本實(shí)用新型涉及單晶爐領(lǐng)域,特別涉及單晶爐用晶種夾具。
背景技術(shù):
硅單晶作為一種半導(dǎo)體材料,主要用于光伏和半導(dǎo)體領(lǐng)域,大部分半導(dǎo)體硅單晶都是采用直拉法生產(chǎn)。直拉法是利用旋轉(zhuǎn)晶種從盛有硅熔體的坩堝中提拉制備單晶的一種方法,它是通過發(fā)熱體對承載固態(tài)多晶硅原料部分加熱,待其熔化完成,固液界面穩(wěn)定后,將夾持器夾持的柱狀晶種浸入溶液,通過旋轉(zhuǎn)使熔體中的硅原子順著晶種硅原子結(jié)構(gòu)進(jìn)行有規(guī)則的排列,形成單晶體后緩慢提升,熔體中的硅原子沿著已經(jīng)生長好的單晶體繼續(xù)結(jié)晶,并延續(xù)其規(guī)則的原子結(jié)構(gòu)排列周而復(fù)始的生長,最后形成所需要的硅晶棒。
但是現(xiàn)有單晶爐的晶種夾具,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,安裝不方便,安裝效率低,所以需要設(shè)計(jì)一種新的晶種夾具來解決上述問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型提出了單晶爐用晶種夾具,解決了現(xiàn)有單晶爐的晶種夾具,結(jié)構(gòu)復(fù)雜,安裝不方便,安裝效率低的缺陷。
本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
單晶爐用晶種夾具,包括夾頭,夾頭上設(shè)置有與晶種形狀相對應(yīng)的夾槽,夾槽慣穿夾頭的前后,夾槽內(nèi)設(shè)置有固定凸起,夾頭外套有沿夾頭上下滑動(dòng)的固定滑套,夾頭下端設(shè)置有限制固定滑套最低位置的限位裝置。
進(jìn)一步,所述夾槽為矩形夾槽。
進(jìn)一步,所述固定凸起為矩形凸起或弧形凸起。
進(jìn)一步,所述限位裝置為向外凸起的限位塊。
進(jìn)一步,所述夾頭上端還連接有連接桿。
本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型主要由夾頭、夾槽和固定滑套組成,結(jié)構(gòu)簡單;使用時(shí),向上移固定滑套,然后將晶種放入夾槽,最后再入下固定滑套即可,操作簡單,效率高。
附圖說明
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本實(shí)用新型單晶爐用晶種夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
參照圖1,單晶爐用晶種夾具,包括夾頭1,夾頭1上設(shè)置有與晶種形狀相對應(yīng)的夾槽2,夾槽2慣穿夾頭1的前后,夾槽2內(nèi)設(shè)置有固定凸起3,夾頭1外套有沿夾頭1上下滑動(dòng)的固定滑套4,夾頭1下端設(shè)置有限制固定滑套4最低位置的限位裝置5。
優(yōu)選的,所述夾槽2為矩形夾槽。
優(yōu)選的,所述固定凸起3為矩形凸起或弧形凸起。
優(yōu)選的,所述限位裝置5為向外凸起的限位塊。
優(yōu)選的,所述夾頭1上端還連接有連接桿6。
本實(shí)用新型主要由夾頭1、夾槽2和固定滑套4組成,結(jié)構(gòu)簡單;使用時(shí),向上移固定滑套4,然后將晶種放入夾槽2,最后再入下固定滑套4即可,操作簡單,效率高。
以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。