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      一種多晶硅鑄錠爐的制作方法

      文檔序號(hào):11975060閱讀:309來源:國(guó)知局
      一種多晶硅鑄錠爐的制作方法與工藝

      本實(shí)用新型涉及多晶硅鑄錠領(lǐng)域,尤其涉及一種多晶硅鑄錠爐。



      背景技術(shù):

      在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域,由于鑄造多晶硅生產(chǎn)成本低、產(chǎn)量大,因此占據(jù)了很大的市場(chǎng)。但由于鑄錠過程中加熱器、隔熱籠、石墨護(hù)板及石墨蓋板等碳材料的使用,引入了大量碳雜質(zhì)。高溫下,硅熔體與石英坩堝接觸時(shí),會(huì)發(fā)生如下反應(yīng):Si(液)+SiO2(固)=2SiO(氣),生成的SiO氣體會(huì)跟碳雜質(zhì)發(fā)生如下反應(yīng):SiO(氣)+2C=CO(氣)+SiC(固);上述反應(yīng)產(chǎn)生的雜質(zhì)氣體,如果不能被快速帶走,將會(huì)被硅熔體吸收,從而在硅錠中引入了大量的氧雜質(zhì)和碳雜質(zhì),從而對(duì)硅錠質(zhì)量造成影響。碳含量過高容易導(dǎo)致硅溶液在定向凝固長(zhǎng)晶過程中形成碳沉淀物、碳化硅夾雜物、位錯(cuò)等雜質(zhì)或缺陷,這不僅會(huì)在多晶硅錠切割工藝中增加斷線事故及產(chǎn)生線痕不良,而且還會(huì)導(dǎo)致制作成的電池片漏電率高,轉(zhuǎn)換效率低。

      為了減少雜質(zhì)氣體對(duì)硅錠的影響,現(xiàn)有技術(shù)大都采用在爐體頂部設(shè)置進(jìn)氣口,再通過坩堝蓋板上的孔向硅熔體通入惰性氣體,通過氣流循環(huán)帶走硅液表面的雜質(zhì)氣體。但由于進(jìn)氣口在鑄錠爐頂部的中間位置,氬氣從頂部吹進(jìn)來后,經(jīng)過護(hù)板空隙再經(jīng)下部隔熱籠的排氣孔排到保溫罩外部,最后通過爐體排氣孔排出到鑄錠爐外,氣體經(jīng)過的路徑比較長(zhǎng),且路徑彎曲,攜帶雜質(zhì)的氣體不容易排出到爐體外。另外,氣體還會(huì)在蓋板與硅熔體之間的空間形成混流,氣流會(huì)帶入坩堝外部的雜質(zhì)與硅熔體蒸發(fā)出的雜質(zhì)旋流在回旋的混流中,不利于雜質(zhì)排出,從而造成硅錠中碳含量偏高。



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      本實(shí)用新型的目的在于提供一種多晶硅鑄錠爐,該多晶硅鑄錠爐能夠有效避免坩堝外部的碳雜質(zhì)進(jìn)入硅熔體,同時(shí)還能將硅熔體蒸發(fā)出的雜質(zhì)帶出爐體,降低多晶硅錠的碳含量。

      為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提供的多晶硅鑄錠爐包括一個(gè)進(jìn)氣結(jié)構(gòu),所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在坩堝側(cè)壁,包括進(jìn)氣管以及將從進(jìn)氣管進(jìn)來的氣體進(jìn)行分流的分流組件,所述的分流組件與所述進(jìn)氣管垂直連接。

      其中,所述的分流組件包括一個(gè)與所述進(jìn)氣管呈丁字連接的容納氣體的空腔和一個(gè)進(jìn)氣通道。

      其中,所述的進(jìn)氣通道為口徑小于所述進(jìn)氣管口徑并與所述空腔垂直連接的分支進(jìn)氣管。

      其中,所述的分支進(jìn)氣管的數(shù)量為2-6個(gè)。

      其中,所述的進(jìn)氣通道為設(shè)置在所述空腔上的橫截面小于所述進(jìn)氣管口徑的凹槽。

      其中,所述的進(jìn)氣通道為設(shè)置在所述空腔上的孔徑小于所述進(jìn)氣管口徑的小孔。

      其中,所述進(jìn)氣通道一側(cè)及相對(duì)一側(cè)的所述護(hù)板設(shè)有開口,所述開口呈凹形。

      其中,所述護(hù)板開口頂端低于所述坩堝側(cè)壁頂端的距離為2厘米以上。

      其中,所述護(hù)板開口頂端低于所述坩堝側(cè)壁頂端的距離為3-8厘米。

      其中,所述鑄錠爐內(nèi)還設(shè)置有出氣通道,所述出氣通道設(shè)置在與所述進(jìn)氣通道相對(duì)一側(cè)的所述護(hù)板開口處。

      由此可見,本實(shí)用新型的多晶硅鑄錠爐,氣體通過進(jìn)氣管進(jìn)入容納氣體的空腔,再通過進(jìn)氣通道進(jìn)入坩堝,氣體在硅熔體表面形成平行氣流層,最后通過出氣通道排出。由于氣體通過進(jìn)氣通道從坩堝側(cè)壁平行于硅熔體進(jìn)入,因此氣體經(jīng)過的路徑比較短,同時(shí)還能避免氣體在硅熔體表面形成渦流,使坩堝外部的雜質(zhì)進(jìn)入硅熔體。

      附圖說明

      圖1是本實(shí)用新型多晶硅鑄錠爐的示意圖;

      圖2是本實(shí)用新型護(hù)板的示意圖;

      圖3是本實(shí)用新型第一實(shí)施例進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的示意圖;

      圖4是本實(shí)用新型第二實(shí)施例進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的示意圖;

      圖5是本實(shí)用新型第三實(shí)施例進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的示意圖;

      附圖中附圖標(biāo)記所對(duì)應(yīng)的名稱為:1-坩堝,2-護(hù)板,3-底板,4-蓋板,5-硅熔體,6-進(jìn)氣管,7-分流組件,701-空腔,702-進(jìn)氣通道,8-出氣通道。

      具體實(shí)施方式

      下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述,以使本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠更好的理解本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征,從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚的界定。顯然,所描述的實(shí)施例只是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例,而不是全部實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都應(yīng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

      實(shí)施例1

      請(qǐng)參考圖1、圖2和圖3,本實(shí)用新型提供的多晶硅鑄錠爐,該多晶硅鑄錠爐包括坩堝1、護(hù)板2、底板3、蓋板4,坩堝1放置在底板3上,護(hù)板2設(shè)置在坩堝1外側(cè),蓋板4設(shè)置在坩堝1上方。該鑄錠爐內(nèi)還包括進(jìn)氣結(jié)構(gòu),所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在坩堝1側(cè)壁,包括進(jìn)氣管6以及將從進(jìn)氣管6進(jìn)來的氣體進(jìn)行分流的分流組件7,所述的分流組件7與進(jìn)氣管6垂直連接,所述的分流組件7包括一個(gè)與進(jìn)氣管6呈丁字連接的容納氣體的空腔701和一個(gè)進(jìn)氣通道702,所述的進(jìn)氣通道702為口徑小于進(jìn)氣管6口徑并與所述空腔701垂直連接的分支進(jìn)氣管。在所述進(jìn)氣通道702一側(cè)及相對(duì)一側(cè)的護(hù)板2上設(shè)有開口,所述開口呈凹形,護(hù)板2開口頂端低于坩堝2側(cè)壁頂端的距離為2厘米以上。在鑄錠爐內(nèi)還設(shè)置有出氣通道8,所述出氣通道8設(shè)置在與所述進(jìn)氣通道702相對(duì)一側(cè)的護(hù)板2開口處。

      進(jìn)一步地,所述分支進(jìn)氣管的數(shù)量可以優(yōu)選為3、4、5個(gè)。

      進(jìn)一步地,所述護(hù)板2開口頂端低于所述坩堝1側(cè)壁頂端的距離優(yōu)選為3cm,4cm,5cm,6cm,7cm。

      當(dāng)氣體通過進(jìn)氣管6進(jìn)入容納氣體的空腔701,再通過分支進(jìn)氣管進(jìn)入坩堝1,氣體在硅熔體5表面形成平行氣流層,最后通過出氣通道8排出,不僅阻擋了坩堝1外部的碳?xì)夥者M(jìn)入硅熔體5,同時(shí)氣流還能帶走硅熔體5蒸發(fā)產(chǎn)生的含碳?xì)怏w,提高了硅錠的質(zhì)量。

      實(shí)施例2

      請(qǐng)參考圖1、圖2和圖4,本實(shí)用新型提供的多晶硅鑄錠爐,該多晶硅鑄錠爐包括坩堝1、護(hù)板2、底板3、蓋板4,坩堝1放置在底板3上,護(hù)板2設(shè)置在坩堝1外側(cè),蓋板4設(shè)置在坩堝1上方。該鑄錠爐內(nèi)還包括進(jìn)氣結(jié)構(gòu),所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在坩堝1側(cè)壁,包括進(jìn)氣管6以及將從進(jìn)氣管6進(jìn)來的氣體進(jìn)行分流的分流組件7,所述的分流組件7與進(jìn)氣管6垂直連接,所述的分流組件7包括一個(gè)與進(jìn)氣管6呈丁字連接的容納氣體的空腔701和一個(gè)進(jìn)氣通道702,所述的進(jìn)氣通道702為設(shè)置在空腔701上的橫截面小于進(jìn)氣管6口徑的凹槽。在所述進(jìn)氣通道702一側(cè)及相對(duì)一側(cè)的護(hù)板2上設(shè)有開口,所述開口呈凹形,護(hù)板2開口頂端低于坩堝2側(cè)壁頂端的距離為2厘米以上。在鑄錠爐內(nèi)還設(shè)置有出氣通道8,所述出氣通道8設(shè)置在與所述進(jìn)氣通道702相對(duì)一側(cè)的護(hù)板2開口處。

      進(jìn)一步地,所述護(hù)板2開口頂端低于所述坩堝1側(cè)壁頂端的距離優(yōu)選為3cm,4cm,5cm,6cm,7cm。

      當(dāng)氣體通過進(jìn)氣管6進(jìn)入容納氣體的空腔701,再通過空腔701上設(shè)置的凹槽進(jìn)入坩堝2,氣體在硅熔體5表面形成平行氣流層,最后通過出氣通道8排出,不僅阻擋了坩堝1外部的碳?xì)夥者M(jìn)入硅熔體5,同時(shí)氣流還能帶走硅熔體5蒸發(fā)產(chǎn)生的含碳?xì)怏w,提高了硅錠的質(zhì)量。

      實(shí)施例3

      請(qǐng)參考圖1、圖2和圖5,本實(shí)用新型提供的多晶硅鑄錠爐,該多晶硅鑄錠爐包括坩堝1、護(hù)板2、底板3、蓋板4,坩堝1放置在底板3上,護(hù)板2設(shè)置在坩堝1外側(cè),蓋板4設(shè)置在坩堝1上方。該鑄錠爐內(nèi)還包括進(jìn)氣結(jié)構(gòu),所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)設(shè)置在坩堝1側(cè)壁,包括進(jìn)氣管6以及將從進(jìn)氣管6進(jìn)來的氣體進(jìn)行分流的分流組件7,所述的分流組件7與進(jìn)氣管6垂直連接,所述的分流組件7包括一個(gè)與進(jìn)氣管6呈丁字連接的容納氣體的空腔701和一個(gè)進(jìn)氣通道702,所述的進(jìn)氣通道702為設(shè)置在空腔701上的孔徑小于進(jìn)氣管6口徑的小孔。在所述進(jìn)氣通道702一側(cè)及相對(duì)一側(cè)的護(hù)板2上設(shè)有開口,所述開口呈凹形,護(hù)板2開口頂端低于坩堝2側(cè)壁頂端的距離為2厘米以上。在鑄錠爐內(nèi)還設(shè)置有出氣通道8,所述出氣通道8設(shè)置在與所述進(jìn)氣通道702相對(duì)一側(cè)的護(hù)板2開口處。

      進(jìn)一步地,所述護(hù)板2開口頂端低于坩堝1側(cè)壁頂端的距離優(yōu)選為3cm,4cm,5cm,6cm,7cm。

      當(dāng)氣體通過進(jìn)氣管6進(jìn)入容納氣體的空腔701,再通過空腔701上設(shè)置的小孔進(jìn)入坩堝,氣體在硅熔體5表面形成平行氣流層,最后通過出氣通道8排出,不僅阻擋了坩堝1外部的碳?xì)夥者M(jìn)入硅熔體5,同時(shí)氣流還能帶走硅熔體5蒸發(fā)產(chǎn)生的含碳?xì)怏w,提高了硅錠的質(zhì)量。

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