一種微電子行業(yè)用自動涂膠裝置制造方法
【專利摘要】一種微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，具有注膠機和勻膠機，注膠機包括：點膠針筒、驅(qū)動機構(gòu)、進膠管以及儲膠室，驅(qū)動電機的輸出頭與點膠針筒的推桿后端固定，點膠針筒的下部通過進膠管與儲膠室相連，進膠管內(nèi)設置有第一單向閥，點膠針筒的注膠口設置有第二單向閥；勻膠機包括用于承載硅片的吸盤、驅(qū)動該吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機，吸盤的中線軸位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸氣管頂端周圍設置有環(huán)形儲膠槽，吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為3-5mm。本裝置可實現(xiàn)自動注膠、自動補膠、自動勻膠，且能防止膠水進入吸盤的吸氣管。其自動化程度高，大大降低勞動強度，且每次注膠的量都一致，減少浪費，降低生產(chǎn)成本，減少對環(huán)境的污染。
【專利說明】—種微電子行業(yè)用自動涂膠裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種注膠機，特別適合用于微電子行業(yè)的注膠工藝。

【背景技術(shù)】
[0002]微電子技術(shù)作為電子信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)之一，已經(jīng)成為現(xiàn)代電子信息技術(shù)，尤其是計算機和通訊技術(shù)發(fā)展的驅(qū)動力。為了在新的科技革命中迎頭趕上西方發(fā)達國家，必須在微電子【技術(shù)領(lǐng)域】取得快速的發(fā)展。
[0003]注膠是微電子行業(yè)十分常用的工藝步驟。目前現(xiàn)有的注膠設備要么結(jié)構(gòu)簡陋，自動化程度低，工人勞動強度大；要么結(jié)構(gòu)復雜，成本高昂，不利于推廣。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型的目的在于，克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，結(jié)構(gòu)簡單，自動化程度高。
[0005]上述目的由下述技術(shù)方案來實現(xiàn):本實用新型提供的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，具有機架、固定在機架上的注膠機和勻膠機，其特征在于:所述注膠機包括:點膠針筒、驅(qū)動機構(gòu)、進膠管以及儲膠室，所述驅(qū)動電機的輸出頭與點膠針筒的推桿后端固定，所述點膠針筒的下部連接進膠管的第一端，進膠管的第二端與儲膠室相連，所述進膠管內(nèi)設置有第一單向閥，所述點膠針筒的注膠口設置有第二單向閥；所述勻膠機包括用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動該吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機，吸盤的中線軸位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設置有環(huán)形儲膠槽，所述吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為3-5mm。
[0006]本實用新型還具有如下改進:
[0007]1、所述驅(qū)動機構(gòu)為步進電機，步進電機的輸出頭依次通過連桿、搖臂與點膠針筒的推桿后端固定。
[0008]2、所述驅(qū)動機構(gòu)為伸縮電機，伸縮電機的伸縮桿端部與點膠針筒的推桿后端固定。
[0009]3、所述驅(qū)動機構(gòu)為馬達，馬達的輸出頭固定有齒輪，所述齒輪嚙合有齒條，齒條的下端與點膠針筒的推桿后端固定。
[0010]4、所述驅(qū)動機構(gòu)為伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的活塞桿頭部與點膠針筒的推桿后端固定。
[0011]5、所述進膠管和儲膠室內(nèi)填充有膠水。
[0012]6、所述吸盤的橫截面呈W型。
[0013]7、所述儲膠槽的深度為8-12mm。
[0014]8、靠近吸氣管一側(cè)的儲膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為75-85°，遠離吸氣管一側(cè)的儲膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為55-65°。
[0015]驅(qū)動機構(gòu)下壓點膠針筒的推桿時，第一單向閥關(guān)閉，第二單向閥打開，使膠水從注膠口被擠出，滴至硅片上表面；當驅(qū)動機構(gòu)上抬點膠針筒的推桿時，第一單向閥打開，第二單向閥關(guān)閉，使儲膠室內(nèi)的膠水通過進膠管被吸入點膠針筒內(nèi)。本實用新型采用甩動方式實現(xiàn)勻膠(表面涂敷)，吸氣管頂端不直接與承載的硅片接觸，在甩動過程中，硅片背面的膠水在重力的作用下流入儲膠槽進行存儲，阻擋膠水被吸入吸氣管內(nèi)，避免了吸氣管因吸入膠水而導致的吸力不足或堵塞，同時避免了損傷勻膠機。
[0016]本裝置可實現(xiàn)自動注膠、自動補膠、自動勻膠，且能防止膠水進入吸盤的吸氣管。其自動化程度高，大大降低勞動強度，且每次注膠的量都一致，減少浪費，降低生產(chǎn)成本，減少對環(huán)境的污染。
[0017]本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、設計巧妙，使用方便，且易于維護。本裝置的生產(chǎn)成本低，功能可滿足實際生產(chǎn)需要，適于在微電子行業(yè)廣泛運用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是本實用新型自動涂膠裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0019]如圖1所述，本實施例微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，具有機架(圖中未畫出)，固定在機架上的注膠機A和勻膠機B。
[0020]注膠機A包括:點膠針筒1、驅(qū)動機構(gòu)、進膠管2以及儲膠室3，點膠針筒I的下部連接進膠管2的第一端，進膠管2的第二端與儲膠室3相連，進膠管2內(nèi)設置有第一單向閥6，點膠針筒I的注膠口 4設置有第二單向閥5。如圖1所示，點膠針筒1、進膠管2和儲膠室3內(nèi)填充有膠水。本例中，驅(qū)動機構(gòu)馬達7，馬達7的輸出頭固定有齒輪8，齒輪8嚙合有齒條9,齒條9的下端與點膠針筒I的推桿10后端固定。
[0021 ] 除此之外，驅(qū)動機構(gòu)還可以采用步進電機、伸縮電機、伸縮氣缸等。
[0022]當采用步進電機時，步進電機的輸出頭依次通過連桿、搖臂與點膠針筒的推桿后端固定。
[0023]當采用伸縮電機時，伸縮電機的伸縮桿端部與點膠針筒的推桿后端固定。
[0024]當采用為伸縮氣缸時，伸縮氣缸的活塞桿頭部與點膠針筒的推桿后端固定。
[0025]由于上述幾種方案對于機械領(lǐng)域技術(shù)人員來說，閱讀本說明書，結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)即可實現(xiàn)，因此本實施例不再對上述幾種方案進行詳細闡述。
[0026]驅(qū)動機構(gòu)下壓、抬升推桿了，第一第二單向閥互相配合，實現(xiàn)自動注膠和自動充膠，自動化程度較高。
[0027]勻膠機B包括用于承載硅片14的吸盤11、用于驅(qū)動該吸盤11旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機(圖中未畫出)，吸盤11的中線軸位置設有與抽氣設備14相連的吸氣管14，吸盤11的吸氣管14頂端周圍設置有環(huán)形儲膠槽12，吸盤的吸氣管13頂端至吸盤上表面的距離為3mm，吸盤11的橫截面呈W型，儲膠槽13的深度為10mm，靠近吸氣管一側(cè)的儲膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為80。，遠離吸氣管一側(cè)的儲膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為60°。
[0028]吸盤帶動硅片旋轉(zhuǎn)，從點膠針筒滴下的膠水在離心力的作用下向外移動，從而實現(xiàn)自動勻膠，由于硅片的親水性，甩至硅片邊緣的膠水容易流到吸盤的背面，并且因重力作用向中間聚攏。環(huán)形儲膠槽能夠有效阻擋該部分膠水流入吸氣管，從而確保勻膠機的正常運轉(zhuǎn)，提聞勻I父效率。
[0029]除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型要求的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，具有機架、固定在機架上的注膠機和勻膠機，其特征在于:所述注膠機包括:點膠針筒、驅(qū)動電機、進膠管以及儲膠室，所述驅(qū)動電機的輸出頭與點膠針筒的推桿后端固定，所述點膠針筒的下部連接進膠管的第一端，進膠管的第二端與儲膠室相連，所述進膠管內(nèi)設置有第一單向閥，所述點膠針筒的注膠口設置有第二單向閥；所述勻膠機包括用于承載硅片的吸盤、用于驅(qū)動該吸盤旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電機，吸盤的中線軸位置設有與抽氣設備相連的吸氣管，吸盤的吸氣管頂端周圍設置有環(huán)形儲膠槽，所述吸盤的吸氣管頂端至吸盤上表面的距離為3-5mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:所述驅(qū)動電機為步進電機，步進電機的輸出頭依次通過連桿、搖臂與點膠針筒的推桿后端固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:所述驅(qū)動電機為伸縮電機，伸縮電機的伸縮桿端部與點膠針筒的推桿后端固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:所述驅(qū)動電機為馬達，馬達的輸出頭固定有齒輪，所述齒輪嚙合有齒條，齒條的下端與點膠針筒的推桿后端固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:所述進膠管和儲膠室內(nèi)填充有膠水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:所述吸盤的橫截面呈W型。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:所述儲膠槽的深度為 8_12mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電子行業(yè)用自動涂膠裝置，其特征在于:靠近吸氣管一側(cè)的儲膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為75-85°，遠離吸氣管一側(cè)的儲膠槽內(nèi)壁與水平面的夾角為 55-65。。
【文檔編號】B05C5/02GK203955454SQ201420389154
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月14日
【發(fā)明者】鄧潔 申請人:南通大學