專利名稱：：噴墨涂布方法及顯示元件制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種使用于顯示元件或生化晶片等的噴墨(inkjet)涂布方法及顯示元件制造方法，特別是涉及一種在半導(dǎo)體裝置、液晶顯示面板、有機(jī)EL(electroluminescent，電場發(fā)光)顯示面板、或場發(fā)射顯示面板(filedemissiondisplaypanel)等的基板上涂布涂布液的噴墨涂布方法及顯示元件制造方法。
背景技術(shù)：
：顯示元件或生化晶片(biochip)等，是把從噴墨噴嘴噴射出的包含水溶液、無機(jī)溶媒、或有機(jī)溶媒的涂布液的液滴，涂布到半導(dǎo)體裝置、液晶顯示面板、有機(jī)EL(electroluminescent)顯示面板、或場發(fā)射顯示面板等的基板上，藉此在基板上形成涂膜(例如功能層)。上述的噴墨涂布方法，是使用于需要微細(xì)圖案化的成膜工程(例如，顯示元件的發(fā)光層、彩色濾光層的形成工程)?，F(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法，揭露在日本專利早期公開公報特開2003-266003號公報。在此噴墨涂布方法中，為了要把涂布在基板上的涂布液限制在所定的范圍內(nèi)，且要控制涂布在基板上的涂布液所形成的涂膜的形狀，需對基板施行下述的處理(1)對涂布區(qū)域施行親墨處理，(2)對涂布區(qū)域以外的區(qū)域施行撥墨處理，(3)在涂布區(qū)域的周圍形成障壁(bank)。特別是，障壁多用于形成厚膜的時候。在基板的表面上，在障壁圍成的區(qū)間中形成涂膜或圖案的場合，從噴墨噴嘴噴射出1滴涂布液的液滴，把涂布液涂布到前述區(qū)間之后，利用加熱板(hotplate)、噴空氣、真空處理等來干燥涂布液，藉此，在前述區(qū)間中生成涂布液的固體部份(涂膜)。然而，采用現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法，把涂布液涂布到形成了障壁的基板時，涂布液的量是被限制在不會從障壁所圍的區(qū)間漏出的量。也就是說，涂布液的固體部份的厚度要比障壁的高度小很多。為了增加固體部份的厚度，例如可提高涂布液包含的溶質(zhì)(固體部份)的濃度。然而，采用噴墨來涂布涂布液的場合，涂布液的物性是調(diào)整成從噴墨噴嘴容易噴射出涂布液的表面張力或黏度，所以不能把固體部份的濃度無限制的提高。又，為了增加固體部份的濃度，例如可加高障壁的高度。然而，通常在后工程中，因為會在障壁上形成膜或?qū)樱栽诨迳现谱髟慕Y(jié)構(gòu)上，不能無限制地加高障壁的高度。更，為了要增加固體部份的厚度，例如可對障壁的上端面進(jìn)行撥墨處理，同時盡可能地多量噴射涂布液到障壁所圍成的區(qū)域。然而，當(dāng)噴射出多量的涂布液時，涂布液有可能從障壁所圍成的區(qū)間漏出，而流入到鄰接的區(qū)間內(nèi)，所以不能無限制地增加涂布液的量。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的在于，提供一種噴墨涂布方法及顯示元件的制造方法，當(dāng)利用噴墨把涂布液涂布到基板時，不會產(chǎn)生涂布不均，而可容易地制作具有所希望的厚度的涂膜。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種噴墨涂布方法，包括涂布工程，把涂布液的液滴噴射并涂布至基板的表面；干燥工程，使已涂布的涂布液干燥，以生成涂布液中包含的溶質(zhì)的固體部份。其中，重復(fù)涂布工程及干燥工程2次以上，以在基板的所定區(qū)域中，形成具有所定厚度的固體部份。依照本發(fā)明，因為重復(fù)涂布工程和干燥工程2次以上，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，本發(fā)明的固體部份的厚度較大。且當(dāng)形成具有所希望厚度的固體部份的場合，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，因為本發(fā)明可使各涂布工程所涂布的墨量減少，所以可容易地制作涂膜。為了能夠?qū)崿F(xiàn)這些目的，本發(fā)明提供一種噴墨涂布方法，包括在基板表面上形成障壁，障壁的上端面已施行了撥墨處理，以圍住基板表面欲涂布涂布液的區(qū)域；涂布工程，把涂布液的液滴噴射并涂布至基板表面上形成的障壁所圍住的區(qū)間；干燥工程，使已涂布的涂布液干燥，以生成涂布液中包含的溶質(zhì)的固體部份。其中，重復(fù)涂布工程及干燥工程2次以上，以在區(qū)間中，形成具有所定厚度的固體部份。依照本發(fā)明，因為重復(fù)涂布工程和干燥工程2次以上，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，本發(fā)明的固體部份的厚度較大。且當(dāng)形成具有所希望厚度的固體部份的場合，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，因為本發(fā)明可使各涂布工程所涂布的墨量減少，所以可容易地制作涂膜。且，本發(fā)明的目的之一是提供一種顯示元件制造方法，其包括涂布工程，把涂布液的液滴噴射并涂布至基板的表面；干燥工程，使已涂布的涂布液干燥，以生成遮光膜。其中，重復(fù)涂布工程及干燥工程2次以上，以在基板的表面的所定區(qū)域中，形成具有所定厚度的遮光膜。依照本發(fā)明，因為重復(fù)涂布工程和干燥工程2次以上，與現(xiàn)有習(xí)知的顯示元件制造方法相比較，本發(fā)明的遮光膜的厚度較大。且當(dāng)形成具有所希望厚度的遮光膜的場合，與現(xiàn)有習(xí)知的顯示元件制造方法相比較，因為本發(fā)明可使各涂布工程所涂布的墨量減少，所以可容易地制作遮光膜。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明還提供一種顯示元件制造方法，包括涂布工程，把涂布液的液滴噴射并涂布至基板的表面上形成的障壁所圍住的區(qū)間；干燥工程，使已涂布的涂布液干燥，以生成遮光膜。其中，重復(fù)涂布工程及干燥工程2次以上，以在區(qū)間中，形成具有所定厚度的遮光膜。依照本發(fā)明，因為重復(fù)涂布工程和干燥工程2次以上，與現(xiàn)有習(xí)知的顯示元件制造方法相比較，本發(fā)明的遮光膜的厚度較大。且當(dāng)形成具有所希望厚度的遮光膜的場合，與現(xiàn)有習(xí)知的顯示元件制造方法相比較，因為本發(fā)明可使各涂布工程所涂布的墨量減少，所以可容易地制作遮光膜。經(jīng)由上述可知，本發(fā)明是有關(guān)于一種噴墨涂布方法及顯示元件制造方法。該噴墨涂布方法，是在基板的表面的所定區(qū)域中，重復(fù)所定的涂布工程和干燥工程2次以上，以形成具有所定厚度的涂布液中包含的溶質(zhì)的固體部份。在涂布工程中，涂布液是噴射并涂布至基板的表面。在干燥工程中，涂布液被干燥以形成前述的固體部份。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細(xì)說明如下。圖1為本發(fā)明第1實施例的噴墨涂布裝置的斜視圖。圖2為使用本發(fā)明第1實施例的噴墨涂布裝置，把涂布液涂布到基板上的狀態(tài)時，基板的表面附近的放大斷面圖。圖3為使用本發(fā)明第1實施例的噴墨涂布裝置的噴墨涂布方法的流程圖。圖4為本發(fā)明的顯示元件制造方法的流程圖。圖5為本發(fā)明第2實施例的噴墨涂布裝置的斜視圖。圖6為使用本發(fā)明第2實施例的噴墨涂布裝置的噴墨涂布方法的流程圖。具體實施例方式為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的噴墨涂布方法及顯示元件制造方法其具體實施方式、方法、步驟、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。請參閱圖1至圖6所示，其說明本發(fā)明第1及第2實施例。且X軸、Y軸、Z軸分別設(shè)定成噴墨涂布裝置的長邊方向、噴墨涂布裝置的寬方向、噴墨涂布裝置的高度方向。X軸、Y軸、Z軸相互直交。(第1實施例)如圖1所示，噴墨涂布裝置1具備架臺11、Y軸臺(table)12、X軸臺13、工作臺(stage)14、支撐體15、升降構(gòu)件16、支撐具17、噴墨頭18、氣刀(airknife)裝置20。Y軸臺12固定在架臺11的上面。X軸臺13設(shè)置在Y軸臺12的上面。Y軸臺12，根據(jù)控制部(圖示略)而來的指令，使X軸臺13在Y軸方向移動。工作臺14設(shè)置在X軸臺13的上面。X軸臺13，根據(jù)控制部(圖示略)而來的指令，使工作臺14在X軸方向移動?；錝設(shè)置在工作臺14的上面。如圖2所示，多個障壁(bank)2站立設(shè)置在基板S的表面。障壁是由聚酰亞胺(polyimide)形成，其具有已撥墨處理過的上端面。且，為了用障壁2當(dāng)作彩色濾光的黑色矩陣層(blackmatrix)，在障壁2的一部份或全部形成遮光層亦可。支撐體15形成為略倒U形，跨過Y軸臺12、X軸臺13、工作臺14、基板S，而站立設(shè)置在架臺11的上面。升降構(gòu)件16是可上下移動地安裝在支撐體15的上部的側(cè)面(+Y側(cè))。支撐具17形成為略L狀，安裝在升降構(gòu)件16的側(cè)面(+Y側(cè))。噴墨頭18是可從支撐具17的下部往下方(-Z側(cè))轉(zhuǎn)動，以此方式被安裝著。噴墨頭18具有平行于Z軸的回轉(zhuǎn)軸。在噴墨頭18的附近，是維持在適于墨涂布的環(huán)境。氣刀裝置20是干燥裝置，具備吐氣用氣刀噴嘴21、吸氣用氣刀噴嘴22、吐氣用管23、吸氣用管24。氣刀裝置20設(shè)于與噴墨頭18分離的位置。吐氣用氣刀噴嘴21，安裝在設(shè)于架臺11的支撐裝置(圖示略)，可在與架臺11的上面略平行的面內(nèi)移動。同樣地，吸氣用氣刀噴嘴22，安裝在設(shè)于架臺11的支撐裝置，可在與架臺11的上面略平行的面內(nèi)移動。吐氣氣刀噴嘴21的噴嘴開口是配置在接近吸氣用氣刀噴嘴的噴嘴開口。吐氣用管23具有連接至送風(fēng)機(jī)(blower)(圖示略)的一端，及連接至吐氣用氣刀噴嘴21的另端。吸氣用管24具有連接至泵(圖示略)的一端，及連接至吸氣用氣刀噴嘴22的另端。其次，說明利用噴墨裝置1在基板S的表面，在障壁2所圍成的區(qū)間內(nèi)形成涂布液(ink，墨)的固體部份(涂膜)的方法(參照圖3)。最初，基板S，設(shè)置在工作臺14的上面(步驟S1)，根據(jù)控制部而來的指，使Y軸臺12及X軸臺13移動，藉此，將之配置在噴墨頭18的正下方(步驟S2)。其次，噴墨頭18把墨涂布到基板S的表面所形成的由障壁2所圍的區(qū)間(步驟S3)。然后，根據(jù)控制部而來的指令，使Y軸臺12及X軸臺13移動，藉此，基板S可配置在氣刀裝置20的正下方(步驟S4)。在使吐氣用氣刀噴嘴21的噴嘴開口與吸氣用氣刀噴嘴22的噴嘴開口接近基板S的狀態(tài)下，從吐氣用氣刀噴嘴21的噴嘴開口吐出空氣，同時從吸氣用氣刀噴嘴22的噴嘴開口吸入空氣，藉此，空氣氣流便局部的生成在前述區(qū)間的上方。已涂布的墨是利用空氣氣流來干燥，以在前述區(qū)間內(nèi)形成墨的固體部份3a(步驟S5)。干燥后，根據(jù)控制部而來的指令，使Y軸臺12與X軸臺13移動，藉此，再度使基板S配置到噴墨頭18的正下方(步驟S6)。在此，控制部判定墨是否僅以所定次數(shù)涂布在前述區(qū)間(步驟S7)。當(dāng)已經(jīng)僅依所定次數(shù)涂布的場合，使Y軸臺12及X軸臺13移動，使前述區(qū)間所鄰接的區(qū)間配置到噴墨頭18的正下方，或者使Y軸臺12及X軸臺13的移動停止(步驟S8)。當(dāng)未依所定次數(shù)涂布墨時，便回到步驟S3。在第2次以后的墨的涂布工程中，噴墨頭18是從前述固體部份3a的上方，把墨涂布到前述區(qū)間。像這樣，在前述區(qū)間中重復(fù)所定次數(shù)(2次以上)的涂布工程和干燥工程，藉此，可得具有所希望厚度的涂膜(多段的固體部份)3。當(dāng)基板S是顯示元件的彩色濾光基板時，涂膜3為著色膜或黑色矩陣膜亦可。上述的噴墨涂布方法具有下述的利點。在S基板的表面，在障壁2所圍成的區(qū)間內(nèi)形成具有所希望的厚度的涂膜的場合，在最初的涂布工程與干燥工程中，使墨中的70～80％程度的濃度包含的溶媒充份地?fù)]發(fā)、消散，藉此，形成墨中20～30％程度的濃度包含的固體部份3a，之后，僅以所定次數(shù)(2次以上)，重復(fù)涂布工程和干燥工程，也就是說，與只進(jìn)行一次涂布工程和干燥工程的現(xiàn)有習(xí)知噴墨涂布方法相比較，本發(fā)明的涂膜3的厚度較大。當(dāng)形成具有所希望厚度的涂膜的場合，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，因為本發(fā)明可使各涂布工程所涂布的墨量減少，所以可防止墨從障壁2的上端部漏出。當(dāng)形成薄涂膜的場合，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，因為本發(fā)明可使各涂布工程所涂布的墨量減少，所以可降低障壁2的高度。因而可使基板的平坦性提升。利用Y軸臺12、X軸臺13、吐氣用氣刀噴嘴21，及吸氣用氣刀噴嘴22，因為可以僅干燥墨的所希望部位，可以穩(wěn)定地形成涂膜。在除了最后的干燥工程以外的干燥工程中，不需把墨中包含的溶質(zhì)完全固化。亦即，如果可以使墨中包含的溶媒揮發(fā)，以充份地減少墨的容積亦可。也就是說，與現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法相比較，本發(fā)明可縮短各干燥工程所需的干燥時間，且也可降低各干燥工程所需的加熱溫度。當(dāng)形成具有厚度1微米以上的涂膜的場合，此噴墨涂布方法是有利的。且，涂膜的厚度、涂膜的形狀、溶質(zhì)的濃度，及障壁的高度可依涂布工程和干燥工程的重復(fù)次數(shù)而適宜地變更。又，干燥方法，除了氣刀裝置的送風(fēng)以外，也可以使用加熱板的加熱、減壓裝置的抽真空等。其次，說明采用上述的噴墨涂布方法的顯示元件(液晶顯示器)的制造方法(請參閱圖4所示)。最初，在玻璃基板上形成彩色濾光層及黑色矩陣層(步驟S1)。其次，把位于彩色濾光層的各亮點(subpixel，子像素)構(gòu)成的顯示區(qū)域的周圍的非顯示區(qū)域遮光。或者，為了把亮點間的區(qū)域遮光，采用上述的噴墨涂布方法，在非顯示區(qū)域或亮點間的區(qū)域形成遮光膜，藉此，制造彩色濾光基板(步驟S2)。然后，在其他的玻璃基板上有規(guī)則地配置薄膜電晶體(TFT)，制造TFT陣列(array)基板(步驟S3)。最后，把彩色濾光基板貼合至TFT陣列基板，把液晶材料注入到兩者的間隙，藉此，制造面板基板(步驟S4)。且，制造TFT陣列基板時，與步驟S2及S3同樣地，在其他的玻璃基板上形成彩色濾光層及黑色矩陣層亦可。因為遮光膜具有1微米以上的厚度，遮光膜的形成適用上述的噴墨涂布方法。且，上述的噴墨涂布方法，除了遮光膜的形成以外，也可以使用于彩色濾光層的制造中的彩色光阻(colorresist)的涂布。(實施例)在彩色濾光基板的制造中，在基板上形成黑色光阻膜(黑色矩陣層)之后，利用PEP(Photo-Engraving-Process，光刻制程)法，從基板上選擇地除去黑色光阻膜，以形成圖案。障壁所圍住的區(qū)間具有高3微米、150微米的四個邊。采用現(xiàn)有習(xí)知的噴墨涂布方法，把具有20％溶質(zhì)濃度的生肧(green)的彩色光阻涂布到前述區(qū)間內(nèi)。更詳細(xì)地說，把具有每1滴20p1溶積的彩色光阻涂布6滴(合計120p1)到前述區(qū)間內(nèi)。以此方式，彩色光阻在障壁的上端面更上方處因表面張力形成半圓狀凸起。當(dāng)在基板上的10000區(qū)間進(jìn)行像這樣的操作時，從32區(qū)間溢出了彩色光阻。然后，利用加熱板把基板加熱到150℃，使彩色光阻干燥，藉此，彩色光阻的固體部份具有約1.5微米的厚度。在上述實驗中，對障壁的上端部進(jìn)行了CF4/02電漿處理(撥墨處理)之后，把彩色光阻涂布到基板上的10000區(qū)間時，4區(qū)間漏出了彩色光阻。其次，采用本發(fā)明的噴墨涂布方法，把具有20％溶質(zhì)濃度的生肧的彩色光阻涂布到前述區(qū)間。更詳細(xì)地說，，把具有每1滴20p1溶積的彩色光阻涂布3滴(合計60p1)到前述區(qū)間內(nèi)。然后，在干燥工程中，利用加熱板把基板加熱到150℃，使彩色光阻干燥，之后，在第2次的涂布工程中，從彩色光阻的固體部份的上方涂布3滴到前述區(qū)間內(nèi)。進(jìn)行像這樣的操作，把彩色光阻涂布到基板上的10000區(qū)間時，即使在障壁的上端部不進(jìn)行撥墨處理，也不會有彩色光阻溢出的區(qū)間。(第2實施例)如圖5所示，噴墨涂布裝置1’具備架臺11、Y軸臺(table)12、X軸臺13、工作臺(stage)14、支撐體15、升降構(gòu)件16、支撐具17、噴墨頭18、氣刀裝置20’、遮蔽板33、34。Y軸臺12固定在架臺11的上面。X軸臺13設(shè)置在Y軸臺12的上面。Y軸臺12，根據(jù)控制部(圖示略)而來的指令，使X軸臺13在Y軸方向移動。工作臺14設(shè)置在X軸臺13的上面。X軸臺13，根據(jù)控制部而來的指令，使工作臺14在X軸方向移動?；錝設(shè)置在工作臺14的上面。如圖2所示，多個障壁(bank)2站立設(shè)置在基板S的表面。障壁2是由聚酰亞胺形成，其具有已撥墨處理過的上端面。且，為了用障壁2當(dāng)作彩色濾光的黑色矩陣層，在障壁2的一部份或全部形成遮光層亦可。支撐體15形成為略倒U形，跨過Y軸臺12、X軸臺13、工作臺14、基板S，而站立設(shè)置在架臺11的上面。升降構(gòu)件16是可上下移動地安裝在支撐體15的上部的側(cè)面(+Y側(cè))。支撐具17形成為略L狀，安裝在升降構(gòu)件16的側(cè)面(+Y側(cè))。噴墨頭18是可從支撐具17的下部往下方(-Z側(cè))轉(zhuǎn)動，以此方式被安裝著。噴墨18具有平行于Z軸的回轉(zhuǎn)軸。在噴墨頭18的附近，是維持在適于墨的涂布的環(huán)境。氣刀裝置20’是干燥裝置，具備管子23、24、氣刀噴嘴31、32。氣刀裝置20’設(shè)于噴墨頭18附近的位置。氣刀噴嘴31，相對于噴墨頭位于+X側(cè)，以此方式安裝在設(shè)于架臺11或支撐體15的支撐裝置(圖示略)，可在與架臺11的上面略平行的面內(nèi)移動。氣刀噴嘴31的噴嘴開口是形成為錐狀，隨著往下方前進(jìn)可與噴墨頭18分離(亦即，往-Z方向前進(jìn)連帶往+X方向前進(jìn))。同樣地，氣刀噴嘴32，相對于噴墨頭18位于-X側(cè)，以此方式安裝在設(shè)于架臺11或支撐體15的支撐裝置，可在與架臺11的上面略平行的面內(nèi)移動。氣刀噴嘴32的噴嘴開口是形成錐狀，隨著往下方前進(jìn)可與噴墨頭18分離(亦即，往-Z方向前進(jìn)連帶往-X方向前進(jìn))。管子23具有連接至送風(fēng)機(jī)(圖示略)的一端，及連接至氣刀噴嘴31的另端。同樣地，吸氣用管24具有連接至送風(fēng)機(jī)的一端，及連接至氣刀噴嘴32的另端。當(dāng)空氣透過管子23、24供給到氣刀噴嘴31、32時，從氣刀噴嘴31、32的噴嘴開口吐出空氣，在基板S的上方生成空氣氣流。利用此空氣氣流來干燥已涂布的墨。也可以用排氣泵取代送風(fēng)機(jī)，從氣刀噴嘴31、32的噴嘴吸入空氣，以在基板S的上方生成空氣氣流。遮蔽板33設(shè)在噴墨頭18和氣刀噴嘴31之間。同樣地，遮蔽板34設(shè)在噴墨頭18和氣刀噴嘴32之間。遮蔽板33、34是與氣刀噴嘴呈獨立地移動，以此方式，被支撐在設(shè)于架臺11或支撐體15的移動裝置(圖示略)。遮蔽板33、34是防止涂布至基板S的墨在到達(dá)氣刀噴嘴31、32的噴嘴開口的附近之前被干燥。其次，說明利用噴墨裝置1’在基板S的表面，在障壁2所圍成的區(qū)間內(nèi)形成涂布液(墨)的固體部份(涂膜)的方法(參照圖6)。最初，基板S，設(shè)置在工作臺14的上面(步驟S11)，根據(jù)控制部而來的指，使Y軸臺12及X軸臺13移動，藉此，將之配置在噴墨頭18的正下方(步驟S12)。其次，噴墨頭18把墨涂布到基板S的表面所形成的由障壁2所圍的區(qū)間(步驟S13)。然后，根據(jù)控制部而來的指令，使X軸臺13移動，藉此，基板S可配置在氣刀裝置20’(氣刀噴嘴31或32)的正下方(步驟S14)。在使氣刀噴嘴31的噴嘴開口與氣刀噴嘴32的噴嘴開口接近基板S的狀態(tài)下，從氣刀噴嘴31、32的噴嘴開口吐出空氣(或從氣刀噴嘴31、32的噴嘴開口吸入空氣)，藉此，空氣氣流便局部的生成在前述區(qū)間的上方。已涂布的墨是利用前述空氣氣流來干燥，以在前述區(qū)間內(nèi)形成墨的固體部份3a(步驟S15)。干燥后，根據(jù)控制部而來的指令，使X軸臺13移動，藉此，再度使基板S配置到噴墨頭18的正下方(步驟S16)。在此，控制部判定墨是否僅以所定次數(shù)涂布在前述區(qū)間(步驟S17)。當(dāng)已經(jīng)僅依所定次數(shù)涂布的場合，使Y軸臺12及X軸臺13移動，使前述區(qū)間所鄰接的區(qū)間配置到噴墨頭18的正下方，或者使Y軸臺12及X軸臺13的移動停止(步驟S18)。當(dāng)未依所定次數(shù)涂布墨時，便回到步驟S13。在第2次以后的墨涂布工程中，噴墨頭18是從前述固體部份3a的上方，把墨涂布到前述區(qū)間。像這樣，在前述區(qū)間中重復(fù)所定次數(shù)(2次以上)的涂布工程和干燥工程，藉此，可得具有所希望厚度的涂膜(多段的固體部份)3。其次，加上使用噴墨裝置1的噴墨涂布方法的特征，上述的噴墨涂布方法具有下述的利點。因為氣刀噴嘴31、32配置在噴墨頭18的兩側(cè)(±X側(cè))，所以可減少使用Y軸臺12及X軸臺13移動基板S的時間。這樣連帶可縮短噴墨涂布方法所需的時間。因為遮蔽板33、34設(shè)在噴墨頭18與氣刀噴嘴31、32之間，所以在噴墨頭18的附近，可維持在適于把墨涂布至基板S的環(huán)境。這樣可防止已涂布至基板S上的墨干燥超過所需的部份。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。權(quán)利要求1.一種噴墨涂布方法，其特征在于其包括以下步驟一涂布工程，把一涂布液的液滴噴射并涂布至一基板的表面；一干燥工程，使已涂布的該涂布液干燥，以生成該涂布液中包含的溶質(zhì)的固體部份，其中，重復(fù)該涂布工程及該干燥工程2次以上，以在該基板的所定區(qū)域中，形成具有所定厚度的固體部份。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨涂布方法，其特征在于在所述的干燥工程中，利用一氣刀使該涂布液干燥。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨涂布方法，其特征在于在所述的涂布工程中，利用一遮蔽板，防止該涂布液干燥。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴墨涂布方法，其特征在于重復(fù)所述的涂布工程和該干燥工程，直到該固體部份的厚度達(dá)1微米以上。5.一種噴墨涂布方法，其特征在于其包括以下步驟在一基板表面上形成一障壁，該障壁的上端面已施行了撥墨處理，以圍住該基板表面欲涂布一涂布液的區(qū)域；一涂布工程，把該涂布液的液滴噴射并涂布至該基板表面上形成的該障壁所圍住的一區(qū)間；一干燥工程，使已涂布的該涂布液干燥，以生成該涂布液中包含的溶質(zhì)的固體部份，其中，重復(fù)該涂布工程及該干燥工程2次以上，以在該區(qū)間中，形成具有所定厚度的固體部份。6.一種顯示元件制造方法，其特征在于其包括以下步驟一涂布工程，把一涂布液的液滴噴射并涂布至一基板的表面；一干燥工程，使已涂布的該涂布液干燥，以生成一遮光膜，其中，重復(fù)該涂布工程及該干燥工程2次以上，以在該基板的表面的所定區(qū)域中，形成具有所定厚度的遮光膜。7.一種顯示元件制造方法，其特征在于其包括以下步驟一涂布工程，把一涂布液的液滴噴射并涂布至基板的表面上形成的障壁所圍住的一區(qū)間；一干燥工程，使已涂布的該涂布液干燥，以生成一遮光膜，其中，重復(fù)該涂布工程及該干燥工程2次以上，以在該區(qū)間中，形成具有所定厚度的遮光膜。全文摘要本發(fā)明是有關(guān)于一種噴墨涂布方法及顯示元件制造方法。該噴墨涂布方法，是在基板的表面的所定區(qū)域中，重復(fù)所定的涂布工程和干燥工程2次以上，以形成具有所定厚度的涂布液中包含的溶質(zhì)的固體部分。在涂布工程中，涂布液是噴射并涂布至基板的表面。在干燥工程中，涂布液被干燥以形成前述的固體部分。文檔編號B05D3/00GK1751805SQ20051010536公開日2006年3月29日申請日期2005年9月23日優(yōu)先權(quán)日2004年9月24日發(fā)明者桜井直明申請人:株式會社東芝