專利名稱：將涂層涂敷到襯底的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將涂層涂敷到襯底的方法，其中可以有效地控制通過 噴嘴在襯底上噴射的液體介質(zhì)的涂層表面，可以有效地控制通過液體介質(zhì) 形成的涂層的厚度的形成，并且可以高生產(chǎn)效率地保持涂層的質(zhì)量控制。
背景技術(shù)：
涉及對(duì)等離子顯示板等涂敷高質(zhì)量涂層的技術(shù)需要一種可以解釋為管理面板涂層的涂敷的方法。在本申請(qǐng)標(biāo)注的參考文件1到3中說明了該技 術(shù)。參考文件l是名稱為"涂層裝置、涂層方法、用于制備濾色片的裝置 及其制備"的日本未實(shí)審的專利公開文件，描述了一種對(duì)玻璃襯底進(jìn)行高 速均勻涂層的方法，該方法適用于大尺寸玻璃襯底并且可以相對(duì)于介質(zhì)涂 敷方向在寬度方向上在液體介質(zhì)涂抹器的前緣和襯底之間保持均勻間隙。 因此該裝置和方法需要提供距離調(diào)節(jié)構(gòu)件，以便于沿寬度方向在液體介質(zhì) 涂抹器的前緣和襯底之間保持均勻的間隙，并且可以通過改變前緣沿寬度 方向的位置執(zhí)行涂層操作。參考文件2是名稱為"襯底處理裝置"的日本未實(shí)審的專利公開文件， 描述了一種裝置，為了掃描形成的抗蝕層，該裝置使用間隙傳感器掃描襯 底上的將要被涂以抗蝕層的區(qū)域，測(cè)量到抗蝕層的距離，并將數(shù)據(jù)發(fā)送到 控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)比較代表涂敷抗蝕層之前的間隙(到襯底表面的 距離)的值和代表涂敷抗蝕層之后的間隙(到抗蝕層表面的距離)的值， 以便計(jì)算襯底上的抗蝕層的厚度。參考文件3是名為"縫模和用于生產(chǎn)具有涂層膜的基體的方法和裝置" 的日本未實(shí)審的專利公開文件，描述了具有緣部的縫模，在所述緣部之間， 微米水平的間隙可以沿長度方向被容易地調(diào)節(jié)，在組裝后不需要專門調(diào) 節(jié)，并且能夠涂敷厚度偏差小于3%的精確且均勻的涂層。參考文件l日本未實(shí)審的專利公開文件H11 — 300258參考文件2日本未實(shí)審的專利公開文件2004 —1460參考文件3日本未實(shí)審的專利公開文件2004—283820 參考文件l描述了為保持寬度方向上涂抹器的前緣與要被涂層的襯底 之間均勻的距離而改變液體介質(zhì)涂抹器前緣的位置的距離調(diào)節(jié)構(gòu)件的應(yīng) 用。該裝置和方法僅能夠從裝置一側(cè)保持涂抹器的前緣和要被涂層的襯底 之間的均勻距離，因此不能說是提供了有效地控制涂層表面的形成的裝 置。參考文件2描述了裝有間隙傳感器的裝置，該間隙傳感器建立了涂敷 抗蝕層之前的距離值(到襯底表面的距離)和涂敷了抗蝕層之后的距離值 (到抗蝕層表面的距離)。然而，這些距離值用于監(jiān)控抗蝕層。即，它們 只用于執(zhí)行產(chǎn)品合格或不合格的檢查，卻對(duì)輔助涂層的形成沒有任何幫 助。參考文件3描述了沿兩個(gè)凸緣件的寬度方向調(diào)節(jié)兩個(gè)凸緣件之間的間 隙的方法。盡管在裝置本身上提供調(diào)節(jié)凸緣之間的間隙的手段，該方法不 能說是提供了有效控制涂層形成的方法。發(fā)明內(nèi)容考慮到這些相關(guān)技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提出一種有效控制從噴嘴涂敷到 襯底的涂層表面的形成、涂層厚度和保持高水平的生產(chǎn)率的同時(shí)控制涂層 質(zhì)量的方法。本發(fā)明涉及一種將涂層涂敷到襯底的方法，其中，噴嘴噴射液體介質(zhì) 到位于工作臺(tái)上的襯底上，所述噴嘴被連接至噴嘴夾持器的噴嘴定位器支 撐，所述噴嘴夾持器相對(duì)于工作臺(tái)在前后方向上移動(dòng)。在為了測(cè)量形成在 襯底上的介質(zhì)層表面和噴嘴之間的距離安裝了距離傳感器后，將測(cè)試襯底 放置在工作臺(tái)上，并且在噴嘴夾持器相對(duì)于工作臺(tái)向前移動(dòng)期間通過從所 述噴嘴施加的液體介質(zhì)對(duì)測(cè)試襯底進(jìn)行涂層。接著，在所述噴嘴夾持器相 對(duì)于工作臺(tái)向后移動(dòng)期間，通過所述距離傳感器執(zhí)行測(cè)量操作；之后，為 了涂敷預(yù)期的介質(zhì)涂層，根據(jù)所述距離傳感器執(zhí)行的所述測(cè)量操作的結(jié)果 啟動(dòng)噴嘴定位器，所述噴嘴定位器作為設(shè)定噴嘴位置的裝置。這之后將液體介質(zhì)涂敷到襯底上。噴嘴定位器因通過噴嘴夾持器施加的反作用力而移動(dòng)，因此作為加壓 機(jī)構(gòu)，所述加壓機(jī)構(gòu)根據(jù)從其獲得的加壓值施加壓力以增加或降低噴嘴。本發(fā)明能夠有效控制從噴嘴涂敷到襯底的涂層表面、涂層厚度，以及 在保持高水平的生產(chǎn)率的同時(shí)控制涂層的質(zhì)量。


圖1是將涂層涂敷到襯底的方法的優(yōu)選實(shí)施例的示圖； 圖2是說明圖1中示出的涂層方法的操作程序的示意圖;圖3是圖1中示出的涂層方法所使用的涂層裝置的示圖；以及圖4是圖1中示出的涂層方法所使用的涂層裝置中的噴嘴調(diào)節(jié)狀況的示圖。符號(hào)說明 1S、 1P:襯底 2:工作臺(tái)3a—3c:噴嘴定位器4:噴嘴5:噴嘴夾持器6a—6c:距離傳感器 L.-液體介質(zhì) LS:涂層表面具體實(shí)施方式
以下參照附圖提供本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明。本發(fā)明是將涂層涂敷到襯底的方法，其中，如圖1所示，通過噴嘴定位器3a—3c支撐噴嘴4 的噴嘴夾持器5相對(duì)于工作臺(tái)2沿前后方向移動(dòng)，以便將液體介質(zhì)L涂敷到 位于工作臺(tái)2上的襯底1S (用于測(cè)試性涂層的樣本)和1P (產(chǎn)品)。在該方 法中，在處理之前安裝的距離傳感器6a—6c用于測(cè)量在襯底lS上的涂層的 表面LS和噴嘴4之間的距離。為開始處理，測(cè)試襯底1S安置在工作臺(tái)2上，并且在噴嘴夾持器5在工作臺(tái)2上相對(duì)于工作臺(tái)2沿向前的方向移動(dòng)的時(shí) 候，通過噴嘴4試驗(yàn)性涂敷測(cè)試襯底1S。然后，在噴嘴夾持器5相對(duì)于工作 臺(tái)2沿向后的方向移動(dòng)時(shí)，距離傳感器6a—6c執(zhí)行測(cè)量操作。然后，為獲 得預(yù)期的涂層表面LS，噴嘴定位器3a—3c根據(jù)距離傳感器6a—6c進(jìn)行的測(cè) 量操作的結(jié)果調(diào)節(jié)噴嘴4的位置。然后，將涂層涂敷到產(chǎn)品襯底1P上。圖l(a)部分地提供了本實(shí)施例中的涂層處理的前視圖，和圖l (b)提供了 其中的涂層處理的側(cè)視圖。以下說明本發(fā)明的裝置，本發(fā)明通過該裝置進(jìn)行操作。如圖1至4所示， 該裝置主要包括工作臺(tái)2，測(cè)試襯底1S和產(chǎn)品襯底1P放置在工作臺(tái)2上；噴 嘴夾持器5，該噴嘴夾持器5在工作臺(tái)2上的襯底1S和1P上移動(dòng)；安裝在噴 嘴夾持器5上的噴嘴定位器3a—3c;以及由噴嘴夾持器5通過噴嘴定位器3a 一3c支撐并通過將液體介質(zhì)L噴射在襯底lS和lP上執(zhí)行實(shí)際涂層處理的噴 嘴4。圖3 (a)是該裝置的前視圖，圖3 (b)是噴嘴4的橫截面，以及圖3(c)是該裝置的后視圖。工作臺(tái)2的上表面被形成為均勻且高精度的平面。測(cè)試襯底1S或產(chǎn)品 襯底1P放置在工作臺(tái)2的上表面上。噴嘴夾持器5具有門狀結(jié)構(gòu)，包括通過 水平橋構(gòu)件5b連接的左右腿構(gòu)件5a。橋構(gòu)件5b在襯底lS和lP上移動(dòng)。垂直 壁5c也是噴嘴夾持器5的一部分，垂直壁5c通過連接到左右腿構(gòu)件5a和橋 構(gòu)件5b而被連接于噴嘴夾持器5。 一對(duì)左右線性電動(dòng)機(jī)7安裝在腿構(gòu)件5a 和工作臺(tái)2的上表面之間，作為使噴嘴夾持器5在工作臺(tái)2的上表面上在相 對(duì)的前后方向上移動(dòng)的裝置。該結(jié)構(gòu)能夠以往復(fù)運(yùn)動(dòng)方式運(yùn)載噴嘴夾持器 5。噴嘴夾持器5從備用位置"X"沿相對(duì)的向前方向在襯底1S或1P上移動(dòng)， 直到向前移動(dòng)停止的返回位置"Y"。然后，在相反方向，或相對(duì)向后的方 向上，再次開始移動(dòng)，在該過程中，噴嘴夾持器5移動(dòng)返回到向后移動(dòng)終 止的備用位置"X"。該操作也可以通過相對(duì)于噴嘴夾持器5移動(dòng)的工作臺(tái)2 來進(jìn)行。盡管在圖中沒有示出，滾珠絲杠型的頂起機(jī)構(gòu)可以安裝在腿構(gòu)件 5a中，以便通過調(diào)節(jié)這些腿構(gòu)件5a的高度來調(diào)節(jié)橋構(gòu)件5b的高度。噴嘴4在水平橋構(gòu)件5b之下并沿水平橋構(gòu)件5的縱向延伸。噴口 4a沿噴 嘴4的下邊緣連續(xù)形成。噴嘴4連接到從噴嘴定位器3a—3c向下延伸的多個(gè) 桿8，噴嘴定位器3a—3c沿水平橋構(gòu)件5的上部以適當(dāng)間距安裝。支撐軸9連接至噴嘴夾持器5的垂直壁5c，并且在噴嘴定位器3a—3c之間的點(diǎn)處向 噴嘴4水平延伸。噴嘴4連接到作為支軸的支撐軸9。附圖中示出的實(shí)施例 示出三個(gè)噴嘴定位器3a—3c以均勻的間距分隔的結(jié)構(gòu)。噴嘴夾持器5通過 噴嘴定位器3a—3c支撐噴嘴4。兩個(gè)支撐軸9設(shè)置在兩個(gè)位置噴嘴定位器 3a和3b之間的中間位置和噴嘴定位器3b和3c之間的中間位置。作為可選結(jié) 構(gòu)，單個(gè)噴嘴定位器可以安裝在水平橋構(gòu)件5b的中部。在該情況下，支撐 軸9可以定位到單個(gè)噴嘴定位器的每一側(cè)并且到單個(gè)噴嘴定位器等距。噴嘴定位器3a — 3c中的每一個(gè)都包括固定地連接至水平橋構(gòu)件5b 的殼體10;桿8，桿8穿過殼體10在水平橋構(gòu)件5b內(nèi)沿垂直方向自由滑動(dòng)并 與噴嘴4連接；以及殼10中的驅(qū)動(dòng)裝置(在圖中未顯示)，該驅(qū)動(dòng)裝置為桿 8的滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)提供動(dòng)力。驅(qū)動(dòng)裝置可以是通過氣動(dòng)、水力或電能驅(qū)動(dòng)的傳 統(tǒng)的已知類型的驅(qū)動(dòng)裝置。噴嘴定位器3a—3c用作加壓構(gòu)件，通過經(jīng)由殼 體10相對(duì)水平橋構(gòu)件5b施加的反作用力，使噴嘴4升高或降低。由于通過 每一個(gè)桿8施加于噴嘴4的向上或向下的作用力，與支撐軸9連接的噴嘴4 以變化的輪廓可調(diào)節(jié)地彎曲。為進(jìn)一步說明，如圖4所示，三個(gè)噴嘴定位 器3a—3c以均勻的間距分隔開，中心第一噴嘴定位器3a沿向下方向的運(yùn)動(dòng) 與右側(cè)第二噴嘴定位器3b和左側(cè)第三噴嘴定位器3c沿向上方向的運(yùn)動(dòng)同 時(shí)進(jìn)行，從而導(dǎo)致噴嘴4的中心部分向下彎曲，同時(shí)相鄰部分向上彎曲， 以使噴嘴4形成弓形。該噴嘴4的調(diào)節(jié)具有調(diào)節(jié)沿其縱向方向從噴口4a排出 的液體介質(zhì)L的體積的效果。當(dāng)執(zhí)行涂層操作時(shí)，如果噴口4a和襯底lS、 1P之間的距離減小，則增 加對(duì)噴嘴4內(nèi)的加壓的液體介質(zhì)L的排放阻力。從而，在襯底上形成液體介 質(zhì)L的較薄的層。反之，隨著噴口4a從襯底lS或lP移開，噴口4a和襯底之 間的距離增加，因此降低對(duì)噴嘴4內(nèi)的加壓的液體介質(zhì)L的阻力，由此允許 液體介質(zhì)L受到較小限制地釋放，并形成較厚的涂層。因此，液體介質(zhì)L 從噴嘴4的端部排出比從中心部分排出更容易，且從而液體介質(zhì)L的較厚層 形成在這些端部。如果表示噴口4a和襯底lS和lP的表面之間的距離與形成 的液體介質(zhì)層的厚度之間的關(guān)系的數(shù)據(jù)預(yù)先輸入到控制器12中，如從物理測(cè)量得出的數(shù)據(jù)一樣，這些數(shù)據(jù)可被用作進(jìn)行噴嘴調(diào)節(jié)操作的基礎(chǔ)。第一、第二和第三間隙傳感器lla—llc沿噴嘴4的縱向方向以適當(dāng)?shù)拈g距安裝在噴嘴夾持器5的備用位置X處。間隙傳感器lla—llc檢測(cè)工作臺(tái) 2的上表面和形成有噴口4a的噴嘴4的下邊緣之間的距離。圖中示出第一、 第二和第三間隙傳感器lla—llc安裝在與第一、第二和第三噴嘴定位器3a 一3c的位置相對(duì)應(yīng)的位置的結(jié)構(gòu)。間隙傳感器lla—llc可以是已知的 "Magnescale"牌的間隙傳感器。每一個(gè)間隙傳感器lla—llc都連接到 控制器12，由此使得通過每一個(gè)傳感器檢測(cè)到的間隙的大小可以輸入控制 器12。因此，控制器12能夠控制先前提到的頂起機(jī)構(gòu)的升高和降低，升高 和降低的程度基于通過第一、第二和第三間隙傳感器lla—llc輸入的間隙 數(shù)據(jù)。控制器12還可以操作第一、第二和第三噴嘴定位器3a—3c。距離傳感器6a—6c安裝至與噴嘴4相對(duì)的噴嘴夾持器5的垂直壁5c處。 距離傳感器6a—6c沿垂直壁5c的縱向方向以適當(dāng)?shù)拈g距設(shè)置。在圖中示出 的示例性結(jié)構(gòu)中，第一、第二和第三距離傳感器6a—6c安裝在與第一、第 二和第三噴嘴定位器3a—3c的位置相對(duì)應(yīng)的三個(gè)位置上。距離傳感器6a 一6c可以是測(cè)量反射的激光束返回所需要的時(shí)間的激光傳感器類型。距離 傳感器6a—6c連接到控制器12，從而允許通過距離傳感器獲得的測(cè)量值輸 入控制器12。當(dāng)將涂層涂敷到測(cè)試襯底1S后，當(dāng)噴嘴4在返回的方向上移 動(dòng)的同時(shí)，距離傳感器6a—6c測(cè)量涂層表面LS和噴嘴4之間的距離，并輸 出測(cè)量得到的值。第一、第二和第三距離傳感器6a—6c在與第一、第二和 第三噴嘴定位器3a—3c相對(duì)應(yīng)的各個(gè)位置處測(cè)量距離。在通過距離傳感器 6a—6c進(jìn)行的測(cè)量操作中，考慮噴嘴4的向后移動(dòng)的速度，并且在噴嘴4 向后移動(dòng)的同時(shí)，總是通過距離傳感器6a—6c或控制器12修正數(shù)據(jù)?？蛇x 地，可以在噴嘴4已經(jīng)停止的適當(dāng)時(shí)間間隔時(shí)執(zhí)行數(shù)據(jù)修正操作。g卩，距 離測(cè)量操作可以在噴嘴4的反向移動(dòng)牽引的過程中連續(xù)執(zhí)行，或可以通過 在不同點(diǎn)處進(jìn)行的取樣操作來測(cè)量?；旧?，從第一距離傳感器6a獲得的 測(cè)量值被應(yīng)用到通過第一噴嘴定位器3a進(jìn)行的噴嘴4的調(diào)節(jié)中，并且通過 第二和第三距離傳感器6b和6c獲得的測(cè)量值分別被應(yīng)用到通過第二和第 三噴嘴定位器3b和3c進(jìn)行的噴嘴4的調(diào)節(jié)中。如果需要，控制器12可以對(duì) 從第一、第二和第三距離傳感器6a—6c獲得的測(cè)量值進(jìn)行補(bǔ)充處理，以便 第一、第二和第三噴嘴定位器3a—3c提供噴嘴4的形狀的最佳改變。在任 一情況下，通過距離傳感器6a—6c中的每一個(gè)獲得的測(cè)量值都輸入到控制8器12。與第一、第二和第三噴嘴定位器3a—3c連接的控制器12處理從第一、 第二和第三距離傳感器6a—6c輸入的測(cè)量值，然后將作為控制值的噴嘴調(diào) 節(jié)值輸出到與各個(gè)距離傳感器6a—6c相對(duì)應(yīng)的每一個(gè)噴嘴定位器3a—3c， 控制值表示噴嘴定位器3a—3c要被調(diào)節(jié)的范圍。表示噴嘴定位器3a—3c 的驅(qū)動(dòng)量的控制值作為驅(qū)動(dòng)裝置使用的應(yīng)用值輸出，以使桿8升高或降低。 根據(jù)從控制器12輸入的控制值的結(jié)果，執(zhí)行第一、第二和第三噴嘴定位器 3a—3c的位置調(diào)節(jié)。驅(qū)動(dòng)裝置壓桿8并使桿8可移動(dòng)地滑動(dòng)，由此可根據(jù)每 一個(gè)距離傳感器6a—6c執(zhí)行的測(cè)量結(jié)果，更具體而言，根據(jù)控制器12執(zhí)行 的計(jì)算結(jié)果，調(diào)節(jié)噴嘴4的位置。以下將說明本發(fā)明的方法，通過該方法，本發(fā)明將涂層涂敷到襯底上。 在處理開始之前，距離傳感器6a—6c連接至噴嘴夾持器5的垂直壁5c。首 先，第一測(cè)試襯底1S放置在工作臺(tái)2上并且通過真空或其他裝置固定于工 作臺(tái)2，然后噴嘴夾持器5在工作臺(tái)之上并相對(duì)于工作臺(tái)2沿向前的方向移 動(dòng)，同時(shí)噴嘴4涂敷第一測(cè)試涂層。然后當(dāng)?shù)谝?、第二和第三距離傳感器 6a—6c執(zhí)行測(cè)量操作的時(shí)候，噴嘴夾持器5在工作臺(tái)2上向后移動(dòng)。例如， 如圖2處理示意圖中的"數(shù)據(jù)l"所示，當(dāng)變量值A(chǔ)tB在第一測(cè)試襯底lS的 左右邊緣之間被檢測(cè)時(shí)，應(yīng)用通過第一、第二和第三間隙傳感器lla—llc 監(jiān)控的間隙尺寸，并且控制器12相應(yīng)地操作頂起機(jī)構(gòu)，以便調(diào)節(jié)左右腿構(gòu) 件5a的高度。這具有作為高度修正調(diào)節(jié)水平橋構(gòu)件5b的效果。由于該修正， 使得AtB值被設(shè)定為近似O。如果需要，也可以啟動(dòng)第一、第二和第三噴 嘴定位器3a—3c以便執(zhí)行精細(xì)調(diào)節(jié)。然后，第二測(cè)試襯底1S放置在工作臺(tái) 2上，并且噴嘴夾持器5沿向前的方向在工作臺(tái)2上移動(dòng)，同時(shí)在噴嘴4涂敷 第二次測(cè)試涂層。然后在第一、第二和第三距離傳感器6a—6c執(zhí)行它們的 測(cè)量操作的同時(shí)，噴嘴夾持器5在工作臺(tái)2上向后移動(dòng)。例如，如圖2中示 出的"數(shù)據(jù)2"，在第二測(cè)試襯底上的涂層表面LS的中心部分被測(cè)量出比左 右部分高AtC的范圍的情況下，應(yīng)用通過第一、第二和第三距離傳感器6a 一6c獲得的測(cè)量值，并且控制器12以修正噴嘴4的輪廓的方式操作第一、 第二和第三噴嘴定位器3a—3c。換言之，噴嘴4在涂層較薄的部分被向上 拉并在較厚的部分被向下推。這使得AtC值被設(shè)定為近似于O。由于AtC設(shè) 定為近似于0，所以可以在隨后的涂層操作中被處理的產(chǎn)品襯底1P上形成非常平坦和高度均勻的涂層表面LS。如圖2所示，可以重復(fù)多次測(cè)試涂層 以提供高度和彎曲修正。此外，盡管該實(shí)施例示出通過應(yīng)用本發(fā)明以獲得 高度均勻的涂層表面LS的方法，只應(yīng)用曲線修正或?qū)⑶€修正與高度修正 結(jié)合在一起，能夠沿噴嘴4的縱向方向?qū)⑼繉颖砻鍸S的橫截面形成為傾斜 或隨意形成的形狀。此外，盡管第一和第二次測(cè)試涂層操作以先前提到的程序執(zhí)行，也可 以使控制器12只利用一次測(cè)試涂層進(jìn)行計(jì)算，從而執(zhí)行測(cè)試操作。在該實(shí)施例中，預(yù)先安裝距離傳感器6a—6c，以便測(cè)量襯底1S上的涂 層表面LS和噴嘴4之間的距離。首先，測(cè)試襯底1S放置在工作臺(tái)2上，之后， 噴嘴夾持器5相對(duì)工作臺(tái)2沿向前的方向移動(dòng)，在此期間，測(cè)試涂層被涂到 測(cè)試襯底1S上。然后噴嘴夾持器5相對(duì)于工作臺(tái)2沿反方向移動(dòng)，在此期間， 距離傳感器6a—6c執(zhí)行它們的測(cè)量操作。為獲得預(yù)期的涂層表面LS，接著 噴嘴定位器3a—3c根據(jù)通過距離傳感器6a—6c獲得的測(cè)量結(jié)果調(diào)節(jié)噴嘴4 的位置。然后，涂層隨后涂敷到產(chǎn)品襯底1P。距離傳感器6a—6c可以通過 測(cè)量噴嘴4和形成在測(cè)試襯底1S上的涂層表面LS之間的距離的方式檢測(cè)涂 層狀態(tài)。這些測(cè)量使得噴嘴定位器3a—3c能夠調(diào)節(jié)噴嘴4的輪廓以獲得預(yù) 期的涂層表面LS，從而，通過從噴嘴4涂敷的液體介質(zhì)L有效和適當(dāng)?shù)乜刂?涂層表面LS的形成，有效控制涂層的厚度，如果襯底1S和1P具有精細(xì)的平 面，并保持質(zhì)量控制、高生產(chǎn)量以及涂層表面LS的高生產(chǎn)率涂敷。該涂層控制的類型使其即使在液體介質(zhì)L已經(jīng)涂到襯底1P上之后也可 以自由調(diào)節(jié)涂層表面LS，從而改進(jìn)質(zhì)量控制。此外，雖然噴嘴4和其他元 件可能沒有以高水平的機(jī)械精度制造或組裝，但是本發(fā)明仍然能夠關(guān)于涂 層表面LS保證高精度水平，同時(shí)降低拆卸、修理和維護(hù)需要以及相關(guān)的費(fèi) 用，從而提高了生產(chǎn)效率。此外，即使由于補(bǔ)給而導(dǎo)致液體介質(zhì)L的特性 不同或不同批次的液體介質(zhì)的特性不同，本發(fā)明也能夠通過噴嘴4的位置 調(diào)節(jié)提供簡(jiǎn)單、操作上有效并且便于應(yīng)用的涂層處理。此外，根據(jù)距離傳感器6a—6c測(cè)量噴嘴4和涂層表面LS之間的距離的 操作的結(jié)果，控制器12能夠應(yīng)用為噴嘴定位器3a—3c設(shè)定的噴嘴調(diào)節(jié)值， 并因此自動(dòng)控制和修正涂層表面LS。另外，由于在噴嘴夾持器5前進(jìn)并涂 敷涂層后向后移動(dòng)期間，距離傳感器6a—6c執(zhí)行它們的測(cè)量，所以處理時(shí)于涂層控制方法結(jié)合了由頂起機(jī)構(gòu)所采用的高度修正功能以調(diào)節(jié)左右腿構(gòu)件5a的高度，所以可以將應(yīng)用于噴嘴4的彎曲修正限制 為最小，因此實(shí)現(xiàn)合理和非常適當(dāng)?shù)耐繉涌刂?。此外，通過施加于噴嘴夾持器5的反作用力進(jìn)行操作的噴嘴定位器3a 一3c用作施加壓力以向上拉或向下推噴嘴4的加壓機(jī)構(gòu)。由于噴嘴4的位置 調(diào)節(jié)基于從加壓機(jī)構(gòu)獲得的加壓值，所以本發(fā)明提供微米水平的調(diào)節(jié)系 統(tǒng)，其與基于位移值執(zhí)行的位置性調(diào)節(jié)相比，結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)單并且更便于操作。盡管本發(fā)明作為對(duì)諸如玻璃襯底等面板型結(jié)構(gòu)涂敷涂層的方法被描 述，但是本發(fā)明也可用于為薄膜或其他相似物體涂敷漿狀物、抗蝕劑、濾 色片以及其它物質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種將涂層涂敷到襯底的方法，通過該方法，噴嘴噴射液體介質(zhì)到位于工作臺(tái)上的襯底上，所述噴嘴被連接至噴嘴夾持器的噴嘴定位器支撐，所述噴嘴夾持器能夠相對(duì)于工作臺(tái)在前后方向上移動(dòng)，所述方法的特征在于以下操作程序首先安裝距離傳感器，所述距離傳感器作為測(cè)量形成在所述襯底上的介質(zhì)層表面和所述噴嘴之間的距離的裝置；將測(cè)試襯底放置在所述工作臺(tái)上，并且在所述噴嘴夾持器相對(duì)于所述工作臺(tái)向前移動(dòng)期間通過從所述噴嘴噴出的液體介質(zhì)對(duì)測(cè)試襯底進(jìn)行測(cè)試性涂層；在所述噴嘴夾持器相對(duì)于所述工作臺(tái)向后移動(dòng)期間，通過所述距離傳感器執(zhí)行測(cè)量操作；根據(jù)所述距離傳感器執(zhí)行的所述測(cè)量操作的結(jié)果啟動(dòng)噴嘴定位器，所述噴嘴定位器作為設(shè)定形成預(yù)期涂層的所述噴嘴的位置的裝置；以及將液體介質(zhì)涂敷到襯底上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的將涂層涂敷到襯底的方法，其中，所述噴嘴 定位器是根據(jù)從其獲得的加壓值、通過由所述噴嘴夾持器施加的反作用力 使所述噴嘴升高或降低的加壓機(jī)構(gòu)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種涂敷涂層到襯底上的方法，其中可以有效控制通過噴嘴在襯底上噴射液體介質(zhì)的涂層表面，有效控制通過液體介質(zhì)形成的涂層的厚度的形成，以及可以高生產(chǎn)效率地保持涂層的質(zhì)量控制。本方法發(fā)明具有如下操作序列。首先安裝距離傳感器6a-6c，作為測(cè)量形成在襯底1S、1P上的介質(zhì)層表面LS和噴嘴4之間的距離的裝置。將測(cè)試襯底1S放置在工作臺(tái)2上，并且在噴嘴夾持器5相對(duì)于工作臺(tái)向前移動(dòng)期間通過從噴嘴噴出的液體介質(zhì)對(duì)測(cè)試襯底1S進(jìn)行測(cè)試涂層。在噴嘴夾持器相對(duì)于工作臺(tái)向后移動(dòng)期間通過距離傳感器執(zhí)行測(cè)量操作。噴嘴定位器3a-3c根據(jù)距離傳感器執(zhí)行的測(cè)量操作的結(jié)果啟動(dòng)，作為設(shè)定形成適當(dāng)涂層的噴嘴位置的裝置。液體介質(zhì)L被涂至襯底1P。
文檔編號(hào)B05C11/00GK101229536SQ20071019279
公開日2008年7月30日 申請(qǐng)日期2007年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月26日
發(fā)明者上田修一郎, 神戶壽夫 申請(qǐng)人:中外爐工業(yè)株式會(huì)社