本實(shí)用新型涉及一種單晶爐，具體是一種改進(jìn)型單晶爐。
背景技術(shù)：
單晶硅為一種半導(dǎo)體材料，一般用于制造集成電路和其他電子元件，單晶硅生長(zhǎng)技術(shù)有兩種 ：一種是區(qū)熔法，另一種是直拉法，其中直拉法使目前普遍采用的方法。直拉法生長(zhǎng)單晶硅的方法如下 ：將高純度的多晶硅原料放入直拉法單晶爐的石英坩堝內(nèi)，然后在低真空有流動(dòng)惰性氣體的保護(hù)下加熱熔化，把一支有著特定生長(zhǎng)方向的單晶硅 ( 也叫做籽晶 ) 裝入籽晶夾持裝置中，并使籽晶與硅溶液接觸，調(diào)整熔融硅溶液的溫度，使其接近熔點(diǎn)溫度，然后驅(qū)動(dòng)籽晶自上而下伸入熔融的硅溶液中并旋轉(zhuǎn)，然后緩緩上提籽晶，此時(shí)，單晶硅進(jìn)入錐體部分的生長(zhǎng)，當(dāng)錐體的直徑接近目標(biāo)直徑時(shí)，提高籽晶的提升速度，使單晶硅體直徑不再增大而進(jìn)入晶體的中部生長(zhǎng)階段，在單晶硅體生長(zhǎng)接近結(jié)束時(shí)，再提高籽晶的提升速度，單晶硅體逐漸脫離熔融硅，形成下錐體而結(jié)束生長(zhǎng)。用這種方法生長(zhǎng)出來(lái)的單晶硅，其形狀為兩段呈錐形的圓柱體，將該圓柱體切片，即得到單晶硅半導(dǎo)體原料，這種圓形單晶硅片就可以作為集成電路或太陽(yáng)能的材料。單晶硅拉制一般在直拉法單晶爐中進(jìn)行。目前市面上單晶爐的結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，無(wú)法準(zhǔn)確的把握單晶硅的生產(chǎn)狀態(tài)，生產(chǎn)效率低下。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本實(shí)用新型的目的在于提供一種改進(jìn)型單晶爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：
一種改進(jìn)型單晶爐，包括單晶爐主體，所述單晶爐主體安裝在混凝土隔層上，所述單晶爐主體內(nèi)設(shè)有坩堝，所述坩堝設(shè)置在坩堝底座上，坩堝底座下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸連接坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，所述坩堝設(shè)置在加熱裝置內(nèi)，所述單晶爐主體上端設(shè)有卡座，所述卡座一側(cè)設(shè)有紅外線定位接收器，所述卡座連接卡槽，所述卡槽設(shè)置在上爐腔的下端，所述上爐腔上方設(shè)有滑架，所述滑架下端設(shè)有齒條，所述滑架上裝有移動(dòng)裝置，所述移動(dòng)裝置包括與滑架配合的滾輪和與齒條嚙合的驅(qū)動(dòng)裝置，所述移動(dòng)裝置下端通過(guò)液壓缸連接固定架，所述固定架下端設(shè)有紅外線定位發(fā)射器，所述紅外線定位發(fā)射器與紅外線定位接收器位置對(duì)應(yīng)，所述固定架設(shè)置在上爐腔上端，所述上爐腔中設(shè)有提拉桿，所述提拉桿與上爐腔頂部的上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接，所述單晶爐主體上端一側(cè)設(shè)有視覺(jué)傳感器，所述單晶爐主體兩側(cè)設(shè)有抽氣泵接口。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述坩堝底座上設(shè)有與坩堝相匹配的坩堝槽。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述單晶爐主體下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸通道。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述加熱裝置為電熱裝置，所述加熱裝置安裝在下端的電極上。
作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述抽氣泵接口通過(guò)抽氣鋼管與抽氣泵連接。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎，轉(zhuǎn)料方便、快捷，能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量，也進(jìn)一步提高了生產(chǎn)效率。
附圖說(shuō)明
圖1為改進(jìn)型單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中：1-抽氣泵、2-抽氣鋼管、3-轉(zhuǎn)軸通道、4-抽氣泵接口、5-坩堝底座、6-坩堝、7-單晶爐主體、8-籽晶、9-上爐腔、10-上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、11-提拉桿、12-視覺(jué)傳感器、13-單晶硅、14-加熱裝置、15-轉(zhuǎn)軸、16-底架、17-坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、18-混凝土底座、19-混凝土隔層、20-紅外線定位接收器、21-卡座、22-卡槽、23-連接螺栓、24-紅外線定位發(fā)生器、25-固定架、26-液壓缸、27-液壓控制裝置、28-驅(qū)動(dòng)裝置、29-滾輪、30-移動(dòng)裝置、31-滑架、32-齒條。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
請(qǐng)參閱圖1，包括單晶爐主體7，單晶爐主體7安裝在混凝土隔層19上，單晶爐主體7內(nèi)設(shè)有坩堝6，坩堝6設(shè)置在坩堝底座5上，坩堝底座5下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸15，轉(zhuǎn)軸15連接坩堝上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17，坩堝6設(shè)置在加熱裝置14內(nèi)，單晶爐主體7上端設(shè)有卡座21，卡座21一側(cè)設(shè)有紅外線定位接收器20，卡座21連接卡槽22，卡槽22設(shè)置在上爐腔9的下端，上爐腔9上方設(shè)有滑架31，滑架31下端設(shè)有齒條32，滑架21上裝有移動(dòng)裝置30，移動(dòng)裝置30包括與滑架31配合的滾輪29和與齒條32嚙合的驅(qū)動(dòng)裝置28，移動(dòng)裝置30下端通過(guò)液壓缸26連接固定架25，固定架25下端設(shè)有紅外線定位發(fā)射器24，紅外線定位發(fā)射器24與紅外線定位接收器20位置對(duì)應(yīng)，固定架25設(shè)置在上爐腔9上端，上爐腔9中設(shè)有提拉桿11，提拉桿11與上爐腔9頂部的上升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)10連接，單晶爐主體7上端一側(cè)設(shè)有視覺(jué)傳感器12，單晶爐主體7兩側(cè)設(shè)有抽氣泵接口4，坩堝底座5上設(shè)有與坩堝6相匹配的坩堝槽，單晶爐主體7下端設(shè)有轉(zhuǎn)軸通道3，加熱裝置14為電熱裝置，加熱裝置14安裝在下端的電極上，抽氣泵接口4通過(guò)抽氣鋼管2與抽氣泵1連接。
本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)新穎，結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，運(yùn)行平穩(wěn)，使用壽命長(zhǎng)，通過(guò)抽氣泵連接抽氣泵接口的設(shè)置，快速使惰性氣體的充滿爐腔，提高了生產(chǎn)效率，加熱裝置安裝在坩堝四周，實(shí)現(xiàn)快速加熱，提高了生產(chǎn)效率，通過(guò)設(shè)置的視覺(jué)傳感器能夠準(zhǔn)確的把握單晶硅的生長(zhǎng)狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，提高了產(chǎn)品質(zhì)量，通過(guò)卡座卡槽的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)上爐腔與單晶爐主體的連接，方便拆卸，通過(guò)滑架、齒條、移動(dòng)裝置的設(shè)計(jì)，以及液壓缸和固定架的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了上爐腔的上升和下降的功能，也實(shí)現(xiàn)了上爐腔移動(dòng)的功能，方便本實(shí)用新型轉(zhuǎn)料卸料，通過(guò)紅外線定位發(fā)射器與紅外線定位接收器的設(shè)計(jì)，定位準(zhǔn)確，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，也進(jìn)一步提高了生產(chǎn)效率。
對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此，無(wú)論從哪一點(diǎn)來(lái)看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說(shuō)明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說(shuō)明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說(shuō)明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見(jiàn)，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說(shuō)明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。