本實用新型涉及玻璃光罩技術領域,尤其涉及一種玻璃光罩切割裝置。
背景技術:
玻璃光罩,也稱光罩、光掩模版、MASK、光學玻璃,常見的玻璃光罩有鉻版、干版等,是指用高品質(zhì)石英玻璃或蘇打玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設計好的電路圖形通過激光設備精密定位曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,經(jīng)過蝕刻、脫膜后在金屬鉻上形成電路圖形的產(chǎn)品。
玻璃光罩原材料的標準尺寸通常有3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸、9英寸、16*18英寸、450*550mm、508*609mm、620*720mm、700*800mm等規(guī)格;有些客戶對玻璃光罩尺寸有不同需求,超出標準尺寸規(guī)格的玻璃光罩,需要訂制客戶需求尺寸的原材料,客戶對玻璃光罩尺寸規(guī)格需求越多,就需要采購各種規(guī)格的庫存,容易出現(xiàn)呆料和過期,庫存成本高,而且采購定制的規(guī)格數(shù)量較少時,供應商不生產(chǎn),造成采購困難;為了滿足客戶的個性化需求,又能降低成本,采用標準尺寸的材料切割成各種尺寸,通常采用T型玻璃推刀切割玻璃光罩,但是切割尺寸精度低,操作難度大,切割時偏離切割線超過200um時就會報廢;隨著客戶的產(chǎn)品品質(zhì)標準不斷提高,現(xiàn)有切割方法難以滿足客戶對玻璃光罩切割外形尺寸的要求。
技術實現(xiàn)要素:
為此,本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種玻璃光罩切割裝置,以解決現(xiàn)有技術中玻璃光罩切割尺寸精度低、操作難度大、報廢率較高的問題。
于是,本實用新型提供了一種玻璃光罩切割裝置,包括:用于放置玻璃光罩的固定平臺、用于切割標記對位的CCD圖像傳感器和顯示器、用于切割的鉆石刀輪和升降調(diào)節(jié)模塊、用于移動鉆石刀輪的絲桿和伺服電機,以及用于安裝所述的絲桿、伺服電機、CCD圖像傳感器和顯示器的龍門架,所述的絲桿和伺服電機安裝在所述的龍門架下部,所述的CCD圖像傳感器安裝在所述的龍門架中部,所述的顯示器安裝在所述的龍門架上部,所述的龍門架安裝在所述的固定平臺上方,所述的顯示器通過信號線連接所述的CCD圖像傳感器,所述的鉆石刀輪安裝在所述的升降調(diào)節(jié)模塊上通過所述的絲桿與伺服電機連接。
其中,所述鉆石刀輪的升降調(diào)節(jié)模塊包括氣缸和高度調(diào)節(jié)裝置,所述度調(diào)節(jié)裝置與絲桿連接。
所述固定平臺包括高精度大理石平臺和吸真空裝置,所述高精度大理石平臺中分布有若干個小孔通過氣管與所述吸真空裝置連接。
所述裝置還包括一個伺服驅(qū)動控制裝置,所述伺服驅(qū)動控制裝置通過信號連接線與所述伺服電機實現(xiàn)連接。
本實用新型所述一種玻璃光罩切割裝置,通過兩個CCD圖像傳感器和顯示器對位,使玻璃光罩切割線標記與鉆石刀輪切割標記重合,伺服電機通過旋轉(zhuǎn)絲桿帶動鉆石刀輪沿切割線切割玻璃光罩,實現(xiàn)玻璃光罩切割功能??朔耸褂肨型玻璃推刀切割玻璃光罩切割尺寸精度低、操作難度大、報廢率較高的問題,滿足了客戶不同尺寸玻璃光罩的需求。
附圖說明
圖1為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩切割裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面,結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細描述。
如圖1所示,本實施例提供了一種玻璃光罩切割裝置,該裝置包括:用于放置玻璃光罩32的固定平臺31、用于切割標記對位的CCD圖像傳感器12和顯示器11、用于切割的鉆石刀輪21和升降調(diào)節(jié)模塊22、用于移動鉆石刀輪21的絲桿23和伺服電機24,以及用于安裝所述的絲桿23、伺服電機24、CCD圖像傳感器12和顯示器11的龍門架13,所述的絲桿23和伺服電機24安裝在所述的龍門架13下部,所述的CCD圖像傳感器12安裝在所述的龍門架13中部,所述的顯示器11安裝在所述的龍門架13上部,所述的龍門架13安裝在所述的固定平臺31上方,所述的顯示器11通過信號線連接所述的CCD圖像傳感器12,所述的鉆石刀輪21安裝在所述的升降調(diào)節(jié)模塊22上通過所述的絲桿23與伺服電機24連接。
其中,所述鉆石刀輪21的升降調(diào)節(jié)模塊22包括氣缸和高度調(diào)節(jié)裝置,所述高度調(diào)節(jié)裝置與絲桿23連接。
其中,所述固定平臺31包括高精度大理石平臺和吸真空裝置,所述高精度大理石平臺中分布有若干個小孔通過氣管與所述吸真空裝置連接。
其中,所述裝置還包括一個伺服驅(qū)動控制裝置,所述伺服驅(qū)動控制裝置通過信號連接線與所述伺服電機24實現(xiàn)連接。
在實際生產(chǎn)應用中,如圖1所示,所述一種玻璃光罩32切割裝置接通電源,將玻璃光罩32放置在固定平臺31上,通過固定平臺31上方的兩個CCD圖像傳感器12采集玻璃光罩32切割線標記分別在兩個顯示器11上顯示,調(diào)整玻璃光罩32位置,使玻璃光罩32切割線標記與兩個顯示器11上的鉆石刀輪21切割標記重合,此時玻璃光罩32切割線與鉆石刀輪21對齊在一條直線上,然后啟動吸真空裝置(圖中未標示),通過固定平臺31上的小孔吸真空把玻璃光罩吸附在固定平臺31上,根據(jù)玻璃光罩32的厚度調(diào)節(jié)鉆石刀輪21升降調(diào)節(jié)模塊22的高度,使鉆石刀輪21切割玻璃光罩32時有一個適合的壓力,啟動伺服驅(qū)動控制裝置(圖中未標示),使伺服電機24帶動絲桿23旋轉(zhuǎn),使鉆石刀輪21從右向左水平沿玻璃光罩32切割線切割,鉆石刀輪21達到左限位時抬起刀頭,回到右限位原點,切割完畢關閉電源,從固定平臺31上取出玻璃光罩32,把切割的部分掰下,玻璃光罩32切割完成。
本實施例所述玻璃光罩32切割裝置切割的厚度為1.6~6mm,最大長度為800mm,最大寬度為800mm,切割精度為±30um,切割壓力為0.3Mpa。
綜上所述, 本實用新型所述一種玻璃光罩切割裝置,通過兩個CCD圖像傳感器和顯示器使玻璃光罩切割線標記與鉆石刀輪切割標記重合,固定平臺的真空裝置吸真空將玻璃光罩固定,伺服電機帶動絲桿旋轉(zhuǎn),絲桿帶動升降調(diào)節(jié)模塊和鉆石刀輪水平勻速移動,鉆石刀輪沿玻璃光罩切割線切割玻璃光罩,實現(xiàn)玻璃光罩切割的功能。克服了使用T型玻璃推刀切割玻璃光罩切割尺寸精度低、操作難度大、報廢率較高的問題,滿足了客戶不同尺寸玻璃光罩的需求。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。