本發(fā)明涉及硅材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于硅片清洗的混合型超聲波清洗劑。
背景技術(shù)：
硅材料，是重要的半導(dǎo)體材料，化學(xué)元素符號(hào)Si，電子工業(yè)上使用的硅應(yīng)具有高純度和優(yōu)良的電學(xué)和機(jī)械等性能，硅是產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料，它的產(chǎn)量和用量標(biāo)志著一個(gè)國(guó)家的電子工業(yè)水平，單晶硅在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用，高純的單晶硅是重要的半導(dǎo)體材料。在光伏技術(shù)和微小型半導(dǎo)體逆變器技術(shù)飛速發(fā)展的今天，利用硅單晶所生產(chǎn)的太陽(yáng)能電池可以直接把太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化為光能，實(shí)現(xiàn)了邁向綠色能源革命的開始。
硅片是硅材料存在的一種物理形式，在正常的應(yīng)用中，硅片，是制作集成電路的重要材料，通過(guò)對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動(dòng)著半導(dǎo)體的發(fā)展，自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度，然而硅片在加工時(shí)，不同的工藝節(jié)點(diǎn)都會(huì)使得硅片加工出現(xiàn)瑕疵。
硅片一般都是通過(guò)相應(yīng)的硅碇進(jìn)行切片而成，由于在切割時(shí)，應(yīng)用大量的切削液，潤(rùn)滑液等化學(xué)試劑，因此硅片在切割后，在其本身會(huì)存留有大量的化學(xué)污漬，此類污漬附著在加工成型后的硅片表面，會(huì)影響硅片本身性能，因此必須進(jìn)行相應(yīng)的清洗，硅片清洗相對(duì)于普通材料清洗不同，如果清洗不當(dāng)，很容易將硅片表面劃傷或者磕傷，因此超聲波清洗時(shí)相對(duì)較為溫和的清洗方法，但是現(xiàn)有的技術(shù)中，利用超聲波技術(shù)進(jìn)行清洗的清洗劑一般都是普通的清洗試劑，或?yàn)樗嵝?，或?yàn)閴A性，直接應(yīng)用于硅片表面，很容易對(duì)硅片本身造成一定的腐蝕，影響實(shí)際的硅片性質(zhì)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種配方合理，性能溫和，清洗效果顯著的用于硅片清洗的混合型超聲波清洗劑。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：
一種用于硅片清洗的混合型超聲波清洗劑，其特征在于，由以下重量份的原料制成：
丙醇52-54份、苯酚10-20份、膠體粒子5-7份、氯化亞錫6-8份、抗壞血酸6-8份、乙酸鈉2-4份、腐植酸鈉2-4份、三聚磷酸鈉3-5份、六偏磷酸鈉2-4份、表面活性劑5-7份、拉絲粉6-8份、滑石粉3-5份、去離子水260-270份。
各原料的優(yōu)選分量為：
丙醇53份、苯酚15份、膠體粒子6份、氯化亞錫7份、抗壞血酸7份、乙酸鈉3份、腐植酸鈉3份、三聚磷酸鈉4份、六偏磷酸鈉3份、表面活性劑6份、拉絲粉7份、滑石粉4份、去離子水265份。
所述的表面活性劑是十二烷基苯磺酸鹽、脂肪醇聚氧乙烯醚、十二烷基磺酸鈉的一種或幾種；
所述的膠體粒子由硅藻土、氧化硅、白土、膨潤(rùn)土中意任意一種或幾種復(fù)配而成，膠體粒子起研磨和吸附作用，達(dá)到洗凈的目的。
上述清洗劑的制備方法為：
1)將上述原料中丙醇、苯酚、乙酸鈉、腐植酸鈉、三聚磷酸鈉和六偏磷酸鈉溶于原料中的去離子水中，高速攪拌直至各物料混合均勻；
2)將原料中的膠體粒子與原料中的拉絲粉和滑石粉預(yù)先研磨至顆粒細(xì)度為20-22um后，與步驟1中的原料進(jìn)行合并混合，并攪拌直至混合均勻；
3)將原料中的剩余原料預(yù)先采用放入攪拌罐中，并加熱至25-28℃，然后開啟攪拌，攪拌均勻后，與步驟2中的原料混合，控制轉(zhuǎn)速3500-3800r/min，高速攪拌35-45min后，出料，即可得到。
本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明制備方法簡(jiǎn)單，配方合理，制備的清洗劑，配合超聲波清洗技術(shù)，能高效去除附著硅片上的各種污垢，同時(shí)清洗劑為中性溫和型，有效的呵護(hù)硅片表壁不受損傷，使用效果良好，不會(huì)對(duì)硅片造成腐蝕，無(wú)殘留，無(wú)污染，清洗效果顯著，原料易得，成本低下。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
實(shí)施例1
稱?。罕?2kg、苯酚10kg、膠體粒子5kg、氯化亞錫6kg、抗壞血酸6kg、乙酸鈉2kg、腐植酸鈉2kg、三聚磷酸鈉3kg、六偏磷酸鈉2kg、表面活性劑5kg、拉絲粉6kg、滑石粉3kg、去離子水260kg。
實(shí)施例2
稱取：丙醇53kg、苯酚15kg、膠體粒子6kg、氯化亞錫7kg、抗壞血酸7kg、乙酸鈉3kg、腐植酸鈉3kg、三聚磷酸鈉4kg、六偏磷酸鈉3kg、表面活性劑6kg、拉絲粉7kg、滑石粉4kg、去離子水265kg。
制備上述實(shí)施例1或2的方法為：
1)將上述原料中丙醇、苯酚、乙酸鈉、腐植酸鈉、三聚磷酸鈉和六偏磷酸鈉溶于原料中的去離子水中，高速攪拌直至各物料混合均勻；
2)將原料中的膠體粒子與原料中的拉絲粉和滑石粉預(yù)先研磨至顆粒細(xì)度為20-22um后，與步驟1中的原料進(jìn)行合并混合，并攪拌直至混合均勻；
3)將原料中的剩余原料預(yù)先采用放入攪拌罐中，并加熱至25-28℃，然后開啟攪拌，攪拌均勻后，與步驟2中的原料混合，控制轉(zhuǎn)速3500-3800r/min，高速攪拌35-45min后，出料，即可得到。
以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。