抑制三銀玻璃放電的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于玻璃深加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種抑制三銀玻璃放電的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在普通的鍍膜玻璃生產(chǎn)中，生產(chǎn)大板玻璃和三銀夾層玻璃時(shí)極易出現(xiàn)玻璃放電現(xiàn)象，出現(xiàn)放電現(xiàn)象后在玻璃表面形成一種放電的痕跡，出現(xiàn)此放電痕跡后會(huì)造成此片鍍膜玻璃報(bào)廢，如果是夾層玻璃會(huì)造成很大成本的浪費(fèi)，給工廠帶來(lái)很大的損失。
[0003]目前解決常規(guī)放電問(wèn)題的方法有輥道絕緣，針對(duì)平面靶使用直流脈沖電源等方法，輥道絕緣法就是在換靶時(shí)通過(guò)清潔輥道濺射物，更換絕緣不良的軸承，以及更換輥道等辦法。但做完絕緣后當(dāng)時(shí)測(cè)量絕緣正常，生產(chǎn)一段時(shí)間后沒(méi)有到一個(gè)換靶周期就會(huì)出現(xiàn)絕緣不良現(xiàn)象，導(dǎo)致放電現(xiàn)象復(fù)發(fā)。平面靶使用直流脈沖電源是將原平面靶使用的直流電源輸出電壓由穩(wěn)定的直流輸出變成脈動(dòng)的方波形狀，減小玻璃表面膜層電位與腔室的電位差，從而減少放電現(xiàn)象的產(chǎn)生。但從實(shí)際情況看，抑制放電的效果并不理想，而且不適用于除平面靶之外的其他靶。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)鍍膜玻璃生產(chǎn)過(guò)程中放電問(wèn)題，本發(fā)明提供一種抑制三銀玻璃放電的裝置。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
[0006]抑制三銀玻璃放電的裝置，包括兩組并聯(lián)在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯(lián)的若干二極管并聯(lián)單元，每個(gè)二極管并聯(lián)單元包括兩個(gè)并聯(lián)的大功率的二極管和二極管兩端并聯(lián)的一電阻和一電容；
[0007]兩組二極管整流單元的陽(yáng)極分別連接兩個(gè)旋轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn)陰極，二極管整流單元的陰極接地。
[0008]優(yōu)選的，所述兩組二極管整流單元的二極管均安裝在內(nèi)部含有冷卻水道的鋁板上，所述鋁板的冷卻水道連接在冷卻水管上，所述鋁板安裝在一箱體內(nèi)。
[0009]優(yōu)選的，每組所述二極管整流單元包含四個(gè)二極管并聯(lián)單元。
[0010]本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
[0011]減少三銀夾層鍍膜產(chǎn)品的放電，抑制放電效果明顯，提高產(chǎn)品成品率，從而降低生產(chǎn)成本；
[0012]二極管箱結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作成本低，安裝方便，不需要增加任何控制系統(tǒng)，使用方便。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明的電路原理圖；
[0014]圖2是本發(fā)明中頻電源的輸出波形；
[0015]圖3是本發(fā)明并接二極管箱后的輸出波形；
[0016]圖4是不加二極管箱時(shí)打弧的電壓圖；
[0017]圖5是加二極管箱后打弧的電壓圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例做詳細(xì)說(shuō)明。
[0019]本發(fā)明是在現(xiàn)有的玻璃深加工技術(shù)上為避免工藝缺陷的背景下產(chǎn)生的，具體是由于生產(chǎn)三銀鍍膜玻璃時(shí)出現(xiàn)在玻璃表面的膜層下放電的現(xiàn)象，造成玻璃報(bào)廢。放電現(xiàn)象一般發(fā)生在玻璃的邊緣部位，在膜層間形成放射狀的放電痕跡，出現(xiàn)玻璃放電后會(huì)造成玻璃報(bào)廢，尤其生產(chǎn)三銀夾層產(chǎn)品時(shí)由于放電造成玻璃報(bào)廢，造成很嚴(yán)重的成本損失。
[0020]為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案是抑制三銀玻璃放電的裝置，如圖1所示，包括兩組并聯(lián)在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯(lián)的若干二極管并聯(lián)單元，每個(gè)二極管并聯(lián)單元包括兩個(gè)并聯(lián)的大功率的二極管和二極管兩端并聯(lián)的一電阻和一電容，并聯(lián)的電阻和電容起濾波作用；
[0021]兩組二極管整流單元的陽(yáng)極分別連接兩個(gè)旋轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn)陰極，二極管整流單元的陰極接地；如圖2所示為中頻電源的輸出波形，圖3為中頻電源并接二極管箱后的輸出波形。
[0022]為了減少二極管產(chǎn)生的熱量，所述兩組二極管整流單元的二極管均安裝在內(nèi)部含有冷卻水道的鋁板上，所述鋁板的冷卻水道連接在冷卻水管上，所述鋁板安裝在一箱體內(nèi)。
[0023]為了達(dá)到更好的抑制放電效果，每組所述二極管整流單元包含四個(gè)二極管并聯(lián)單
J L.ο
[0024]生產(chǎn)三銀產(chǎn)品時(shí)不同膜層(導(dǎo)電介質(zhì)層和非導(dǎo)電介質(zhì)層)之間形成了一個(gè)電容，增加二極管箱的主要作用是減少相鄰平面靶與旋轉(zhuǎn)靶之間的電勢(shì)差，從而減少玻璃膜層間的電壓差，起到減少放電的作用，從而減少放電現(xiàn)象的產(chǎn)生。生產(chǎn)三銀產(chǎn)品時(shí)共使用兩個(gè)二極管箱，放在第三層銀前面和后面的旋轉(zhuǎn)靶上試驗(yàn)，使用二極管箱前后打弧的電壓效果分別如圖4、5所示，使用二極管箱前生產(chǎn)三銀夾層產(chǎn)品的放電比例為50%左右，安裝二極管箱后生產(chǎn)同樣產(chǎn)品時(shí)放電比例可減小到5%左右。提高了成品率，提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本。
[0025]以上對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.抑制三銀玻璃放電的裝置，其特征在于:包括兩組并聯(lián)在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯(lián)的若干二極管并聯(lián)單元，每個(gè)二極管并聯(lián)單元包括兩個(gè)并聯(lián)的大功率的二極管和二極管兩端并聯(lián)的一電阻和一電容； 兩組二極管整流單元的陽(yáng)極分別連接兩個(gè)旋轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn)陰極，二極管整流單元的陰極接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抑制三銀玻璃放電的裝置，其特征在于:所述兩組二極管整流單元的二極管均安裝在內(nèi)部含有冷卻水道的鋁板上，所述鋁板的冷卻水道連接在冷卻水管上，所述鋁板安裝在一箱體內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的抑制三銀玻璃放電的裝置，其特征在于:每組所述二極管整流單元包含四個(gè)二極管并聯(lián)單元。
【專利摘要】本發(fā)明提供抑制三銀玻璃放電的裝置，包括兩組并聯(lián)在中頻電源輸出端的二極管整流單元，每組二極管整流單元包括依次串聯(lián)的若干二極管并聯(lián)單元，每個(gè)二極管并聯(lián)單元包括兩個(gè)并聯(lián)的大功率的二極管和二極管兩端并聯(lián)的一電阻和一電容；兩組二極管整流單元的陽(yáng)極分別連接兩個(gè)旋轉(zhuǎn)靶的陰極，二極管整流單元的陰極接地。本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是：減少三銀夾層鍍膜產(chǎn)品的放電，抑制放電效果明顯，提高產(chǎn)品成品率，從而降低生產(chǎn)成本；二極管箱結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作成本低，安裝方便，不需要增加任何控制系統(tǒng)，使用方便。
【IPC分類】C03C17-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104529179
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410606933
【發(fā)明人】彭立群, 王爍, 齊士新, 王健
【申請(qǐng)人】天津南玻節(jié)能玻璃有限公司
【公開(kāi)日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年10月31日