本發(fā)明涉及tft-lcd技術領域，具體涉及一種tft-lcd玻璃基板雙面鍍膜的方法。
背景技術：
目前大部分液晶顯示用玻璃鍍膜產(chǎn)品所鍍的膜層為sio2+ito膜層，這樣鍍膜出來的產(chǎn)品，在550nm處透過率約為90％，鍍膜前后透過率的比值為97％左右，視覺效果較差，大部分液晶顯示用玻璃廠家都可以做到這種質(zhì)量的觸摸屏產(chǎn)品，由于技術指標較低，在日益激烈的觸摸屏行業(yè)競爭處于越來越不利的地位，隨著人們對視覺品質(zhì)的不斷追求，生產(chǎn)更高透過率的觸摸屏產(chǎn)品將擁有更大得市場。
技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種tft-lcd玻璃基板雙面鍍膜的方法。
本發(fā)明提供如下技術方案：
一種tft-lcd玻璃基板雙面鍍膜的方法，包括以下步驟：
(1)用磁控濺射鍍膜的方法，在tft-lcd玻璃基板的一面上依次形成第一五氧化二鈮膜層、第一二氧化硅膜層、第二五氧化二鈮膜層及第二二氧化硅膜層，以形成第一增透膜層；
(2)采用磁控濺射鍍膜的方法，在tft-lcd玻璃基板的另一面上依次形成第三五氧化二鈮膜層、第三二氧化硅膜層、第四五氧化二鈮膜層及第四二氧化硅膜層，以形成第二增透膜層；
(3)采用磁控濺射鍍膜的方法，在第二增透膜層上形成ito膜層，即得雙面鍍膜玻璃。
所述第一五氧化二鈮膜層及所述第三五氧化二鈮膜層的厚度為15-18nm；所述第二五氧化二鈮膜層及所述第四五氧化二鈮膜層的厚度為90-96nm；所述第一二氧化硅膜層及所述第三二氧化硅膜層的厚度為28-32nm；所述第二二氧化硅膜層的厚度為80-90nm；所述第四二氧化硅膜層的厚度為60-68nm；所述ito膜層的厚度為16-24nm。
所述第一增透膜層及所述第二增透膜層的磁控濺射鍍膜工藝包括：將磁控濺射鍍膜的鍍膜箱抽真空，后向所述鍍膜箱內(nèi)充入氬氣及氧氣至真空度為1.4pa-1.8pa，在25-30℃下進行鍍膜。
所述步驟(3)中ito膜層的磁控濺射鍍膜工藝包括：將磁控濺射鍍膜的鍍膜箱抽真空，后向所述鍍膜箱內(nèi)充入氬氣及氧氣至真空度為0.4pa-0.6pa，在溫度60℃-80℃下進行鍍膜。
與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明利用光的波動性及干涉原理，設計出提高雙面鍍膜玻璃透過率的膜系；在tft-lcd玻璃基板鍍有五氧化二鈮及二氧化硅材料，該雙面鍍膜玻璃不容易老化泛黃，光反射小，透過率高，畫面圖像清晰；同時，上述雙面鍍膜tft-lcd玻璃基板在420nm-660nm波段的透過率達到96.5％以上，鍍膜前后透過率的比值達到108％以上，對紫外線和紅外線部分有一定的防護作用，該雙面鍍膜tft-lcd玻璃基板的透過率較高，能夠更好地應用到市場。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
實施例一種tft-lcd玻璃基板雙面鍍膜的方法，包括以下步驟：
(1)用磁控濺射鍍膜的方法，在tft-lcd玻璃基板的一面上依次形成第一五氧化二鈮膜層、第一二氧化硅膜層、第二五氧化二鈮膜層及第二二氧化硅膜層，以形成第一增透膜層；
(2)采用磁控濺射鍍膜的方法，在tft-lcd玻璃基板的另一面上依次形成第三五氧化二鈮膜層、第三二氧化硅膜層、第四五氧化二鈮膜層及第四二氧化硅膜層，以形成第二增透膜層；
(3)采用磁控濺射鍍膜的方法，在第二增透膜層上形成ito膜層，即得雙面鍍膜玻璃。
所述第一五氧化二鈮膜層及所述第三五氧化二鈮膜層的厚度為15-18nm；所述第二五氧化二鈮膜層及所述第四五氧化二鈮膜層的厚度為90-96nm；所述第一二氧化硅膜層及所述第三二氧化硅膜層的厚度為28-32nm；所述第二二氧化硅膜層的厚度為80-90nm；所述第四二氧化硅膜層的厚度為60-68nm；所述ito膜層的厚度為16-24nm。
所述第一增透膜層及所述第二增透膜層的磁控濺射鍍膜工藝包括：將磁控濺射鍍膜的鍍膜箱抽真空，后向所述鍍膜箱內(nèi)充入氬氣及氧氣至真空度為1.4pa-1.8pa，在25-30℃下進行鍍膜。
所述步驟(3)中ito膜層的磁控濺射鍍膜工藝包括：將磁控濺射鍍膜的鍍膜箱抽真空，后向所述鍍膜箱內(nèi)充入氬氣及氧氣至真空度為0.4pa-0.6pa，在溫度60℃-80℃下進行鍍膜。
對于本領域技術人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經(jīng)適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。