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      用于印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法

      文檔序號(hào):3781635閱讀:242來(lái)源:國(guó)知局
      用于印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法
      【專利摘要】本發(fā)明提供了一種在使用基于硅的橡皮布的印刷方法中使用的用于印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法,所述組合物包括:1)粘合劑樹(shù)脂,2)具有小于100℃的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑,3)具有100℃以上且小于180℃的沸點(diǎn)的中沸點(diǎn)溶劑,和4)具有180℃以上的沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑,其中,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑與粘合劑樹(shù)脂具有3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差以及與基于硅的橡皮布具有4(cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及具有對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      【專利說(shuō)明】用于印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明要求于2011年4月5日向韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2011-0031367號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益,并在此將其全部?jī)?nèi)容通過(guò)引用方式并入本申請(qǐng)。
      [0002]本申請(qǐng)涉及用于印刷的組合物和使用該組合物的印刷方法。具體而言,本申請(qǐng)涉及用于能夠形成精細(xì)圖案的反向膠版印刷的組合物,以及使用該組合物的印刷方法。更具體而言,本申請(qǐng)涉及用于使用基于硅的橡皮布的反向膠版印刷的組合物,特別是涉及一種光致抗蝕劑組合物,還涉及使用該組合物的印刷方法。
      【背景技術(shù)】
      [0003]近來(lái),隨著電子設(shè)備(如觸摸屏、顯示器、半導(dǎo)體等)性能的多樣化和高度發(fā)展,需要使用具有各種功能的材料來(lái)形成圖案,而且對(duì)于進(jìn)一步精細(xì)地形成圖案的線寬和線間距的需求正在增加。
      [0004]例如,已在許多的情況下使用用于在各種電子設(shè)備中形成電極的導(dǎo)電圖案,用于形成濾色片或?qū)щ妶D案的黑矩陣(black matrix)的光致抗蝕劑圖案等,而且,隨著電子設(shè)備的小型化和其性能的高度發(fā)展,需要更加精細(xì)地形成這些圖案。
      [0005]根據(jù)用途,形成圖案的方法是多樣化的,且其代表性的例子包括光刻法、絲網(wǎng)印刷
      法、噴墨法等。
      [0006]光刻法是這樣的一種方法,其可以用光敏材料形成光敏層,并選擇性地使用于圖案化的光敏層曝光和顯影以形成圖案。
      [0007]然而,光刻法導(dǎo)致工藝成本增加,這是由于不包含在最終產(chǎn)品中且經(jīng)顯影并去除的光敏材料的成本、蝕刻劑的成本、以及光敏材料和蝕刻劑的處置成本導(dǎo)致的。此外,還有因所述材料的處置造成的環(huán)境污染的問(wèn)題。此外,該方法具有許多工藝而且復(fù)雜,因此需要許多時(shí)間和成本。
      [0008]絲網(wǎng)印刷法是通過(guò)如下方式進(jìn)行的:使用基于具有由幾百納米至幾十微米的范圍內(nèi)尺寸的導(dǎo)電顆粒的墨水進(jìn)行絲網(wǎng)印刷,然后進(jìn)行燒結(jié)。
      [0009]絲網(wǎng)印刷法和噴墨法在實(shí)現(xiàn)具有幾十微米尺寸的精細(xì)圖案方面有局限。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0010]【技術(shù)問(wèn)題】
      [0011]本發(fā)明致力于提供一種反向膠版印刷組合物,其可以通過(guò)使用基于硅的橡皮布的反向膠版印刷工藝而實(shí)現(xiàn)精細(xì)圖案,并改進(jìn)涂層的均勻性和印刷工藝裕度。本發(fā)明還提供了使用該組合物的印刷方法。
      [0012]【技術(shù)方案】
      [0013]本發(fā)明的一個(gè)不例性實(shí)施方式提供了一種使用基于娃的橡皮布的反向膠版印刷組合物,包括:1)粘合劑樹(shù)脂,2)具有小于100°C的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑,3)具有100°C以上且小于180°C的沸點(diǎn)的中沸點(diǎn)溶劑,和4)具有180°C以上的沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑,其中,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有對(duì)于粘合劑樹(shù)脂的3 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差以及對(duì)于基于硅的橡皮布的4(cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      [0014]本發(fā)明的另一個(gè)示例性實(shí)施方式提供了一種使用反向膠版印刷組合物(其使用基于硅的橡皮布)的印刷方法。具體而言,所述印刷方法包括在基于硅的橡皮布上施加印刷組合物;使鉛板與在基于硅的橡皮布上施加的印刷組合物涂層接觸以除去部分的涂層;以及將保留在基于硅的橡皮布上的印刷組合物涂層轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上。
      [0015]【有益效果】
      [0016]根據(jù)本發(fā)明的印刷組合物是這樣一種物質(zhì),其被優(yōu)化以特別適用于使用基于硅的橡皮布的反向膠版印刷方法,而且即使在印刷數(shù)重復(fù)時(shí),仍可能使橡皮布的溶脹現(xiàn)象最小化,提高印刷工藝性,并通過(guò)控制在印刷組合物中的溶劑精確地實(shí)現(xiàn)具有精細(xì)線寬和線間隔的圖案從而具有與在印刷工藝期間使用的粘合劑樹(shù)脂和基于硅的橡皮布相關(guān)的預(yù)定的物理性能。此外,有可能提高通過(guò)印刷得到的涂層的均勻性以及印刷工藝裕度。
      【專利附圖】

      【附圖說(shuō)明】
      [0017]圖1說(shuō)明了反向膠版印刷方法的工藝模擬圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0018]以下將更加詳細(xì)地描述本發(fā)明。
      [0019]根據(jù)本發(fā)明的印刷組合物是這樣一種物質(zhì),其應(yīng)用于使用基于硅的橡皮布的反向膠版印刷,所述印刷組合物包括:1)粘合劑樹(shù)脂,2)具有小于100°C的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑,
      3)具有100°C以上且小于180°C的沸點(diǎn)的中沸點(diǎn)溶劑,和4)具有180°C以上的沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑,其中,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有對(duì)于粘合劑樹(shù)脂的3 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差以及對(duì)于基于硅的橡皮布的4(cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      [0020]發(fā)明人已發(fā)現(xiàn),通過(guò)考慮在用于印刷的組合物中包含的粘合劑樹(shù)脂和在印刷工藝中使用的橡皮布材料的特性以選擇用于印刷的組合物的溶劑,在使用由基于硅的材料形成的橡皮布的反向膠版印刷方法中使用的用于印刷的組合物能夠提高印刷工藝性,并實(shí)現(xiàn)精細(xì)圖案,并基于此在使用基于硅的橡皮布時(shí)得到溶劑的最優(yōu)化物理值。
      [0021]具體而言,在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,在用于印刷的組合物中一起使用具有100°C以下的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑、具有100 V以上且小于180V的沸點(diǎn)的中沸點(diǎn)溶劑和具有180 V以上沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑作為溶劑。此外,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有與粘合劑樹(shù)脂的3 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差,與基于硅的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      [0022]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,一起使用低沸點(diǎn)溶劑、中沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑,且低沸點(diǎn)溶劑使得用于印刷的組合物在該組合物涂布在橡皮布上以前能夠保持用于印刷的組合物的低粘度,以及對(duì)于橡皮布的 優(yōu)異的可涂布性,并可通過(guò)揮發(fā)除去來(lái)增加用于印刷的組合物的粘度并在橡皮布上良好地形成并保持圖案。同時(shí),高沸點(diǎn)溶劑是顯示出相對(duì)低的揮發(fā)性的溶劑,且在圖案被轉(zhuǎn)移到待印刷目標(biāo)上以前其可以賦予用于印刷的組合物粘性。中沸點(diǎn)溶劑可以在即使低沸點(diǎn)溶劑被揮發(fā)掉時(shí)仍保留在印刷組合物中起作用。在本發(fā)明中,印刷組合物的粘度可以通過(guò)使用具有不同沸點(diǎn)三種以上類型的溶劑如上所述被更精確地控制。
      [0023]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,所述低沸點(diǎn)溶劑具有優(yōu)選100°C以下,更優(yōu)選95°C以下且更優(yōu)選90°C以下的沸點(diǎn)。通過(guò)包含具有在數(shù)值范圍內(nèi)的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑,可以在橡皮布上涂布用于印刷的組合物,然后鉛板可以與在去除部分涂布膜以前涂布在橡皮布上的用于印刷的組合物的涂布膜接觸,以減少工藝等待時(shí)間并減少橡皮布的溶脹。
      [0024]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,所述低沸點(diǎn)溶劑具有優(yōu)選50°C以上的沸點(diǎn)。在低沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)太低時(shí),可能發(fā)生在涂布用于印刷的組合物時(shí),所述用于印刷的組合物在噴嘴中干燥的問(wèn)題。此外,為了在涂布用于印刷的組合物以后立即得到優(yōu)異的流平性,所述低沸點(diǎn)溶劑優(yōu)選具有50°C以上的沸點(diǎn)。
      [0025]所述中沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)優(yōu)選為100°C以上且小于180°C,且更優(yōu)選為130至170°C。在上述范圍內(nèi)的中沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)對(duì)于增加印刷工藝裕度是有用的。具體而言,由于中沸點(diǎn)溶劑在低沸點(diǎn)溶劑的揮發(fā)時(shí)間和高沸點(diǎn)溶劑的揮發(fā)時(shí)間之間揮發(fā),可以通過(guò)減少印刷組合物的粘度的增加速率保持印刷組合物的粘性以提高印刷工藝裕度。作為參考,印刷等待時(shí)間是指在橡皮布上涂覆印刷組合物的時(shí)間至通過(guò)鉛板除去在橡皮布上的部分涂層的第一次轉(zhuǎn)移工藝(off process)之前的時(shí)間,且印刷工藝裕度是指通過(guò)從為了在整個(gè)區(qū)域有利地形成所需的圖案所需的最大印刷等待時(shí)間減去最小印刷等待時(shí)間所得到的值。此外,通過(guò)保持中沸點(diǎn)溶劑的粘度,即使低沸點(diǎn)溶劑被揮發(fā)掉,仍可改進(jìn)印刷組合物的涂布的均勻性。
      [0026]在中沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)與低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑中的每一個(gè)的沸點(diǎn)之間的差優(yōu)選為5°C以上且更優(yōu)選為10°C以上 。如果溶劑的沸點(diǎn)之間的差太低,對(duì)低沸點(diǎn)溶劑或高沸點(diǎn)溶劑的揮發(fā)時(shí)間相似,因此,難以完成根據(jù)中沸點(diǎn)溶劑的自身作用的效果。
      [0027]此外,所述高沸點(diǎn)溶劑優(yōu)選具有180°C以上的沸點(diǎn)。通過(guò)包含具有所述數(shù)值范圍內(nèi)的沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑,在圖案轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)上以前可以賦予用于印刷的組合物粘性,可以減少工藝等待時(shí)間,并可以減少橡皮布的溶脹。
      [0028]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式,所述高沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)可以是300°C以下,且優(yōu)選250°C以下。如果所述高沸點(diǎn)溶劑具有250°C以下的沸點(diǎn),可以防止在最終的印刷材料中表現(xiàn)出的溶劑殘留從而延長(zhǎng)用于干燥或固化時(shí)間的問(wèn)題,且還可以提高印刷圖案的精度。
      [0029]在本發(fā)明中,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有與粘合劑樹(shù)脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差,以及與基于硅的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      [0030]在此,所述溶解度參數(shù)是溶解度的量度,而且是指希爾德布蘭德(Hildebrand)溶解度參數(shù)。
      [0031]所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑優(yōu)選具有與粘合劑樹(shù)脂的3 (cal.cm)1/2以下且更優(yōu)選2 (cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差。當(dāng)高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差在所述數(shù)值范圍內(nèi)時(shí),高沸點(diǎn)溶劑對(duì)粘合劑樹(shù)脂的溶解度高,且溶劑與粘合劑樹(shù)脂的相容性高。因此,可以賦予在橡皮布上涂布的涂布膜以粘性。
      [0032]由于涂布膜的粘性性能,所述涂布膜不能輕易地從橡皮布分離,而且在通過(guò)鉛板分離和除去部分涂布膜時(shí),可實(shí)現(xiàn)精確的圖案,而在涂布膜應(yīng)被分離的區(qū)域和在涂布膜不應(yīng)被分離的區(qū)域之間的邊界處沒(méi)有任何任何圖案拉毛。
      [0033]此外,當(dāng)粘合劑樹(shù)脂的溶解度參數(shù)差在所述范圍內(nèi)時(shí),可以防止粘合劑通過(guò)發(fā)生相分離可能在溶劑中不溶的問(wèn)題,且由此可以提供均勻的用于印刷的組合物。出于此原因,在高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差越小越好。
      [0034]此外,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有與基于硅的橡皮布的優(yōu)選4(cal.cm)1/2以上且更優(yōu)選4.5 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差。
      [0035]在基于硅的橡皮布的溶解度參數(shù)差在上述數(shù)值范圍內(nèi)時(shí),高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶解度低,且因此即使在印刷數(shù)重復(fù)時(shí),仍可以最小化橡皮布的溶脹,并可控制橡皮布形狀的變形。因此,即使在印刷數(shù)重復(fù)時(shí),仍可以恒定地保持印刷工藝時(shí)間,并精確地保持形成的圖案。此外,當(dāng)所述差值在所述范圍內(nèi)時(shí),其優(yōu)勢(shì)在于,在用鉛板粘取在基于硅的橡皮布上涂布的用于印刷的組合物的部分涂布膜的第一次轉(zhuǎn)移工藝(off process)中可順利地進(jìn)行從橡皮布到鉛板的圖案轉(zhuǎn)移。出于此原因,在高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差越大越好。
      [0036]此外,低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑優(yōu)選對(duì)于基于硅的橡皮布具有2以下的溶脹參數(shù)。在此,溶脹參數(shù)是通過(guò)測(cè)量硅橡皮布對(duì)于溶劑的溶脹度而得到的數(shù)值,且其通過(guò)使具有20微米線寬和300微米線間距的圖案的壓印網(wǎng)的基于硅的橡皮布浸泡在溶劑中12小時(shí),然后測(cè)量線間距的變化而得到。溶脹參數(shù)可以由以下公式I表示。
      [0037][公式I]
      [0038]溶脹參數(shù)={(浸泡后的線間距-浸泡前的線間距)/(浸泡前的線間距)}X100
      [0039]當(dāng)對(duì)于基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)在上述數(shù)值范圍內(nèi)時(shí),基于硅的橡皮布對(duì)于高沸點(diǎn)溶劑的溶脹度低,且因此即使在印刷數(shù)重復(fù)時(shí),仍可以最小化橡皮布的溶脹,并可控制橡皮布形狀的變形。因此,即使在印刷數(shù)重復(fù)時(shí),仍可以恒定地保持印刷工藝時(shí)間,并優(yōu)異地保持形成的圖案的精度。出于此原因,高沸點(diǎn)溶劑對(duì)于基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)越小越好。
      [0040]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,關(guān)于低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑對(duì)于橡皮布的溶解度參數(shù)差的數(shù)值范圍,以及低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑對(duì)于橡皮布的溶脹參數(shù)的數(shù)值范圍,與橡皮布的材料具有緊密關(guān)系。因此,在橡皮布為基于硅的材料時(shí),可適當(dāng)?shù)貞?yīng)用數(shù)值范圍。
      [0041]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,可以通過(guò)選擇和使用如上述的與粘合劑樹(shù)脂和基于硅的橡皮布具有特定物理性能的溶劑而控制用于印刷的組合物的粘性性能和內(nèi)聚能。由此,可以薄且均勻地形成所述印刷涂布層,且如上所述,可通過(guò)防止橡皮布的變形而精確地形成精細(xì)圖案,并提高印刷工藝性。
      [0042]在本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式中,可通過(guò)上述配置形成具有小線寬的印刷圖案,從而具有均勻的線寬。在本發(fā)明中,印刷圖案的線寬的差可以達(dá)到,例如10%以下且更優(yōu)選5%以下。通常地,為了形成具有精細(xì)尺寸的圖案,優(yōu)選印刷圖案的線寬為小。然而,當(dāng)印刷圖案的線寬為小時(shí),其問(wèn)題在于可能降低線寬的均勻性。然而,在本發(fā)明中,即使在印刷圖案具有500nm以下且優(yōu)選300nm以下的線寬時(shí),仍可達(dá)到上述的線寬均勻性。在此,印刷圖案的線寬是基于干燥狀態(tài)。[0043]在本發(fā)明的一個(gè)示例性實(shí)施方式中,可通過(guò)上述配置形成印刷圖案,從而具有小的線寬變化率。在本發(fā)明中,印刷圖案的線寬變化率可以達(dá)到,例如20%以下,優(yōu)選10%以下且更優(yōu)選5%以下。當(dāng)所述線寬變化率為20%以下時(shí),圖案可評(píng)估為正常。所述線寬變化率越小,圖案的精度越高。所述線寬變化率越小,可正常實(shí)施圖案交叉部分且不會(huì)產(chǎn)生發(fā)環(huán)(hair ring)的可能性越高。所述的發(fā)環(huán)(hair ring)是指在第一次轉(zhuǎn)移工藝期間圖案垂下(hanging down)的現(xiàn)象。在此,印刷圖案的線寬是基于干燥狀態(tài)。
      [0044]線寬變化率(%)可以由以下公式2表示。在公式2中,印刷圖案的線寬和鉛板圖案的線寬是指彼此對(duì)應(yīng)的部分的線寬。
      [0045][公式2]
      [0046]線寬變化率(%) = {(印刷圖案的線寬尺寸-鉛板圖案的線寬尺寸)/(鉛板圖案的線寬尺寸)} XlOO
      [0047]優(yōu)選中沸點(diǎn)溶劑具有與粘合劑樹(shù)脂的3 (cal.cm)1/2以下,以及與基于硅的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      [0048]在使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的用于印刷的組合物時(shí),可以形成具有30微米以下,優(yōu)選20微米以下且更優(yōu)選15微米以下的線寬或線間距的精細(xì)圖案,也可形成具有7微米以下且更優(yōu)選5微米以下的線寬的精細(xì)圖案?;诟稍餇顟B(tài),所述圖案具有500nm以下且更優(yōu)選300nm以下的線寬。
      [0049]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,所述基于硅的橡皮布是指橡皮布的外側(cè)邊緣部分是由基于硅的材料形成的。所述基于硅的材料并無(wú)特別限制,只要該材料是包括可固化基團(tuán)同時(shí)包括硅的材料,但硬度優(yōu)選為20至70且更優(yōu)選為30至60。所述硬度是指肖氏A型硬度(Shore A hardness)。通過(guò)使用在所述硬度范圍內(nèi)的基于娃的材料,橡皮布的變形可以在合適的范圍內(nèi)發(fā)生。在所述橡皮布材料的硬度太低時(shí),部分橡皮布可能由于橡皮布的變形而在通過(guò)鉛板從橡皮布除去·部分用于印刷的組合物的涂布膜的第一次轉(zhuǎn)移工藝期間接觸鉛板的鐫刻部分,且由此可能劣化圖案精度。此外,考慮到選擇橡皮布材料的容易性,可選擇具有70以下硬度的材料。
      [0050]例如,可以使用基于聚二甲基硅氧烷(PDMS )的可固化材料作為基于硅的橡皮布材料。可以在橡皮布材料中以不損害本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)進(jìn)一步包括本領(lǐng)域中已知的添加劑。
      [0051]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,可以依據(jù)最終用途的目的而選擇合適的材料作為粘合劑樹(shù)脂。根據(jù)本發(fā)明的用于印刷的組合物優(yōu)選為用于形成光致抗蝕劑圖案的組合物。在此情況下,優(yōu)選使用線型酚醛樹(shù)脂(Novolac resin)作為粘合劑樹(shù)脂。優(yōu)選線型酚醛樹(shù)脂是因?yàn)樵摌?shù)脂在形成光致抗蝕劑圖案方面,以及與滿足上述根據(jù)本發(fā)明的條件的溶劑具有優(yōu)異的相容性方面是有利的。此外,線型酚醛樹(shù)脂對(duì)蝕刻劑具有優(yōu)異的耐化學(xué)性,因此其有可能進(jìn)行穩(wěn)定的蝕刻工藝。該樹(shù)脂對(duì)剝離溶液(stripping solution)具有高溶解度,且因此其優(yōu)點(diǎn)在于剝離后較少地產(chǎn)生異物以及減少剝離時(shí)間。所述線型酚醛樹(shù)脂具有優(yōu)選2,000至8,000的重均分子量。在所述重均分子量小于2000時(shí),可能不能確保對(duì)于蝕刻劑的充足的化學(xué)耐性,從而在蝕刻工藝期間在光致抗蝕劑涂布膜上引起裂紋或剝離。當(dāng)所述重均分子量大于8000時(shí),對(duì)剝離溶液的溶解度可能依據(jù)固化條件而降低。
      [0052]所述線型酚醛樹(shù)脂可以通過(guò)基于酚的化合物和基于醛的化合物的縮合反應(yīng)而制備??梢允褂帽绢I(lǐng)域已知的那些作為基于酚的化合物,例如,選自間甲酚、鄰甲酚、對(duì)甲酚,2,5- 二甲苯酚、3,4- 二甲苯酚、3,5- 二甲苯酚和2,3,5-三甲基苯酚中的至少一個(gè)??梢允褂帽绢I(lǐng)域已知的那些作為基于醛的化合物,例如,選自甲醛、多聚甲醛、乙醛、安息香醛(benzaldehyde)、苯甲醒(phenylaldehyde)和水楊醒中的至少一個(gè)。所述線型酹醒樹(shù)脂可進(jìn)一步包括在不損害本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)的任何單體。
      [0053]在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,所述高沸點(diǎn)溶劑并無(wú)特別限制,只要該溶劑滿足上述要求,但其可以為基于芳香醇的溶劑。具體而言,可以使用選自間苯二酚、間甲酚、鄰甲酚、對(duì)甲酚、苯甲醇,苯酚,4-甲氧基苯甲醇,二甲亞砜,丙二醇苯基酯、乙二醇、乙二醇苯基酯和辛醇中的至少一種作為所述高沸點(diǎn)溶劑。這些溶劑可單獨(dú)使用或以兩種以上的其混合物來(lái)使用。
      [0054]所述中沸點(diǎn)溶劑沒(méi)有特別限制,只要該溶劑滿足上述要求,且可以使用選自乳酸乙酯、PGMEA、甲基-3-甲氧基丙酸酯、甲基戊基酮、乙基-3-乙氧基丙酸酯和乙酸丁酯中的至少一種。這些溶劑可單獨(dú)使用或以兩種以上的其混合物來(lái)使用。然而,本發(fā)明的范圍并不限于此。
      [0055]所述低沸點(diǎn)溶劑沒(méi)有特別的限制,只要所述溶劑滿足上述的要求,且可以使用醇、酮、乙酸酯等。具體而言,可以使用選自碳酸二甲酯、甲醇、甲基乙基酮、異丙醇、乙酸乙酯、乙醇、丙醇和烯丙醇中的至少一種。這些溶劑可單獨(dú)使用或以其兩種以上的組合來(lái)使用。然而,本發(fā)明的范圍并不僅限于這些例子。
      [0056]優(yōu)選根據(jù)本發(fā)明的印刷組合物包括5至30wt%的粘合劑樹(shù)脂、50至85wt%的低沸點(diǎn)溶劑、0.5至15wt%的中沸點(diǎn)溶劑和I至25wt%的高沸點(diǎn)溶劑。
      [0057]根據(jù)本發(fā)明的示例性 實(shí)施方式的組合物可額外包括表面活性劑。所述表面活性劑可以使用典型的流平劑,例如,基于硅的、基于氟的或基于聚醚的表面活性劑。
      [0058]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的組合物可額外包括增粘劑??梢允褂没谌矍璋返?、基于苯乙烯的或丙烯酸系低聚物或聚合物作為增粘劑。所述低聚物或聚合物具有優(yōu)選5000以下,更優(yōu)選3000以下且更優(yōu)選1000以下的重均分子量。
      [0059]所述表面活性劑和增粘劑的含量可以依照添加的材料和用于印刷的組合物的組分而選擇。例如,基于用于印刷的組合物的總量,可以以2wt%以下、優(yōu)選lwt%以下且更優(yōu)選0.5wt%以下的量添加每種表面活性劑和增粘劑。
      [0060]可以通過(guò)混合上述組分而制備根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的組合物。根據(jù)需要,可以通過(guò)使用過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾以制備所述組合物。通過(guò)這樣的過(guò)濾可以除去異物或灰
      /1、土。
      [0061]此外,在本發(fā)明的示例性實(shí)施方式中,提供了一種使用上述用于印刷(其使用基于硅的橡皮布)的組合物的印刷方法。所述印刷方法包括印刷所述用于印刷的組合物。具體而言,所述印刷方法包括在基于硅的橡皮布上涂布所述用于反向膠版印刷的組合物;使鉛板與在基于硅的橡皮布上涂布的用于反向膠版印刷的組合物的涂布膜接觸以除去部分的涂布膜;以及將保留在基于硅的橡皮布上的用于反向膠版印刷的組合物的涂布膜轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)上。根據(jù)需要,可額外包括干燥或固化被轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)上的用于印刷的組合物的步驟。
      [0062]在圖1中示出了反向膠版印刷方法。所述反向膠版印刷方法包括i)在橡皮布上涂布用于印刷的組合物;ii)使作為鐫刻形狀形成了對(duì)應(yīng)于將要形成的圖案的圖案的鉛板與橡皮布接觸以在所述橡皮布上形成用于印刷的組合物的圖案,其與上述圖案相對(duì)應(yīng);iii)將在橡皮布上的用于印刷的組合物的圖案轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)上。此時(shí),所述橡皮布的外側(cè)邊緣部分是由基于硅的材料形成的。
      [0063]在圖1中,附圖標(biāo)記10是在橡皮布上涂布了金屬圖案材料的涂布機(jī),附圖標(biāo)記20是用于負(fù)載橡皮布的輥筒型支撐體,附圖標(biāo)記21是橡皮布,且附圖標(biāo)記22是在橡皮布上涂布的印刷組合物圖案材料。附圖標(biāo)記30是鉛板支撐體且附圖標(biāo)記31是具有圖案的鉛板,其中,形成了作為鐫刻形狀的對(duì)應(yīng)于將要形成的圖案的圖案。附圖標(biāo)記40是待印刷的目標(biāo)且附圖標(biāo)記41是轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)的印刷組合物圖案。
      [0064]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的用于印刷的組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率可以是80%至100%。整體表面轉(zhuǎn)印率可以在基于印刷圖案干燥的狀態(tài),在用于印刷的組合物轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)的圖案中確認(rèn)。整體表面轉(zhuǎn)印率(%)可以由以下公式3表示。 [0065][公式3]
      [0066]整體表面轉(zhuǎn)印率(%) = {(轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)的用于印刷的組合物的面積mm2)/(IOOmmX 100mm)} XlOO
      [0067]在根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的用于印刷的組合物干燥或固化時(shí),工藝溫度可以在常溫至350°C的范圍內(nèi)選擇,且所述干燥或固化溫度依粘合劑樹(shù)脂在常溫至350°C,且優(yōu)選從50°C至300°C的范圍內(nèi)選擇。所述干燥或固化時(shí)間可以依組合物的組分和組成以及工藝溫度選擇。
      [0068]通過(guò)使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的用于印刷的組合物和印刷方法而形成的圖案可具有,例如,幾微米至幾十微米、具體而言100微米以下、優(yōu)選80微米以下且更優(yōu)選30微米以下的線寬和線間距。特別地,根據(jù)本發(fā)明,可以實(shí)現(xiàn)通過(guò)之前應(yīng)用的噴墨印刷法等方法不能實(shí)現(xiàn)的精細(xì)圖案,例如,具有20微米以下、優(yōu)選15微米以下、更優(yōu)選7微米以下且更優(yōu)選5微米以下的線寬的圖案??梢孕纬?.5微米以上、優(yōu)選I微米以上且更優(yōu)選3微米以上的尺寸的線寬。
      [0069]因此,在使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施方式的用于印刷的組合物和印刷方法時(shí),可以在待印刷的目標(biāo)上同時(shí)形成具有不同線寬的兩個(gè)以上圖案。特別地,在本發(fā)明中,可以在待印刷的目標(biāo)上同時(shí)形成具有100微米以下的線寬的圖案和具有7微米以下的線寬的圖案。
      [0070]可以使用通過(guò)本發(fā)明的用于印刷的組合物和印刷方法形成的圖案作為光致抗蝕劑圖案??梢允褂盟龉庵驴刮g劑圖案作為用于形成導(dǎo)電圖案、金屬圖案、玻璃圖案、半導(dǎo)體圖案等的蝕刻抗蝕劑。例如,可以使用所述光致抗蝕劑圖案作為用于形成各種電子設(shè)備,包括顯示器,如TFT、觸摸屏、IXD或TOP、發(fā)光器件和太陽(yáng)能電池的電極或輔助電極。此外,還可以使用通過(guò)所述用于印刷的組合物和印刷方法形成的圖案作為在各種電子設(shè)備中需要的絕緣圖案。所述絕緣圖案可以是覆蓋金屬圖案的絕緣圖案。例如,可以使用絕緣圖案作為覆蓋了 OLED光基板的輔助電極的鈍化層。
      [0071]將參考實(shí)施例、對(duì)比實(shí)施例和實(shí)驗(yàn)實(shí)施例更詳細(xì)地描述本發(fā)明。但是,提供下面的實(shí)施例、對(duì)比實(shí)施例和實(shí)驗(yàn)實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明,本發(fā)明的范圍并不限于此。
      [0072]<實(shí)施例1>[0073]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算(polystyrene-reduced)重均分子量的線型酹醒樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。[0074]<實(shí)施例2>
      [0075]在75g的1-丙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算(polystyrene-reduced)重均分子量的線型酹醒樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.6、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是2.0、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0076]〈對(duì)比實(shí)施例1>
      [0077]在75g的甲酸(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.2、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0078]<實(shí)施例3>
      [0079]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的乙酸丁酯(其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0080]〈對(duì)比實(shí)施例2>
      [0081]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的乙酸異丙酯(其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0082]〈對(duì)比實(shí)施例3> [0083]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的N,N- 二甲基甲酰胺(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0084]<實(shí)施例4>
      [0085]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的4_甲氧基苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500聚苯乙烯換算的重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.8、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0086]<實(shí)施例5>
      [0087]在75g的甲醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是3、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是7.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0088]<實(shí)施例6>
      [0089]在75g的甲醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的二甲亞砜(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是3、 所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是7.2、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.2。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0090]〈對(duì)比實(shí)施例4>
      [0091]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的乙二醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是3.1、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是7.3、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是O。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0092]<實(shí)施例7>
      [0093]在75g的烯丙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.3、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.5、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.9、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0094]〈對(duì)比實(shí)施例5>
      [0095]在75g的碳酸二甲酯(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.6、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是
      2.6、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.9、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0096]〈對(duì)比實(shí)施例6>
      [0097]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的間甲酹(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.3、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是2.9、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是O。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0098]〈對(duì)比實(shí)施例7>[0099]在75g的異丙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的苯甲醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是O、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是2.8、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面 轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0100]〈對(duì)比實(shí)施例8>
      [0101]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的辛醇(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有Iym尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是3、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是2.7。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為47。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0102]〈實(shí)施例8>
      [0103]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的乙二醇苯基酯(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為62。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0104]〈對(duì)比實(shí)施例9>
      [0105]在75g的乙醇(其為低沸點(diǎn)溶劑)、5g的PGMEA (其為中沸點(diǎn)溶劑)和9g的乙二醇苯基酯(其為高沸點(diǎn)溶劑)中溶解IOg的通過(guò)以5:5的重量比混合間甲酚和對(duì)甲酚而制造的具有4500的聚苯乙烯換算重均分子量的線型酚醛樹(shù)脂、0.5g的基于三聚氰胺的增粘劑和0.5g的表面活性劑,然后通過(guò)具有I μ m尺寸的過(guò)濾器過(guò)濾以制造印刷組合物。在此情況下,所述低沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是1.2、所述高沸點(diǎn)溶劑和粘合劑樹(shù)脂之間的溶解度參數(shù)差是0.6、所述低沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是
      5.4、所述高沸點(diǎn)溶劑和基于硅的橡皮布之間的溶解度參數(shù)差是4.8、所述低沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是1.3、且所述高沸點(diǎn)溶劑對(duì)基于硅的橡皮布的溶脹參數(shù)是0.1。通過(guò)肖氏A型硬度計(jì)測(cè)量的基于硅的橡皮布的硬度為18。通過(guò)以下實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的方法測(cè)量制造的印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率、初始印刷等待時(shí)間、連續(xù)印刷數(shù)、印刷等待裕度和圖案精度。
      [0106]<實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1>整體表面轉(zhuǎn)印率
      [0107]以50mm/s的速率在具有47的硬度的硅橡皮布上涂布實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例I至9的組合物以形成干燥前具有3 μ m厚度的涂布膜。涂布后,使膜靜置30秒,然后在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力(在施加印刷壓力時(shí)在一點(diǎn)的變形長(zhǎng)度)的條件下在具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上進(jìn)行整體表面的轉(zhuǎn)移以測(cè)量轉(zhuǎn)移到作為待印刷的目標(biāo)的玻璃基板上的用于印刷的組合物的面積。
      [0108][公式3]
      [0109]整體表面轉(zhuǎn)印率(%) = {(轉(zhuǎn)移到待印刷的目標(biāo)的用于印刷的組合物的面積_2)/(IOOmmX 100mm)} XlOO
      [0110]A:100% 轉(zhuǎn)移
      [0111]B: 80% 轉(zhuǎn)移
      [0112]C: 50% 轉(zhuǎn)移
      [0113]D: 30% 轉(zhuǎn)移
      [0114]E: 10% 轉(zhuǎn)移
      [0115]F:未轉(zhuǎn)移
      [0116]優(yōu)選所述印刷組合物的整體表面轉(zhuǎn)印率為80至100%。由下表2的測(cè)量結(jié)果可以看出,在實(shí)施例中的整體表面轉(zhuǎn)印率為100%。
      [0117]<實(shí)驗(yàn)實(shí)施例2>初始印刷等待時(shí)間
      [0118]以50mm/s的速率在硅橡皮布上涂布實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例1至9的組合物以形成干燥前具有3μπι厚度 的涂布膜。在涂布后,使膜靜置30秒以上,然后在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下在具有IOOmmX IOOmm的尺寸且具有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的鐫刻網(wǎng)格圖案的鉛板上進(jìn)行轉(zhuǎn)移以在橡皮布上形成對(duì)應(yīng)于鉛板的圖案。在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力(在施加印刷壓力時(shí)在一點(diǎn)的變形長(zhǎng)度)的條件下使在橡皮布上形成的用于印刷的組合物的圖案轉(zhuǎn)移到具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上以形成最終圖案。通過(guò)變化工藝等待時(shí)間確認(rèn)實(shí)現(xiàn)正常圖案時(shí)的時(shí)間。初始印刷等待時(shí)間可以由以下公式4表示。最小的初始印刷等待時(shí)間為30秒。
      [0119][公式4]
      [0120](初始印刷等待時(shí)間)=(去除初始時(shí)間點(diǎn))-(涂布完成時(shí)間點(diǎn))
      [0121]作為參考,使用在玻璃基板上形成的與鉛板相比具有圖案的線寬變化率為20%以內(nèi)的正常圖案。
      [0122]優(yōu)選所述初始印刷等待時(shí)間為30至45秒。從以下表2的測(cè)量結(jié)果可以看出,在對(duì)比實(shí)施例中不能進(jìn)行測(cè)量,或者結(jié)果為45秒以上,而在實(shí)施例中,結(jié)果為30至45秒。
      [0123]<實(shí)驗(yàn)實(shí)施例3>連續(xù)印刷性能
      [0124]以50mm/s的速率在硅橡皮布上涂布實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例1至9的組合物以形成干燥前具有3 μ m厚度的涂布膜。在涂布后,應(yīng)用形成了正常圖案的初始印刷等待時(shí)間,然后進(jìn)行具有有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的鐫刻網(wǎng)格圖案的連續(xù)印刷以測(cè)量圖案線寬的變化,并測(cè)量與初始印刷圖案相比保持了 10%以內(nèi)的線寬變化率的印刷數(shù)。
      [0125]優(yōu)選的連續(xù)印刷數(shù)為10以上。從以下表2的測(cè)量結(jié)果可以看出,在對(duì)比實(shí)施例中不能進(jìn)行測(cè)量,或者結(jié)果小于10,而在實(shí)施例中,結(jié)果為10以上。[0126]<實(shí)驗(yàn)實(shí)施例4>印刷等待裕度的測(cè)量
      [0127]以50mm/s的速率在硅橡皮布上施加實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例1至9以形成干燥前具有3 μ m厚度的涂層。在進(jìn)行上述施加30以后等待30秒以上之后,在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力(在施加印刷壓力時(shí)在一點(diǎn)的長(zhǎng)度變化)的條件下在具有IOOmmX IOOmm的尺寸且具有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的凹版網(wǎng)格圖案的鉛板上進(jìn)行轉(zhuǎn)移以在橡皮布上形成對(duì)應(yīng)于鉛板的圖案。在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下使在橡皮布上形成的印刷組合物圖案轉(zhuǎn)移到具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上以形成最終圖案。在改變工藝等待時(shí)間的情況下確認(rèn)實(shí)現(xiàn)正常圖案的最小等待時(shí)間和最大等待時(shí)間。
      [0128][公式5]
      [0129](印刷等待裕度)=(實(shí)現(xiàn)正常圖案的最大等待時(shí)間)_(實(shí)現(xiàn)正常圖案的最小等待時(shí)間)
      [0130]優(yōu)選的印刷等待裕度為25秒以上。從以下表2的測(cè)量結(jié)果可以看出,在對(duì)比實(shí)施例中不能進(jìn)行測(cè)量,或者結(jié)果小于25秒,而在實(shí)施例中,結(jié)果為25秒以上。
      [0131]<實(shí)驗(yàn)實(shí)施例5>圖案精度的測(cè)量
      [0132]以50mm/s的速率在硅橡皮布上涂布實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例1至9的組合物以形成干燥前具有3μπι厚度的涂布膜。在涂布后,應(yīng)用形成了正常圖案的印刷等待時(shí)間,然后在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下在具有IOOmmX IOOmm的尺寸,且具有7 μ m的線寬和300 μ m的線間距的鐫刻網(wǎng)格圖案的鉛板上進(jìn)行轉(zhuǎn)移以在橡皮布上形成對(duì)應(yīng)于鉛板的圖案。在50mm/s的轉(zhuǎn)移速率和20 μ m的接觸壓力的條件下使在橡皮布上形成的用于印刷的組合物的圖案轉(zhuǎn)移到具有IOOmmXlOOmm的尺寸的玻璃基板上以形成最終圖案。以顯微鏡觀察得到的圖案并根據(jù)以下標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)。
      [0133][公式2]
      [0134]線寬變化率(%) = {(印刷圖案的線寬尺寸-鉛板圖案的線寬尺寸)/(鉛板圖案的線寬尺寸)} XlOO
      [0135]發(fā)環(huán):在第一次轉(zhuǎn)移工藝期間圖案垂下(hanging down)的現(xiàn)象
      [0136]A:5%以內(nèi)的線寬變化率,圖案交叉部分正常實(shí)現(xiàn)
      [0137]B:10%以內(nèi)的線寬變化率,圖案交叉部分發(fā)生線的斷開(kāi)
      [0138]C:20%以內(nèi)的線寬變化率,圖案交叉部分正常實(shí)現(xiàn)
      [0139]D:20%以內(nèi)的線寬變化率,圖案交叉部分發(fā)生線的斷開(kāi)
      [0140]E:20%以上的線寬變化率,圖案交叉部分發(fā)生線的斷開(kāi)[0141]F:20%以上的線寬變化率,圖案交叉部分發(fā)生線的斷開(kāi)并發(fā)生發(fā)環(huán)
      [0142]實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例1至9的條件如下表1中所述,且對(duì)于實(shí)施例1至8和對(duì)比實(shí)施例1至9的實(shí)驗(yàn)實(shí)施例1至5的結(jié)果如表2中所述。
      [0143][表1]
      [0144]
      【權(quán)利要求】
      1.一種使用基于娃的橡皮布的反向膠版印刷組合物,包括: .1)粘合劑樹(shù)脂, .2)具有小于100°C的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑, .3)具有100°C以上且小于180°C的沸點(diǎn)的中沸點(diǎn)溶劑,和 . 4)具有180°C以上的沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑, 其中,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有與粘合劑樹(shù)脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差,以及與基于硅的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述粘合劑樹(shù)脂是線型酚醛樹(shù)脂。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述線型酚醛樹(shù)脂的重均分子量是2000至8000。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述高沸點(diǎn)溶劑是基于芳族醇的溶劑。
      5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述高沸點(diǎn)溶劑包括選自間苯二酚、間甲酚、鄰甲酚、對(duì)甲酚、苯甲醇、二甲亞砜、乙二醇、乙二醇苯基酯、丙二醇苯基酯、辛醇和苯酚中的一種以上。
      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述中沸點(diǎn)溶劑包括選自乳酸乙酯、PGMEA、甲基-3-甲氧基丙酸酯、甲基戊基酮和乙基-3-乙氧基丙酸酯中的一種以上。
      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述低沸點(diǎn)溶劑包括選自碳酸二甲酯、甲醇、甲基乙基酮、異丙醇、乙酸乙酯、乙醇、烯丙醇和丙醇中的一種以上。
      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述中沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)與各個(gè)低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑的沸點(diǎn)差為5°C以上。
      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述組合物包括5至30wt%的粘合劑樹(shù)脂、50至85wt%的低沸點(diǎn)溶劑、0.5至15wt%的中沸點(diǎn)溶劑和I至25wt%的高沸點(diǎn)溶劑。
      10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,進(jìn)一步包括: 表面活性劑和增粘劑的一種以上。
      11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反向膠版印刷組合物,其中,基于硅的橡皮布的硬度為20至70的肖氏A型硬度。
      12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的反向膠版印刷組合物,其中,所述反向膠版印刷組合物用于形成光致抗蝕劑圖案或絕緣圖案。
      13.—種使用基于娃的橡皮布的反向膠版印刷組合物,包括: .1)5至30wt%的粘合劑樹(shù)脂, . 2)50至85wt%的具有小于100°C的沸點(diǎn)的低沸點(diǎn)溶劑, .3)0.5至15wt%的具有100°C以上且小于180°C的沸點(diǎn)的中沸點(diǎn)溶劑,和 .4)I至25wt%的具有180°C以上的沸點(diǎn)的高沸點(diǎn)溶劑, 其中,所述低沸點(diǎn)溶劑和高沸點(diǎn)溶劑具有與粘合劑樹(shù)脂的3(cal.cm)1/2以下的溶解度參數(shù)差,以及與基于硅的橡皮布的4 (cal.cm)1/2以上的溶解度參數(shù)差,以及對(duì)于基于硅的橡皮布的2以下的溶脹參數(shù)。
      14.一種印刷方法,其使用根據(jù)權(quán)利要求1至11和13中任一項(xiàng)所述的反向膠版印刷組合物。
      15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的印刷方法,包括: 在基于硅的橡皮布上施加印刷組合物; 使鉛板與在基于硅的橡皮布上施加的印刷組合物涂層接觸以除去部分涂層;以及 將保留在基于硅的橡皮布上的印刷組合物涂層轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上。
      16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的印刷方法,進(jìn)一步包括: 干燥或固化轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上的印刷組合物。
      17.根據(jù)權(quán)利要求15所述的印刷方法,其中,轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上的印刷組合物的圖案包括具有100微米以下的線寬的圖案。
      18.根據(jù)權(quán)利要求15所述的印刷方法,其中,轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上的印刷組合物的圖案包括具有7微米以下的線寬的圖案。
      19.根據(jù)權(quán)利要求15所述的印刷方法,其中,轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上的印刷組合物涂層包括具有100微米以下的線寬的圖案和具有7微米以下的線寬的圖案。
      20.根據(jù)權(quán)利要求15所述的印刷方法,其中,轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上的印刷組合物的圖案具有由以下公式2表示的20%以下的線寬變化率:` [公式2] 線寬變化率(%) = {(印刷圖案的尺寸-鉛板圖案的尺寸)/(鉛板圖案的尺寸MX100。
      21.根據(jù)權(quán)利要求15所述的印刷方法,其中,轉(zhuǎn)移到印刷目標(biāo)上的印刷組合物的圖案具有80至100 (%)的整體表面轉(zhuǎn)印率。
      【文檔編號(hào)】C09D11/103GK103582681SQ201280017331
      【公開(kāi)日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2012年4月5日 優(yōu)先權(quán)日:2011年4月5日
      【發(fā)明者】孫鏞久, 黃智泳, 具范謨, 黃仁皙, 李承憲, 全相起, 成知玹, 金姝延 申請(qǐng)人:Lg化學(xué)株式會(huì)社
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