專利名稱：柔性導(dǎo)電材料、及使用其的換能器、撓性電路板、電磁波屏蔽體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種適合于可伸縮的電極、布線等的柔性導(dǎo)電材料、及使用該柔性導(dǎo)電材料的換能器、撓性電路板、電磁波屏蔽體。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在，正利用介電彈性體等高分子材料進(jìn)行柔軟性高、小型且輕量的換能器的開發(fā)。作為換能器的一個(gè)實(shí)例，可列舉出在彈性體制的介質(zhì)膜的表里兩面配置一對電極而構(gòu)成致動(dòng)器(例如參照專利文獻(xiàn)1、2)。在這種致動(dòng)器中，若增大施加于電極間的施加電壓，則電極間的靜電引力變大。由此，夾于電極間的介質(zhì)膜沿厚度方向被壓縮，介質(zhì)膜的厚度變薄。若膜厚變薄，則相應(yīng)地介質(zhì)膜在平行于電極表面的方向伸長。另一方面，若減小施加于 電極間的施加電壓，則電極間的靜電引力變小。由此，對介質(zhì)膜的沿厚度方向的壓縮力變小，在介質(zhì)膜的彈性恢復(fù)力的作用下膜厚變厚。若膜厚變厚，則相應(yīng)地介質(zhì)膜在平行于電極表面的方向收縮。這樣，致動(dòng)器通過與施加電壓的大小相對應(yīng)的介質(zhì)膜的伸長、收縮來對驅(qū)動(dòng)對象構(gòu)件進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。在致動(dòng)器中，電極被固定于介質(zhì)膜的表里兩面。因此，要求電極能夠與介質(zhì)膜的變形相應(yīng)地伸縮，并且不影響介質(zhì)膜的伸長、收縮。專利文獻(xiàn)I :日本特表2003-506858號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2009-296703號(hào)公報(bào)例如，如專利文獻(xiàn)2所述，可伸縮的電極能夠由在彈性體中混合炭黑等導(dǎo)電劑而得到的柔性導(dǎo)電材料來形成。然而，在使用彈性體的情況下，彈性體中的雜質(zhì)成為問題。例如，在硫化交聯(lián)的情況下，在交聯(lián)后的彈性體的中，大多殘存未反應(yīng)的硫、硫化促進(jìn)劑等、及硫、硫化促進(jìn)劑等的分解產(chǎn)物(反應(yīng)殘?jiān)?。并且，在作為原料的橡膠聚合物中也含有在聚合反應(yīng)時(shí)添加的引發(fā)劑、乳化劑、鏈轉(zhuǎn)移劑等反應(yīng)殘?jiān)?。這些反應(yīng)殘?jiān)鼮閺椥泽w中的雜質(zhì)。因此，由含有上述彈性體的柔性導(dǎo)電材料在介質(zhì)膜的表面上形成了電極的情況下，電極(柔性導(dǎo)電材料)中的雜質(zhì)可能會(huì)被離子化而移動(dòng)到介質(zhì)膜。并且，在將金屬粉末(例如銀粉末)用作了導(dǎo)電劑的情況下，離子化后的銀(Ag+)可能會(huì)移動(dòng)到介質(zhì)膜而作為銀析出(遷移)。并且，在與柔性導(dǎo)電材料接觸的構(gòu)件(介質(zhì)膜等)中含有的雜質(zhì)在移動(dòng)到柔性導(dǎo)電材料后，也可能會(huì)再次移動(dòng)到該構(gòu)件。作為這種雜質(zhì)例如可列舉出用作交聯(lián)促進(jìn)劑的二甲基二硫代氨基甲酸的鋅鹽、鐵鹽、2-巰基苯并噻唑(mercaptobenzothiazole)的鈉鹽、鋅鹽，用作增塑劑、阻燃劑的磷酸三甲苯酯(tricresylphosphate)等有機(jī)磷酸化合物的水解產(chǎn)物、源自表面活性劑的季銨鹽、其他微量含有的各種金屬離子(Na+、K+、Mg2+)等。這樣，也不能忽視與柔性導(dǎo)電材料接觸的構(gòu)件中所含有的雜質(zhì)的影響。根據(jù)本發(fā)明人的研究，確認(rèn)了 當(dāng)將交聯(lián)前的柔性導(dǎo)電材料同樣地涂布于交聯(lián)前的介質(zhì)膜并將柔性導(dǎo)電材料與介質(zhì)膜交聯(lián)為一體時(shí)，雜質(zhì)更加容易地從柔性導(dǎo)電材料向介質(zhì)膜移動(dòng)。
在離子化后的雜質(zhì)在介質(zhì)膜中移動(dòng)時(shí)，介質(zhì)膜的電阻變小。由此，在施加了電壓時(shí)，電流較易在介質(zhì)膜中流動(dòng)(所謂的泄漏電流變大)。因此，電荷不易蓄積在介質(zhì)膜與電極的界面，導(dǎo)致消耗電力增加。另外，若電流在介質(zhì)膜中流動(dòng)，則產(chǎn)生焦耳熱。在產(chǎn)生的熱的作用下，介質(zhì)膜的物性可能會(huì)發(fā)生變化。進(jìn)而，介質(zhì)膜容易被破壞。即，介質(zhì)膜的耐介質(zhì)擊穿性降低。當(dāng)介質(zhì)膜的耐介質(zhì)擊穿性降低時(shí)，例如，在致動(dòng)器中，無法施加較大的電壓。因而，不能獲得充分的力和位移量。另外，除了致動(dòng)器之外，在隔著介質(zhì)膜配置有電極的傳感器、發(fā)電元件等中也存在雜質(zhì)移動(dòng)的問題。進(jìn)而，在由包含彈性體的柔性導(dǎo)電材料在彈性體等彈性基材的表面形成了布線等的情況下，也存在雜質(zhì)移動(dòng)的問題。即，由于雜質(zhì)從柔性導(dǎo)電材料移動(dòng)至彈性基材，使得彈性基材的電阻降低，可能會(huì)產(chǎn)生所謂的泄漏電流。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的實(shí)情而提出的，其課題在于提供向介質(zhì)膜等被粘物移動(dòng)的雜質(zhì)較少的柔性導(dǎo)電材料。本發(fā)明的另一課題在于提供通過由該柔性導(dǎo)電材料形成電極、 布線，從而提供泄漏電流較小、耐久性優(yōu)異的換能器、撓性電路板。本發(fā)明的再一課題在于提供通過使用該柔性導(dǎo)電材料，從而提供泄漏電流較小的電磁波屏蔽體。(I)為了解決上述課題，本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的特征在于，其包括彈性體、充填于該彈性體中的導(dǎo)電劑、固定于該彈性體中且能夠吸附離子性物質(zhì)的吸附劑。在本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料中混合有吸附劑。吸附劑能夠吸附離子性物質(zhì)。即，吸附劑能夠吸附彈性體中的離子化后的雜質(zhì)。并且，吸附劑固定于彈性體中。因此，被吸附劑吸附的雜質(zhì)蓄積在彈性體中，而不從彈性體向外部(與柔性導(dǎo)電材料接觸的其他構(gòu)件)移動(dòng)。此處，吸附劑只要不從彈性體的交聯(lián)結(jié)構(gòu)(聚合物網(wǎng)絡(luò))中向外部移動(dòng)即可。因此，吸附劑與彈性體既可以進(jìn)行化學(xué)鍵合，也可以不進(jìn)行化學(xué)鍵合。這樣，采用本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料，離子化后的雜質(zhì)不易向與柔性導(dǎo)電材料接觸的其他構(gòu)件移動(dòng)。另外，即使離子化后的雜質(zhì)從與本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料接觸的其他構(gòu)件發(fā)生了移動(dòng)，也能夠抑制該雜質(zhì)再次向其他構(gòu)件移動(dòng)。因此，在由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成電極并構(gòu)成了上述致動(dòng)器等換能器的情況下，從電極向介質(zhì)膜移動(dòng)的雜質(zhì)較少。由此，介質(zhì)膜的電阻不易降低。即，施加有電壓時(shí)，電流不易在介質(zhì)膜中流動(dòng)。因此，能夠使消耗電力降低并在介質(zhì)膜與電極的界面蓄積很多的電荷。另外，由于電流不易在介質(zhì)膜中流動(dòng)，從而焦耳熱的產(chǎn)生得以抑制。因此，因熱導(dǎo)致的介質(zhì)膜的物性發(fā)生變化或者介質(zhì)膜被破壞的可能性較小。這樣，采用本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料，能夠?qū)崿F(xiàn)不易限制介質(zhì)膜的變形，且向介質(zhì)膜移動(dòng)的雜質(zhì)較少的電極、布線。(2)本發(fā)明的換能器的特征在于，其具有彈性體制的介質(zhì)膜、隔著該介質(zhì)膜配置的多個(gè)電極、以及分別與多個(gè)該電極相連接的布線，該電極及該布線中的至少一個(gè)由上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。換能器是用于將某種能量轉(zhuǎn)換為其他種類的能量的裝置。在換能器中，例如包括進(jìn)行機(jī)械能與電能的轉(zhuǎn)換的致動(dòng)器、傳感器、發(fā)電元件等，或者進(jìn)行聲能與電能的轉(zhuǎn)換的揚(yáng)聲器、麥克風(fēng)等。采用本發(fā)明的換能器，電極及布線中的至少一個(gè)(以下，為了方便，稱為“電極等”)由上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。因此，當(dāng)介質(zhì)膜變形時(shí)，電極等追隨該變形而伸縮。因此，不易影響介質(zhì)膜的動(dòng)作。另外，從電極等向介質(zhì)膜移動(dòng)的雜質(zhì)較少。因此，介質(zhì)膜的電阻降低的可能性較小。因此，在施加有電壓時(shí)，電流不易在介質(zhì)膜中流動(dòng)。即，因熱導(dǎo)致介質(zhì)膜的物性發(fā)生變化或介質(zhì)膜被破壞的可能性較小。因此，本發(fā)明的換能器的耐久性優(yōu)異。另外，在將本發(fā)明的換能器用作了致動(dòng)器的情況下，能夠?qū)橘|(zhì)膜施加較大的電壓。因此，通過增大施加電壓,能夠產(chǎn)生更大的力。(3)另外，本發(fā)明的撓性電路板的特征在于，其包括彈性基材與配置于該彈性基材表面的布線，該布線的至少一部分由上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。采用本發(fā)明的撓性電路板，布線追隨彈性基材的變形而伸縮。因此，本發(fā)明的撓性電路板適合于可動(dòng)零件、復(fù)雜形狀的零件的布線。并且，從布線向彈性基材移動(dòng)的雜質(zhì)較少。因此，彈性基材的電阻降低、電流流過彈性基材的可能性較小。由此，誤操作得以抑制。另外，因焦耳熱而導(dǎo)致彈性基材的物性變化或者彈性基材被破壞的可能性也較小。因此，本發(fā)明的撓性電路板的耐久性優(yōu)異。
(4)本發(fā)明的電磁波屏蔽體的特征在于，其由上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料能夠由將橡膠聚合物等原料溶解于預(yù)定的溶劑而得到的涂料來制造。或者，能夠由混煉后的原料成形為各種形狀而制造。由此，本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料作為電磁波屏蔽體容易配置于欲屏蔽電磁波的各個(gè)部位。并且，采用本發(fā)明的電磁波屏蔽體，電磁波屏蔽體(柔性導(dǎo)電材料)中的雜質(zhì)不易向與該電磁波屏蔽體接觸的構(gòu)件移動(dòng)。由此，因接觸的構(gòu)件的電阻降低而產(chǎn)生泄漏電流的可能性較小。因此，因焦耳熱導(dǎo)致接觸部件的物性發(fā)生變化或者該部件被破壞的可能性較小。


圖I為作為本發(fā)明的換能器的第I實(shí)施方式的致動(dòng)器的剖面示意圖，其中，圖I的(a)表示電壓斷開狀態(tài)、圖I的(b)表示電壓接通狀態(tài)。圖2為作為本發(fā)明的換能器的第2實(shí)施方式的靜電電容型傳感器的俯視圖。圖3為圖2的III-III剖視圖。圖4為作為本發(fā)明的換能器的第3實(shí)施方式的發(fā)電元件的剖面示意圖，其中，圖4的(a)表不伸長時(shí)，圖4的(b)表不收縮時(shí)。圖5為作為本發(fā)明的換能器的第4實(shí)施方式的揚(yáng)聲器的立體圖。圖6為圖5的VI-VI剖視圖。圖7為本發(fā)明的撓性電路板的俯視透視圖。圖8為安裝到測量裝置上的試驗(yàn)用第I元件的表側(cè)主視圖。圖9為圖8的IX-IX剖視圖。圖10為安裝到試驗(yàn)裝置上的試驗(yàn)用第2元件的剖視圖。圖11為作為本發(fā)明的換能器的第5實(shí)施方式的致動(dòng)器的剖面示意圖。附圖標(biāo)記說明I :致動(dòng)器(換能器)；10 :介質(zhì)膜;lla、llb :電極;12a、12b :布線；13 :電源；14a、14b :電極;140a、140b :內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層;141a、141b :外側(cè)導(dǎo)電層；2 :靜電電容型傳感器(換能器)；20 :介質(zhì)膜；21a、21b :電極;22a、22b :布線；23a、23b :覆膜；24 :連接器；3 :發(fā)電元件(換能器)；30 :介質(zhì)膜；31a、31b :電極；32a 32c :布線；4 :揚(yáng)聲器(換能器);40a :第I夕卜框；40b :第2夕卜框；41a 第I內(nèi)框；41b :第2內(nèi)框；42a :第I介質(zhì)膜；42b :第2介質(zhì)膜；43a :第I外電極；43b :第2外電極；44a :第I內(nèi)電極；44b :第2內(nèi)電極；45a :第I振動(dòng)板；45b :第2振動(dòng)板;430a、430b、440a、440b :端子；460 :螺栓；461 :螺母；462 :間隔物；5A :試驗(yàn)用第I元件；5B :試驗(yàn)用第2元件；50 :介質(zhì)膜;51a、51b 電極；52 :上側(cè)夾頭；53 :下側(cè)夾頭；54a、54b :內(nèi)側(cè)電極；55a、55b :外側(cè)電極；6 :撓性電路板；60 :彈性基板；61 :表側(cè)布線用連接器；62 :背側(cè)布線用連接器；OlX 16X :表側(cè)電極；01Y 16Y :背側(cè)電極；01χ 16χ :表側(cè)布線；01y 16y :背側(cè)布線。
具體實(shí)施方式
以下，說明本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料、換能器、撓性電路板、電磁波屏蔽體的各實(shí)施方式。另外，本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料、換能器、撓性電路板、電磁波屏蔽體不限定于以下實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠以施加了可做到的改變、改良等的各種方式來實(shí)施本發(fā)明?！慈嵝詫?dǎo)電材料〉本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料具有彈性體、導(dǎo)電劑、吸附劑。彈性體的種類并沒有特別限定。在用作具有彈性體制的介質(zhì)膜的換能器的電極、布線的情況下，從柔軟且易伸縮的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使用彈性率為IOMPa以下的彈性體。例如，可列舉出硅橡膠、乙烯-丙烯共聚物橡膠、天然橡膠、苯乙烯-丁二烯共聚物橡膠、丁腈橡膠(NBR)、氫化丁腈橡膠(H-NBR)、丙烯酸酯橡膠、氯醇橡膠、氯磺化聚乙烯、氯化聚乙烯、聚氨酯橡膠、聚氨酯系的熱塑性彈性體等。另外，如環(huán)氧化天然橡膠、羧基改性氫化腈橡膠等那樣，也可以使用通過導(dǎo)入官能團(tuán)等來改性而得到的彈性體。作為彈性體，能夠單獨(dú)使用一種，或者混合兩種以上而使用。并且，當(dāng)吸附劑與彈性體化學(xué)鍵合時(shí)，能夠?qū)⑽絼┣袑?shí)地固定于彈性體中。因此，作為彈性體，優(yōu)選使用具有與吸附劑能夠反應(yīng)的官能團(tuán)、結(jié)構(gòu)的彈性體。例如，在將具有巰基的化合物用作吸附劑的情況下，優(yōu)選使用具有與巰基或者該化合物中的其他的官能團(tuán)能夠反應(yīng)的官能團(tuán)、結(jié)構(gòu)的彈性體。例如，可列舉出具有環(huán)氧基、異氰酸酯(isocyanate)基、有機(jī)硅烷化合物等的彈性體，含有氯原子、溴原子的彈性體(氯醇橡膠、氯丁二烯橡膠、氯化聚烯烴等)、具有碳-碳雙鍵(C=C)的彈性體等。導(dǎo)電劑的種類沒有特別限定?？蓮南铝形镔|(zhì)中適當(dāng)選擇即炭黑、碳納米管、石墨等碳材料，銀、金、銅、鎳、銠、鈀、鉻、鈦、鉬、鐵以及它們的合金等金屬材料，氧化銦錫(ΙΤ0)、氧化鈦、氧化鋅中摻雜了鋁、銻等其它金屬而成的物質(zhì)等導(dǎo)電性氧化物。導(dǎo)電劑可單獨(dú)使用一種，也可混合兩種以上而使用。例如，從與作為母材的彈性體的密接性高、容易聚集而形成導(dǎo)通路徑的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選炭黑。其中優(yōu)選科琴黑(Ketjen Black)等高導(dǎo)電性炭黑、或如活性炭、介孔碳(Mesoporous Carbon)等那樣具有細(xì)孔且對雜質(zhì)的吸附力較高的物質(zhì)。另外，也可使用由金屬包覆顆粒表面而賦予了導(dǎo)電性的包覆顆粒。相比較于金屬單一成分的顆粒而言，包覆顆粒的比重小。因此，在涂料化時(shí)不易沉降，分散性提高。另外，可通過加工顆粒而容易地制造各種各樣的形狀的包覆顆粒。作為用于包覆的金屬，可使用先前列舉的金屬材料。另外，顆?？墒褂檬?、炭黑等碳材料，碳酸鈣、二氧化鈦、氧化鋁、鈦酸鋇等金屬氧化物，二氧化硅等無機(jī)物，丙烯酸、聚氨酯等樹脂等。導(dǎo)電劑的混合量按照可獲得所希望的電極、布線的導(dǎo)電性的方式確定即可。例如，從確保電極的導(dǎo)電性這樣的觀點(diǎn)考慮，柔性導(dǎo)電材料的體積為IOOvol%時(shí)，導(dǎo)電劑的混合量優(yōu)選為O. lvol%以上。更優(yōu)選為lvol%以上。另一方面，如果導(dǎo)電劑的混合量變多那么柔軟性降低。由此，柔性導(dǎo)電材料的體積為IOOvol%時(shí)，導(dǎo)電劑的混合量優(yōu)選為35vol%以下。更優(yōu)選為15vol%以下。吸附劑只要能夠吸附離子型物質(zhì)且能夠固定于彈性體中即可。作為吸附劑，例如，能夠使用具有細(xì)孔且能夠吸附雜質(zhì)等的物質(zhì)等，該具有細(xì)孔的物質(zhì)包括具有巰基的化合物、離子交換聚合物、二氧化硅和氧化鋁等氧化物、沸石、活性炭、介孔碳等。并且，作為具有陽離子交換能力的物質(zhì)，也能夠使用水滑石等層狀雙氫氧化物、蒙脫石等粘土礦物、層狀氧化鈦、層狀娃酸鹽、及麥輕娃鈉石(Hiagadiite)JjC^liBFfcIE (kenyaite)、馬水娃鈉石(makatite)、水娃鈉石(kanemite)、伊利石(ilerite)等層狀聚娃酸鹽等。其中優(yōu)選具有巰基的化合物、離子交換聚合物、二氧化硅、活性炭、介孔碳?？梢詮倪@些中選擇一種單獨(dú)使 用，也可混合兩種以上而使用。作為具有巰基的化合物，其優(yōu)選具有三嗪(triazine)骨架。三嗪環(huán)具有Π共軛體系。因此，例如，在巰基已鍵合于2、4、6位的情況下，酸性提高，雜質(zhì)的吸附力、與雜質(zhì)的反應(yīng)性提高。例如，可列舉出三聚硫氰酸(TMT :trimercaptotriazine)、4,6-二氨基(diamino)-1, 3, 5-三嗪-2-硫醇(thiol)、4-氨基(amino)-1, 3, 5-三嗪-2-硫醇(thiol)、2-氨基(&11^110)-1，3，5-三嗪-4，6-二硫醇((1行1^01)等。并且，也可以為使硅膠承載TMT而形成的物質(zhì)(Si-TMT)等。當(dāng)將TMT承載于硅膠時(shí)，即使在使用了與TMT不發(fā)生化學(xué)鍵合的彈性體的情況下，也能夠通過將硅膠固定于彈性體中來將TMT固定于彈性體中。離子交換聚合物只要為具有能夠進(jìn)行離子交換的官能團(tuán)的聚合物即可。例如，可列舉出具有陽離子交換能力的磺酸基、羧基的彈性體。另外，可列舉出具有陰離子交換能力的伯氨基、仲氨基、叔氨基的彈性體。這些彈性體在主鏈或側(cè)鏈上具有官能團(tuán)。彈性體的種類沒有特別限定，但是，優(yōu)選為不使柔性導(dǎo)電材料的柔軟性受損的彈性體。另外，作為離子交換聚合物，能夠使用離子交換樹脂。該情況下，只要從公知的陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂中適當(dāng)選擇即可。在陽離子交換樹脂中，存在交換基為磺基(sulfo)的強(qiáng)酸性陽離子交換樹脂、交換基為羧基的弱酸性陽離子交換樹脂?？紤]吸附彈性體中的離子時(shí)釋放的離子種類而優(yōu)選使用H型陽離子交換樹脂。在陰離子交換樹脂中，存在交換基為季銨基的強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂、交換基為伯氨基、仲氨基、叔氨基的弱堿性陰離子交換樹脂。在陰離子交換樹脂為強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂的情況下，考慮吸附彈性體中的離子時(shí)釋放的離子種類而優(yōu)選使用OH型陰離子交換樹脂。離子交換聚合物的粒徑只要考慮由柔性導(dǎo)電材料形成的電極等的膜厚來進(jìn)行適當(dāng)調(diào)整即可。例如，能夠取得的離子交換樹脂的粒徑為數(shù)百μπι，在要形成5μπι 50μπι左右的膜厚的電極的情況下，只要通過在干式粉碎、冷凍粉碎之后過篩等方法使該離子交換樹脂的粒徑變成幾Pm 數(shù)十μπι即可。另外，在離子交換樹脂發(fā)生了膨潤的情況下，優(yōu)選使離子交換樹脂干燥后使用。并且，也可以通過使用比離子交換樹脂柔軟的聚合物來調(diào)整柔性導(dǎo)電材料的物性。作為柔軟的聚合物，可列舉出玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(Tg)為常溫以下的丙烯酸聚合物、聚氨酯聚合物、聚醚、聚二烯(異戍二烯(isoprene)、丁二烯(butadiene)等)、以上述物質(zhì)的共聚物等為主鏈的聚合物。在二氧化硅中，有時(shí)因制造方法而殘存源自原料的鈉。若鈉的殘存量較多，則存在被離子化而變成雜質(zhì)的可能。此處，鈉的殘存量與二氧化硅的PH值有關(guān)。即，若鈉的殘存量較多，則存在二氧化硅的pH值變大的傾向。因此，在使用二氧化硅的情況下，優(yōu)選盡量選擇PH值較小的二氧化硅。例如，pH值可為10. 5以下。優(yōu)選pH值為8. 5以下，更優(yōu)選為6. 5以下。在本說明書中，作為二氧化硅的PH值，采用由下面的測量方法測量而得到值。首先，使二氧化硅分散于水中，制備了二氧化硅濃度為4質(zhì)量％的分散液。其次，充分地?cái)嚢璺稚⒁海肞H儀測量分散液的pH值?；钚蕴?、介孔碳具有導(dǎo)電性。由此，活性炭、介孔碳不僅作為吸附劑，還作為導(dǎo)電劑發(fā)揮功能。因此，在混合作為吸附劑的活性炭、介孔碳中的至少一種的情況下，可不混合作為導(dǎo)電劑的其他材料。但是，當(dāng)欲通過僅混合活性炭、介孔碳來獲得希望的導(dǎo)電性時(shí)，需要 使活性炭、介孔碳的混合量較多。相對于100質(zhì)量份彈性體，活性炭、介孔碳的混合量優(yōu)選為20質(zhì)量份以上且50質(zhì)量份以下。當(dāng)活性炭、介孔碳的混合量較多時(shí)，柔性導(dǎo)電材料的柔軟性降低。因此，從兼顧導(dǎo)電性和柔軟性的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選即使在混合活性炭和介孔碳中的至少一種的情況下，也混合作為導(dǎo)電劑的其他材料。吸附劑的混合量只要根據(jù)使用的化合物的種類來適當(dāng)調(diào)整即可。若吸附劑的混合量過少，則不能充分地獲得對離子物質(zhì)的吸附效果。相反地，若吸附劑的混合量過多，則存在柔性導(dǎo)電材料變硬而使電極、布線所要求的柔軟性受損的可能。例如，在單獨(dú)使用TMT的情況下，相對于100質(zhì)量份彈性體,TMT的混合量優(yōu)選為O. 5質(zhì)量份以上且20質(zhì)量份以下。并且，在單獨(dú)使用H型陽離子交換樹脂或OH型陰離子交換樹脂的情況下，相對于100質(zhì)量份彈性體，H型陽離子交換樹脂或OH型陰離子交換樹脂的混合量優(yōu)選為I質(zhì)量份以上且30質(zhì)量份以下。另外，在單獨(dú)使用二氧化硅的情況下，相對于100質(zhì)量份彈性體，二氧化硅的混合量優(yōu)選為3質(zhì)量份以上且20質(zhì)量份以下。此外，在將活性炭和介孔碳中的至少一種單獨(dú)用作吸附劑的情況下，相對于100質(zhì)量份彈性體，活性炭和介孔碳中的至少一種的混合量優(yōu)選為I質(zhì)量份以上且20質(zhì)量份以下。本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料能夠通過將作為彈性體原料的橡膠聚合物、導(dǎo)電劑、及含有吸附劑的橡膠組合物交聯(lián)來制造。也可以根據(jù)需要在橡膠組合物中混合交聯(lián)劑、硫化促進(jìn)劑、加工助劑、增塑劑、抗氧化劑、增強(qiáng)劑、著色劑等添加劑。通過進(jìn)行交聯(lián)來賦予橡膠彈性，從而提高與伸縮相對應(yīng)的恢復(fù)性。交聯(lián)方法能夠根據(jù)橡膠聚合物的種類等來適當(dāng)確定。例如，可列舉出硫化交聯(lián)、過氧化物交聯(lián)、異氰酸酯(isocyanate)交聯(lián)、氫化硅烷化交聯(lián)、環(huán)氧交聯(lián)、電子束(EV)交聯(lián)、紫外線(UV)交聯(lián)等。此外，也可以利用有機(jī)金屬化合物的溶膠凝膠反應(yīng)。例如，在要利用輥、混煉機(jī)混煉橡膠聚合物等原料以制備橡膠組合物的情況下，只要將制備后的橡膠組合物充填到模具中并在預(yù)定的條件下對該橡膠組合物進(jìn)行擠壓交聯(lián)即可?；蛘?，在要將橡膠聚合物等原料溶解于預(yù)定的溶劑中以制備橡膠組合物的情況下，只要如述那樣進(jìn)行交聯(lián)即可。首先，將制備后的橡膠組合物涂布在基材等上。其次，使涂膜干燥，并使溶劑揮發(fā)。然后，與涂膜的干燥一起進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)，或者在另行規(guī)定的條件下進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)。無論在上述哪種情況下，若預(yù)先混合橡膠聚合物與導(dǎo)電劑，則導(dǎo)電劑的分散性提聞。<換能器>本發(fā)明的換能器包括彈性體制的介質(zhì)膜、隔著該介質(zhì)膜配置的多個(gè)電極、分別與多個(gè)該電極相連接的布線。作為介質(zhì)膜，優(yōu)選使用相對介電常數(shù)高的彈性體。具體優(yōu)選為常溫時(shí)的相對介電常數(shù)(IOOHz)為2以上的彈性體，進(jìn)一步優(yōu)選為5以上的彈性體。例如可采用具有酯基、羧基、羥基、鹵素基團(tuán)、酰胺基、磺酸基、氨基甲酸酯基、腈基等極性官能團(tuán)的彈性體，或者可采用添加了具有這些極性官能團(tuán)的極性低分子量化合物的彈性體。作為適當(dāng)?shù)膹椥泽w，可列舉出硅橡膠、丁腈橡膠(NBR)、氫化丁腈橡膠(Η-NBR)、三元乙丙橡膠(EPDM)、丙烯酸酯橡膠、聚氨酯橡膠、氯醇橡膠、氯磺化聚乙烯、氯化聚乙烯等。介質(zhì)膜的厚度根據(jù)換能器的用途等來適當(dāng)確定即可。例如，在致動(dòng)器的情況下，從小型化、低電位驅(qū)動(dòng)化、以及增大位移量等觀點(diǎn)考慮，介質(zhì)膜的厚度較薄是優(yōu)選的。在此情 況下，也考慮介質(zhì)擊穿性等而優(yōu)選將介質(zhì)膜的厚度設(shè)為I μ m以上且1000 μ m (Imm)以下。更優(yōu)選的范圍為5 μ m以上且200 μ m以下。電極和布線中的至少一個(gè)由上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。對于本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的結(jié)構(gòu)和制造方法，在上文進(jìn)行了說明。因此，此處省略說明。并且，在本發(fā)明的換能器中，也優(yōu)選采用上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的優(yōu)選的方式。電極和布線也可以由材質(zhì)不同的兩層以上的導(dǎo)電層形成。該情況下，優(yōu)選由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成與介電層接觸的導(dǎo)電層。例如，在本發(fā)明的換能器中，優(yōu)選的方式為電極具有層疊著的多個(gè)導(dǎo)電層，在多個(gè)該導(dǎo)電層中，內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層與介質(zhì)膜接觸，至少內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。另外，從換能器的小型化以及盡可能減小對于介質(zhì)膜的變形的影響這樣的觀點(diǎn)考慮，優(yōu)選使電極和布線的厚度較薄。例如，優(yōu)選將電極和布線的厚度設(shè)為O. 4μπι以上且ΙΟΟΟμπι以下。更優(yōu)選為5μπι以上且50μπι以下。以下，作為本發(fā)明的換能器的實(shí)例，對致動(dòng)器、靜電電容型傳感器、發(fā)電元件、及揚(yáng)聲器的實(shí)施方式進(jìn)行說明。第I實(shí)施方式作為本發(fā)明的換能器的第I實(shí)例，說明致動(dòng)器的實(shí)施方式。圖I表示本實(shí)施方式的致動(dòng)器的剖面示意圖，其中，圖I的(a)表示電壓斷開狀態(tài)、圖I的(b)表示電壓接通狀態(tài)。如圖I所示，致動(dòng)器I具備介質(zhì)膜10、電極11a、lib、布線12a、12b。介質(zhì)膜10為H-NBR (氫化丁腈橡膠)制。電極Ila按照覆蓋介質(zhì)膜10的上表面的大致全體的方式配置。同樣地，電極Ilb按照覆蓋介質(zhì)膜10的下表面的大致全體的方式配置。電極11a、Ilb各自介由布線12a、12b而連接于電源13。電極11a、Ilb均由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。在從斷開狀態(tài)切換到接通狀態(tài)時(shí)，對一對電極IlaUlb間施加電壓。由于施加電壓，介質(zhì)膜10的厚度變薄，相應(yīng)地，如圖I (b)中空心箭頭所示那樣，介質(zhì)膜在平行于電極IlaUlb表面的方向伸長。由此，致動(dòng)器I輸出圖中上下方向以及左右方向的驅(qū)動(dòng)力。采用本實(shí)施方式，電極11a、Ilb柔軟且可伸縮。由此，電極I la、I Ib能夠追隨介質(zhì)膜10的變形而伸縮。即，介質(zhì)膜10的動(dòng)作不易受電極IlaUlb影響。另外，采用本實(shí)施方式，離子化后的雜質(zhì)不易從電極IlaUlb向介質(zhì)膜10移動(dòng)。由此介質(zhì)膜10的電阻不易降低。即，在施加有電壓時(shí)，電流不易在介質(zhì)膜10中流動(dòng)。因此，通過施加電壓，能夠在介質(zhì)膜10與電極IlaUlb的界面蓄積很多的電荷。另外，電流不易在介質(zhì)膜10中流動(dòng)，因此焦耳熱的產(chǎn)生得以抑制。因此，因熱導(dǎo)致的介質(zhì)膜10的物性變化或者介質(zhì)膜10被破壞的可能性較小。因而，致動(dòng)器I的耐久性優(yōu)異。此外，采用致動(dòng)器1，能夠施加更大的電壓。其結(jié)果，能夠產(chǎn)生更大的力。另外，作為致動(dòng)器的其他的實(shí)施方式，可以列舉出由層疊著的多個(gè)導(dǎo)電層形成電極的實(shí)施方式。以下，示出了由兩層導(dǎo)電層形成了電極的實(shí)施方式。將本實(shí)施方式作為本發(fā)明的換能器的第5實(shí)施方式。圖11表示本實(shí)施方式的致動(dòng)器的剖面示意圖(電壓斷開狀態(tài))。在圖11中，對于與圖I (a)相對應(yīng)的部位，用相同的附圖標(biāo)記進(jìn)行表示。如圖11所示，致動(dòng)器I具備介質(zhì)膜10、電極14a、14b、布線12a、12b。電極14a配置于介質(zhì)膜10的上表面。電極14b以隔著介質(zhì)膜10與電極14a對置的方式設(shè)于介質(zhì)膜10的下表面。電極14a具有內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140a與外側(cè)導(dǎo)電層141a。內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140a按照覆蓋介質(zhì)膜10的上表面的大致全體的方式配置。內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140a由含有吸附劑的本發(fā)明的柔 性導(dǎo)電材料形成。外側(cè)導(dǎo)電層141a層疊于內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140a的上表面。外側(cè)導(dǎo)電層141a由在彈性體中混合銀粉末而得到的柔性導(dǎo)電材料(能夠根據(jù)需要混合硫化促進(jìn)劑等容易離子化的物質(zhì)，但是，沒有混合吸附劑)形成。外側(cè)導(dǎo)電層141a與布線12a連接。布線12a與電源13連接。同樣地，電極14b具有內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140b與外側(cè)導(dǎo)電層141b。內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140b按照覆蓋介質(zhì)膜10的下表面的大致全體的方式配置。內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140b由含有吸附劑的本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。外側(cè)導(dǎo)電層141b層疊于內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140b的下表面。外側(cè)導(dǎo)電層141b由在彈性體中混合銀粉末而得到的柔性導(dǎo)電材料(能夠根據(jù)需要混合硫化促進(jìn)劑等容易離子化的物質(zhì)，但是，沒有混合吸附劑)形成。外側(cè)導(dǎo)電層141b與布線12b連接。布線12b與電源13連接。在本實(shí)施方式中，與介質(zhì)膜10接觸的內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層140a、140b均由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。因此，離子化后的雜質(zhì)不易從電極14a、14b向介質(zhì)膜10移動(dòng)。第2實(shí)施方式作為本發(fā)明的換能器的第2實(shí)例，說明靜電電容型傳感器的實(shí)施方式。首先，說明本實(shí)施方式的靜電電容型傳感器的結(jié)構(gòu)。圖2表示靜電電容型傳感器的俯視圖。圖3表示圖2的III-III剖視圖。如圖2、圖3所示，靜電電容型傳感器2具有介質(zhì)膜20、一對電極21a、21b、布線 22a、22b、覆膜 23a、23b。介質(zhì)膜20為H-NBR (氫化丁腈橡膠)制，其呈沿左右方向延伸的帶狀。介質(zhì)膜20的厚度為約300 μπι。電極21a呈長方形狀。在介質(zhì)膜20的上表面通過絲網(wǎng)印刷而形成有三個(gè)電極21a。同樣地，電極21b呈長方形狀。在介質(zhì)膜20的下表面，按照隔著介質(zhì)膜20與電極21a對置的方式形成有三個(gè)電極21b。電極21b絲網(wǎng)印刷于介質(zhì)膜20的下表面。這樣，夾著介質(zhì)膜20配置有三對電極21a、21b。電極21a、21b由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。布線22a分別與形成于介質(zhì)膜20的上表面的各個(gè)電極2Ia連接。通過布線22a將電極21a與連接器24連接。布線22a通過絲網(wǎng)印刷形成于介質(zhì)膜20的上表面。同樣地，布線22b分別與形成于介質(zhì)膜20的下表面的各個(gè)電極21b連接(圖2中虛線所示)。通過布線22b將電極21b與連接器(圖略)連接。布線22b通過絲網(wǎng)印刷形成于介質(zhì)膜20的下表面。布線22a、22b由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。覆膜23a為丙烯酸酯橡膠制，并且呈沿左右方向延伸的帶狀。覆膜23a覆蓋介質(zhì)膜20、電極21a、布線22a的上表面。同樣地，覆膜23b為丙烯酸酯橡膠制，并且呈沿左右方向延伸的帶狀。覆膜23b覆蓋介質(zhì)膜20、電極2lb、布線22b的下表面。其次，對靜電電容型傳感器2的動(dòng)作進(jìn)行說明。例如，如果從上方按壓靜電電容型傳感器2，那么介質(zhì)膜20、電極2la、覆膜23a —體地向下方彎曲。通過壓縮，使介質(zhì)膜20的厚度變小。其結(jié)果，電極21a、21b間的電容變大。根據(jù)此電容變化，檢測因壓縮而導(dǎo)致的變形。其次，對本實(shí)施方式的靜電電容型傳感器2的作用效果進(jìn)行說明。采用本實(shí)施方式，介質(zhì)膜20、電極21a、21b、布線22a、22b、覆膜23a、23b均由彈性體材料構(gòu)成。由此，靜電 電容型傳感器2的整體柔軟，可伸縮。另外，電極21a、21b以及布線22a、22b能夠追隨介質(zhì)膜20的變形而變形。另外，采用本實(shí)施方式，離子化后的雜質(zhì)不易從電極21a、21b和布線22a、22b向介質(zhì)膜20移動(dòng)。由此，介質(zhì)膜20的電阻不易降低。由于電流不易在介質(zhì)膜20中流動(dòng)，因此檢測精度降低的可能性較小。另外，由于電流不易在介質(zhì)膜20中流動(dòng)，因此焦耳熱的產(chǎn)生得以抑制。因此，因熱導(dǎo)致的介質(zhì)膜20的物性變化或者介質(zhì)膜20被破壞的可能性較小。這樣，靜電電容型傳感器2的耐久性優(yōu)異。此外，本實(shí)施方式的靜電電容型傳感器2中形成有三對隔著介質(zhì)膜20對置的電極21a、21b。其中，電極的數(shù)目、尺寸、配置等根據(jù)用途適當(dāng)確定即可。第3實(shí)施方式作為本發(fā)明的換能器的第3實(shí)例，說明發(fā)電元件的實(shí)施方式。圖4表示本實(shí)施方式的發(fā)電元件的剖面示意圖，其中，圖4的(a)表示伸長時(shí)，圖4 (b)表示收縮時(shí)。如圖4所示，發(fā)電元件3具備介質(zhì)膜30、電極3la、3lb、布線32a 32c。介質(zhì)膜30為H-NBR制(氫化丁腈橡膠)。電極31a按照覆蓋介質(zhì)膜30的上表面的大致全體的方式配置。同樣地，電極31b按照覆蓋介質(zhì)膜30的下表面的大致全體的方式配置。在電極31a上連接著布線32a、32b。即，電極31a介由布線32a與外部負(fù)載(圖略)連接。另外，電極31a介由布線32b與電源(圖略)連接。電極31b通過布線32c而接地。電極31a、31b均由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。如圖4 Ca)中的空心箭頭所示，如果壓縮發(fā)電元件3，并使介質(zhì)膜30在平行于電極31a、31b表面的方向伸長，那么介質(zhì)膜30的膜厚變薄，在電極31a、31b間蓄積電荷。其后，如果去除壓縮力，那么如圖4 (b)所示，在介質(zhì)膜30的彈性恢復(fù)力的作用下介質(zhì)膜30收縮，膜厚變厚。此時(shí)，所蓄積的電荷經(jīng)過布線32a而被釋放。采用本實(shí)施方式，電極31a、31b柔軟且可伸縮。由此，電極31a、31b能夠追隨介質(zhì)膜30的變形而伸縮。即，介質(zhì)膜30的動(dòng)作不易受電極31a、31b影響。另外，采用本實(shí)施方式，離子化后的雜質(zhì)不易從電極31a、31b向介質(zhì)膜30移動(dòng)。由此，介質(zhì)膜30的電阻不易降低。即，壓縮時(shí)，電流不易在介質(zhì)膜30中流動(dòng)。因此，即使在壓縮量較大的情況下，也能夠在介質(zhì)膜30與電極31a、31b的界面蓄積很多的電荷。即，采用發(fā)電元件3，能夠獲得較大的發(fā)電量。此外，因焦耳熱導(dǎo)致的介質(zhì)膜30的物性變化或者介質(zhì)膜30被破壞的可能性較小。這樣，發(fā)電元件3的耐久性優(yōu)異。第4實(shí)施方式作為本發(fā)明的換能器的第4實(shí)例，說明揚(yáng)聲器的實(shí)施方式。首先，說明本實(shí)施方式的揚(yáng)聲器的結(jié)構(gòu)。圖5表不本實(shí)施方式的揚(yáng)聲器的立體圖。圖6表不圖5的VI-VI剖視圖。如圖5、圖6所不，揚(yáng)聲器4具有第I外框40a、第I內(nèi)框41a、第I介質(zhì)膜42a、第I外電極43a、第I內(nèi)電極44a、第I振動(dòng)板45a、第2外框40b、第2內(nèi)框41b、第2介質(zhì)膜42b、第2外電極43b、第2內(nèi)電極44b、第2振動(dòng)板45b、8個(gè)螺栓460、8個(gè)螺母461、以及8個(gè)間隔物462。第I外框40a、第I內(nèi)框41a分別為樹脂制且呈環(huán)狀。第I介質(zhì)膜42a為H-NBR(氫化丁腈橡膠)制且呈圓形的薄膜狀。第I介質(zhì)膜42a張架于第I外框40a與第I內(nèi)框41a之間。S卩，第I介質(zhì)膜42a在確保預(yù)定的張力的狀態(tài)下受到表側(cè)的第I外框40a與背側(cè)的第I內(nèi)框41a的夾持和固定。第I振動(dòng)板45a為樹脂制且呈圓板狀。第I振動(dòng)板45a的直徑小于第I介質(zhì)膜42a的直徑。第I振動(dòng)板45a配置于第I介質(zhì)膜42a的表面的大致中 央。第I外電極43a呈環(huán)狀。第I外電極43a貼附于第I介質(zhì)膜42a的表面。第I內(nèi)電極44a也呈環(huán)狀。第I內(nèi)電極44a貼附于第I介質(zhì)膜42a的背面。第I外電極43a與第I內(nèi)電極44a以夾著第I介質(zhì)膜42a的方式在表里方向上反向設(shè)置。第I外電極43a與第I內(nèi)電極44a均由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。另外，如圖6所示，第I外電極43a具有端子430a。第I內(nèi)電極44a具有端子440a。在端子430a、440a上施加有來自外部的電壓。第2外框40b、第2內(nèi)框41b、第2介質(zhì)膜42b、第2外電極43b、第2內(nèi)電極44b、第2振動(dòng)板45b (以下，總稱為“第2構(gòu)件”)的結(jié)構(gòu)、材質(zhì)、形狀與上述第I外框40a、第I內(nèi)框41a、第I介質(zhì)膜42a、第I外電極43a、第I內(nèi)電極44a、第I振動(dòng)板45a (以下，總稱為“第I構(gòu)件”)的結(jié)構(gòu)、材質(zhì)、形狀相同。并且，第2構(gòu)件的配置與上述第I構(gòu)件的配置在表里方向上對稱。簡單地說明時(shí)，第2介質(zhì)膜42b為H-NBR(氫化丁腈橡膠)制，且張架于第2外框40b與第2內(nèi)框41b之間。第2振動(dòng)板45b配置于第2介質(zhì)膜42b的表面的大致中央。第2外電極43b印刷于第2介質(zhì)膜42b的表面。第2內(nèi)電極44b印刷于第2介質(zhì)膜42b的背面。第2外電極43b與第2內(nèi)電極44b均由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。第2外電極43b的端子430b、第2內(nèi)電極44的端子440b施加有來自外部的電壓。第I構(gòu)件與第2構(gòu)件被8個(gè)螺栓460、8個(gè)螺母461隔著8個(gè)間隔物462固定。“螺栓460-螺母461-間隔物462”的安裝以在揚(yáng)聲器4的周向上分別相距預(yù)定間隔的方式配置。螺栓460從第I外框40a的表面貫穿到第2外框40b的表面。螺母461旋裝于螺栓460貫穿端。間隔物462為樹脂制且以環(huán)狀安裝于螺栓460的軸部。間隔物462用于在第I內(nèi)框41a與第2內(nèi)框41b之間確保預(yù)定的間隔。使第I介質(zhì)膜42a的中央部背面(配置有第I振動(dòng)板45a的部分的背側(cè))與第2介質(zhì)膜42b的中央部背面(配置有第2振動(dòng)板45b的部分的背側(cè))相接合。由此，在第I介質(zhì)膜42a上，朝圖6的空心箭頭Yla所示的方向蓄積作用力。并且，在第2介質(zhì)膜42b上，朝圖6的空心箭頭Ylb所示的方向蓄積作用力。下面，說明本實(shí)施方式的揚(yáng)聲器的動(dòng)作。在初始狀態(tài)(偏置狀態(tài))下，介由端子430a、440a與端子430b、440b對第I外電極43a和第I內(nèi)電極44a與第2外電極43b和第2內(nèi)電極44b施加預(yù)定的電壓(偏置電壓)。在揚(yáng)聲器4動(dòng)作時(shí),對端子430a、440a與端子430b,440b施加反相的電壓。例如，當(dāng)對端子430a、440a施加+IV的偏置電壓時(shí)，第I介質(zhì)膜42a之中、配置于第I外電極43a和第I內(nèi)電極44a之間的部分的膜厚變薄。并且，該部分沿徑向伸長。與此同時(shí)，對端子430b、440b施加反相的電壓(-1V的偏置電壓)。于是，第2介質(zhì)膜42b之中、配置于第2外電極43b和第2內(nèi)電極44b之間的部分的膜厚變厚。并且，該部分沿徑向收縮。由此，第2介質(zhì)膜42b —邊拉伸第I介質(zhì)膜42a，一邊因本身的作用力而朝圖6的空心箭頭Ylb所示的方向彈性變形。相反地，當(dāng)對端子430b、440b施加+IV的偏置電壓、對端子430a、440a施加反相的電壓(_1V的偏置電壓)時(shí),第I介質(zhì)膜42a —邊拉伸第2介質(zhì)膜42b，一邊因本身的作用力而朝圖6的空心箭頭Yla所示的方向彈性變形。這樣,通過使第I振動(dòng)板45a、第2振動(dòng)板45b振動(dòng)來使空氣振動(dòng)并產(chǎn)生聲音。接著，說明本實(shí)施方式的揚(yáng)聲器4的作用效果。采用本實(shí)施方式，第I外電極43a、第I內(nèi)電極44a、第2外電極43b、以及第2內(nèi)電極44b (以下，適當(dāng)?shù)胤Q作“電極43a、44a、43b、44b”)柔軟且可伸縮。由此，第I外電極43a、第I內(nèi)電極44a能夠追隨第I介質(zhì)膜42a的變形而伸縮。同樣地，第2外電極43b和第2內(nèi)電極44b能夠追隨第2介質(zhì)膜42b的變形而伸縮。S卩，第I介質(zhì)膜42a、第2介質(zhì)膜42b的動(dòng)作不易受電極43a、44a、43b、44b影響。
另外，采用本實(shí)施方式，離子化后的雜質(zhì)不易從第I外電極43a、第I內(nèi)電極44a向第I介質(zhì)膜42a移動(dòng)。同樣地，離子化后的雜質(zhì)不易從第2外電極43b、第2內(nèi)電極44b向第2介質(zhì)膜42b移動(dòng)。由此，在施加有電壓時(shí)，電流不易在第I介質(zhì)膜42a和第2介質(zhì)膜42b中流動(dòng)。由此，因焦耳熱導(dǎo)致的第I介質(zhì)膜42a和第2介質(zhì)膜42b的物性變化或者第I介質(zhì)膜42a和第2介質(zhì)膜42b被破壞的可能性較小。這樣，揚(yáng)聲器4的耐久性優(yōu)異。撓件電路板本發(fā)明的撓性電路板具有彈性基材、配置于該彈性基材的表面的布線。彈性基材的材質(zhì)沒有特別限定。例如，作為具有伸縮性的材料，可列舉出硅橡膠、乙烯-丙烯共聚物橡膠、天然橡膠、苯乙烯-丁二烯共聚物橡膠、丁腈橡膠(NBR)、丙烯酸酯橡膠、氯醇橡膠、氯磺化聚乙烯、氯化聚乙烯、聚氨酯橡膠、氟橡膠、氯丁二烯橡膠、異丁烯-異戊二烯(isobutyleneisoprene)橡膠、各種熱塑性彈性體等。布線的至少一部分由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。關(guān)于本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的結(jié)構(gòu)及制造方法，在上文進(jìn)行了說明。因此，此處省略說明。并且，在本發(fā)明的撓性電路板中，也優(yōu)選采用上述本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的優(yōu)選的方式。布線也可以由材質(zhì)不同的兩層以上的導(dǎo)電層形成。該情況下，優(yōu)選由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成與彈性基材接觸的導(dǎo)電層。以下，說明本發(fā)明的撓性電路板的實(shí)施方式。首先，說明本實(shí)施方式的撓性電路板的結(jié)構(gòu)。圖7表示本實(shí)施方式的撓性電路板的俯視透視圖。圖7中以細(xì)線來表示背側(cè)的電極、布線。如圖7所示，撓性電路板6具備彈性基材60、表側(cè)電極OlX 16X、背側(cè)電極OlY 16Y、表側(cè)布線Olx 16x、背側(cè)布線Oly 16y、表側(cè)布線用連接器61、背側(cè)布線用連接器62。彈性基材60為聚氨酯橡膠制，且呈片狀。在彈性基材60的上表面配置有共16根表側(cè)電極OlX 16X。表側(cè)電極OlX 16X各自呈帶狀。表側(cè)電極OlX 16X各自沿X方向(左右方向)延伸。表側(cè)電極OlX 16X按照在Y方向(前后方向)彼此相距預(yù)定間隔、且相互大致平行的方式配置。同樣地，在彈性基材60的下表面配置有共16根背側(cè)電極OlY 16Y。背側(cè)電極OlY 16Y各自呈帶狀。背側(cè)電極OlY 16Y各自沿Y方向延伸。背側(cè)電極OlY 16Y按照在X方向彼此相距預(yù)定間隔、且相互大致平行的方式配置。如圖7的剖面線(hatching)所示，由表側(cè)電極OlX 16X與背側(cè)電極OlY 16Y隔著彈性基材60而交叉的交叉部分(重疊的部分)形成用于檢測載荷等的檢測部。在彈性基材60的上表面配置有共16根表側(cè)布線Olx 16x。表側(cè)布線Olx 16x各自呈線狀。表側(cè)布線Olx 16x由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。表側(cè)布線用連接器61配置于彈性基材60的左后角。表側(cè)布線Olx 16x各自將表側(cè)電極OlX 16X的左端與表側(cè)布線用連接器61連接。另外，彈性基材60的上表面、表側(cè)電極OlX 16X、表側(cè)布線Olx 16x自上方被表側(cè)覆膜(圖略)覆蓋。在彈性基材60的下表面配置有共16根背側(cè)布線Oly 16y。背側(cè)布線Oly 16y各自呈線狀。背側(cè)布線Oly 16y由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。背側(cè)布線用連接器62配置于彈性基材60的左前角。背側(cè)布線Oly 16y各自將背側(cè)電極OlY 16Y的前端與背側(cè)布線用連接器62連接。另外，彈性基材60的下表面、背側(cè)電極OlY 16Y、背側(cè)布線Oly 16y被背側(cè)覆膜(圖略)從下方覆蓋。
表側(cè)布線用連接器61、背側(cè)布線用連接器62各自電連接著運(yùn)算部(圖略)。檢測部處的阻抗被表側(cè)布線Olx 16x以及背側(cè)布線Oly 16y輸入到運(yùn)算部?；诖?，測量表面壓力分布。接著，說明本實(shí)施方式的撓性電路板6的作用效果。采用本實(shí)施方式，表側(cè)布線Olx 16x以及背側(cè)布線Oly 16y均柔軟且可伸縮。由此,表側(cè)布線Olx 16x以及背側(cè)布線Oly 16y能夠追隨彈性基材60的變形而變形。另外，采用本實(shí)施方式，離子化后的雜質(zhì)不易從表側(cè)布線Olx 16x以及背側(cè)布線Oly 16y向彈性基材60移動(dòng)。由此，彈性基材60的電阻降低、電流流過彈性基材60的可能性較小。由此，誤操作得以抑制。另外，由于電流難以在彈性基材60中流動(dòng)，因此，因焦耳熱而導(dǎo)致彈性基材60被破壞的可能性較小。因而，撓性電路板6的耐久性優(yōu)異?！措姶挪ㄆ帘误w〉本發(fā)明的電磁波屏蔽體由本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料形成。電磁波屏蔽體可發(fā)揮如下作用抑制電子設(shè)備內(nèi)部產(chǎn)生的電磁波向外部泄漏、或使源自外部的電磁波難以侵入到內(nèi)部。例如，在電子設(shè)備的殼體的內(nèi)周表面配置電磁波屏蔽體的情況下，只要將由橡膠聚合物等原料溶解于預(yù)定的溶劑而得到的本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的涂料涂布于電子設(shè)備的殼體的內(nèi)周表面并使該涂料交聯(lián)即可。另外，也可在作為上述換能器的第2實(shí)施方式而示出的靜電電容型傳感器中配置電磁波屏蔽體。例如，按照各自覆蓋覆膜23a的上表面和覆膜23b的下表面的方式配置電磁波屏蔽體即可(參照前面的圖2、圖3)。在此情況下，只要將本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料的涂料涂布于覆膜23a的上表面以及覆膜23b的下表面并使該涂料交聯(lián)即可。進(jìn)而，在作為墊層配置在電子設(shè)備的間隙中的情況下，只要將本發(fā)明的柔性導(dǎo)電材料成型為所希望的形狀后使用即可。實(shí)施例其次，通過列舉實(shí)施例來更具體地說明本發(fā)明?！慈嵝詫?dǎo)電材料的制造〉[實(shí)施例I 8]由下述的表I、表2所示的原料制造實(shí)施例I 8的柔性導(dǎo)電材料。首先，利用輥煉機(jī)混合了含環(huán)氧基的丙烯酸酯橡膠聚合物(ΖΕΟΝ (株)制“Nipol (日本注冊商標(biāo))AR42W”)、硫化促進(jìn)劑二甲基二硫代氨基甲酸鋅(大內(nèi)新興化學(xué)(株)制“N0CCELER (日本注冊商標(biāo))PZ”)、以及二甲基二硫代氨基甲酸鐵(大內(nèi)新興化學(xué)(株)制“NOCCELERTTFE”)。接著，將獲得的混合物溶解于甲乙酮(MEK)。接著，向此MEK溶液中添加導(dǎo)電劑(Lion (株)制“Ketjen Black(日本注冊商標(biāo))EC-600JD”)，并用戴諾磨進(jìn)行了攪拌。接著，通過向攪拌后的M EK溶液中添加預(yù)定的吸附劑并利用超聲波均化器進(jìn)行5分鐘的處理來制備了橡膠組合物。其后，通過棒涂布法將制備的橡膠組合物涂布于基材上，形成了厚度大約20 μ m的涂膜。接著，使涂膜干燥后，以170°C加熱30分鐘，并進(jìn)行了交聯(lián)反應(yīng)。這樣，制造了實(shí)施例I 8的柔性導(dǎo)電材料。[實(shí)施例9]除了將導(dǎo)電劑變?yōu)殂y粉末(DOWA Electronics (株)制造的“FA_D_4”)這點(diǎn)以外，以與上述相同的方法制造了實(shí)施例9的柔性導(dǎo)電材料。 [實(shí)施例10]將彈性體變成熱塑性聚氨酯彈性體并制造了實(shí)施例10的柔性導(dǎo)電材料。首先，將熱塑性聚氨酯彈性體(日本聚氨酯工業(yè)(株)制“NIPP0LAN (日本注冊商標(biāo))5193”溶解于MEK溶液中。接著，向此ME K溶液中添加導(dǎo)電劑(Ketjen Black (同上))，并用戴諾磨進(jìn)行了攪拌。接著，通過向攪拌后的M EK溶液中添加吸附劑(活性炭)并利用超聲波均化器進(jìn)行5分鐘的處理來制備了橡膠組合物。其后，通過棒涂布法將制備的橡膠組合物涂布于基材上，形成了厚度大約20 μπι的涂膜。接著，使涂膜干燥后，以150°C加熱30分鐘并使其固化。這樣，制造了實(shí)施例10的柔性導(dǎo)電材料。[實(shí)施例12、13]除了將作為吸附劑的、具有導(dǎo)電性的活性炭或介孔碳混合且沒有混合導(dǎo)電劑Ketjen Black這點(diǎn)之外，以與實(shí)施例I 8的柔性導(dǎo)電材料相同的方法制造了實(shí)施例12、13的柔性導(dǎo)電材料。在實(shí)施例12、13的柔性導(dǎo)電材料中，作為吸附劑混合了的活性炭或介孔碳也發(fā)揮導(dǎo)電劑的作用。[實(shí)施例14]除了改變導(dǎo)電劑的銀粉末的混合量且沒有混合硫化促進(jìn)劑這點(diǎn)之外，以與上述實(shí)施例9相同的方法制造了實(shí)施例14的柔性導(dǎo)電材料。[比較例I]除了沒有混合吸附劑這點(diǎn)之外，以與實(shí)施例I 8的柔性導(dǎo)電材料相同的方法制造了比較例I的柔性導(dǎo)電材料。[比較例2]除了沒有混合吸附劑這點(diǎn)之外，以與實(shí)施例9的柔性導(dǎo)電材料相同的方法制造了比較例2的柔性導(dǎo)電材料。[比較例3]除了沒有混合吸附劑這點(diǎn)之外，以與實(shí)施例14的柔性導(dǎo)電材料相同的方法制造了比較例3的柔性導(dǎo)電材料?！磳?dǎo)電層疊體的制造〉[實(shí)施例11]
首先，通過棒涂布法將實(shí)施例7的柔性導(dǎo)電材料的制造過程中的交聯(lián)前的橡膠組合物涂布于基材上，形成了厚度大約20 μ m的涂膜。其次，通過棒涂布法將比較例2的柔性導(dǎo)電材料的制造過程中的交聯(lián)前的橡膠組合物涂布于形成后的涂膜的上表面，形成了厚度大約20μπι的涂膜。然后，通過對層疊后的兩層涂膜以170°C加熱30分鐘來使其硫化粘接。這樣，制造了實(shí)施例11的導(dǎo)電層疊體。表I、表2表示使用了的原料的種類和混合量。表I中，作為二氧化娃，使用了日本Aerosil (株)制造的干式二氧化娃“Aerosil (日本注冊商標(biāo))380”(pH3. 7 4. 7,比表面積380m2 / g)。并且，作為H型陽離子交換樹脂，使用了 DowChemical公司(陶氏化學(xué)公司)制造的“D0WEX (注冊商標(biāo))50WX8200-400”。表2中，作為活性炭，使用了可樂麗(株)制造的“YP-50F”。另外，作為介孔碳，使用了 ALDRICH公司制造的“Carbon, mesoporous,graphitized, nanopowder，，。復(fù)1·
權(quán)利要求
1.一種柔性導(dǎo)電材料，其特征在于，其包括彈性體、充填于該彈性體中的導(dǎo)電劑、固定于該彈性體中且能夠吸附離子性物質(zhì)的吸附劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的柔性導(dǎo)電材料，其中， 上述吸附劑為從具有巰基的化合物、離子交換聚合物、二氧化硅、活性炭、以及介孔碳中選擇的一種以上的物質(zhì)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性導(dǎo)電材料,其中， 上述具有巰基的化合物與上述彈性體化學(xué)鍵合。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的柔性導(dǎo)電材料,其中， 上述具有巰基的化合物具有三嗪骨架。
5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的柔性導(dǎo)電材料，其中， 上述具有巰基的化合物含有三聚硫氰酸。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的柔性導(dǎo)電材料,其中， 上述離子交換聚合物為H型陽離子交換樹脂或O H型陰離子交換樹脂。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中任一項(xiàng)所述的柔性導(dǎo)電材料，其中， 上述導(dǎo)電劑含有炭黑和銀粒子中的至少一種。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的柔性導(dǎo)電材料，其中， 上述導(dǎo)電劑和上述吸附劑為活性炭和介孔碳中的至少一種。
9.一種換能器，其特征在于，其具有彈性體制的介質(zhì)膜、隔著該介質(zhì)膜配置的多個(gè)電極、以及分別與多個(gè)該電極相連接的布線， 該電極及該布線中的至少一個(gè)由權(quán)利要求I至權(quán)利要求8中任一項(xiàng)所述的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的換能器，其中， 上述電極具有層疊著的多個(gè)導(dǎo)電層， 在多個(gè)該導(dǎo)電層中，內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層與上述介質(zhì)膜接觸，至少內(nèi)側(cè)導(dǎo)電層由上述柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。
11.一種撓性電路板，其特征在于，其包括彈性基材與配置于該彈性基材表面的布線， 該布線的至少一部分由權(quán)利要求I至權(quán)利要求8中任一項(xiàng)所述的柔性導(dǎo)電材料構(gòu)成。
12.—種電磁波屏蔽體，其特征在于，其由權(quán)利要求I至權(quán)利要求8中任一項(xiàng)所述的柔性導(dǎo)電材料形成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種柔性導(dǎo)電材料、及使用其的換能器、撓性電路板、電磁波屏蔽體。柔性導(dǎo)電材料包括彈性體、充填于該彈性體中的導(dǎo)電劑、固定于該彈性體中且能夠吸附離子性物質(zhì)的吸附劑。采用該柔性導(dǎo)電材料，離子化后的雜質(zhì)不易向介質(zhì)膜等被粘物移動(dòng)。由此，施加有電壓時(shí)的泄漏電流變小。因此，通過由該柔性導(dǎo)電材料形成電極或布線，能夠?qū)崿F(xiàn)泄漏電流較小且耐久性優(yōu)異的換能器及撓性電路板。并且，使用該柔性導(dǎo)電材料，能夠?qū)崿F(xiàn)泄漏電流較小的電磁波屏蔽體。
文檔編號(hào)C08L15/00GK102893342SQ20118002339
公開日2013年1月23日 申請日期2011年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月13日
發(fā)明者伊藤貴雅, 小林淳, 吉川均 申請人:東海橡塑工業(yè)株式會(huì)社