、使用上述的光纖母材的制造方法的光纖的制造方法、使用該光纖的制造方法制造的光纖也包含在本發(fā)明的范疇中。

本發(fā)明并不限定于上述的實施方式和各實施例，可以在權利要求所示的范圍內(nèi)進行各種變更，將實施方式或各實施例中分別公開的技術手段適當組合而得到的實施方式也包含在本發(fā)明的技術范圍中。